一种光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法技术

本发明专利技术公开了一种光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法。分析仪包括壳体和能将光束分成主光束和待分析光束的分光结构，壳体上沿光路方向依次设有物镜、分光结构和摄像头；壳体上还设有位于分光结构一侧的主光束出光孔。分析校准方法包括从激光发射器射出的光束中抽取光束分量形成待分析光束，照射在基准面的原点并形成光斑；让激光发射器中的振镜扫描一定角度，获得光斑实际移动距离，并计算光斑实际移动距离与光斑理想移动距离的差值。本发明专利技术提供的光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法，能快速获得光束的光斑图像，有利于提高对光束质量分析的准确性，从而提高对激光发射器的校准效率。

【技术实现步骤摘要】
一种光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法
本专利技术涉及光束质量分析领域，尤其涉及一种光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法。
技术介绍
激光发射器在生产完成后需要进行光束质量的分析和校准，主要分析的内容包括光束的圆度以及光斑中点是否为亮度最高的点。目前由于缺少分析设备，常用的方法为用激光发射器的光束在固定的板上进行多次激光打点，通过各种测量平台检测打出的点的位置来判断激光扫描振镜是否有定位误差。然而，由于激光光束有热效应，在板上打点时，形成的点的尺寸要略大于光斑尺寸，而且可能会因为热量分布不均导致实际打出的点其轮廓形状与光斑轮框形状有所不同，从而造成无法准确分析光束的实际圆度和光斑中点位置。该方式不仅操作繁琐，测量时间长，而且聚焦光斑的位置与实际存在较大误差，同时也无法获得光束质量信息。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法，能快速获得光束的光斑图像，有利于提高对光束质量分析的准确性，从而提高对激光发射器的校准效率。为实现上述目的，本专利技术提供一种光束质量分析仪，包括壳本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光束质量分析仪，其特征在于，包括壳体(1)和能将光束分成主光束和待分析光束的分光结构(3)，所述壳体(1)上沿光路方向依次设有物镜(2)、所述分光结构(3)和摄像头(7)；壳体(1)上还设有位于分光结构(3)一侧的主光束出光孔(11)。/n

【技术特征摘要】
1.一种光束质量分析仪，其特征在于，包括壳体(1)和能将光束分成主光束和待分析光束的分光结构(3)，所述壳体(1)上沿光路方向依次设有物镜(2)、所述分光结构(3)和摄像头(7)；壳体(1)上还设有位于分光结构(3)一侧的主光束出光孔(11)。


2.根据权利要求1所述的一种光束质量分析仪，其特征在于，所述分光结构(3)包括第一棱镜(31)；所述第一棱镜(31)的入光反射面朝向所述物镜(2)，第一棱镜(31)的出光面朝向所述出光孔(11)；所述摄像头(7)设置在所述待分析光束所在的路径上。


3.根据权利要求2所述的一种光束质量分析仪，其特征在于，所述分光结构(3)还包括第二棱镜(32)；所述第二棱镜(32)位于物镜(2)与第一棱镜(31)之间的光路一侧，第一棱镜(31)的入光反射面与摄像头(7)的镜头均朝向第二棱镜(32)的反光面。


4.根据权利要求1或2或3所述的一种光束质量分析仪，其特征在于，所述壳体(1)上还设有位于所述分光结构(3)与摄像头(7)之间的光衰减结构(6)。


5.根据权利要求4所述的一种光束质量分析仪，其特征在于，所述光衰减结构(6)包括至少一块衰减片。


6.根据权利要求5所述的一种光束质量分析仪，其特征在于，所述壳体(1)上设有插槽；所述衰减片设置在安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：李陵江，田辉，肖群，王敏，裴浩，
申请(专利权)人：广州安特激光技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44