下载一种光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法的技术资料

文档序号:27972198

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本发明公开了一种光束质量分析仪和激光发射器振镜校准方法。分析仪包括壳体和能将光束分成主光束和待分析光束的分光结构,壳体上沿光路方向依次设有物镜、分光结构和摄像头;壳体上还设有位于分光结构一侧的主光束出光孔。分析校准方法包括从激光发射器射出的...
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