【技术实现步骤摘要】
一种无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置
本技术属于光学无损检测
，涉及一种在线无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置。
技术介绍
激光自上世纪六十年代专利技术以来被广泛应用于工业制造、医疗卫生、航空航天、国防军事、科研尖端等邻域，并极大地推动了前沿交叉学科研究和高
的创新发展。随着激光技术的不断发展与突破，新一代光源——自由电子激光器可输出的激光早已覆盖至极紫外波段(EUV，10～121nm)。众所周知，波长在200nm以下的激光极易被空气中的氧气强烈吸收，因此自由电子激光器所输出的极紫外激光必须经光束线(处于高真空或超高真空环境)引入后供用户使用。由于这一特殊性，用户在用光过程中无法自行获取极紫外激光的脉冲能量与光束空间位置这两个表征激光性能的重要参数信息。目前，用于激光脉冲能量探测的商用器件主要分为半导体光电二极管探测器与热电偶探测器，这一类探测器的探测方式均为拦截式探测，且在短波长激光照射下容易发生饱和、降解甚至损坏。针对这一缺陷，基于稀有气体光电离这一工作原理的短波段激光脉冲能...
【技术保护点】
1.一种无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置，其特征在于，包括第一电离室，第二电离室，带电粒子检测器和差分抽系统；/n所述第一电离室和第二电离室均由真空腔室（1）和真空泵（2）组成，真空腔室（1）由真空泵（2）独立抽真空，为检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置提供高真空环境；/n第一电离室和第二电离室均安装有真空计（3）和针阀（4），其中真空计（3）用于实时测量充有稀薄的稀有气体的电离室内的真空度，针阀（4）用于控制充入电离室的稀有气体的流量，与真空泵（2）配合以维持电离室内的恒定压力；第一电离室内还配备电阻温度计（5），用于检测第一电离室内的环境温度；/n所述带...
【技术特征摘要】
1.一种无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置，其特征在于，包括第一电离室，第二电离室，带电粒子检测器和差分抽系统；
所述第一电离室和第二电离室均由真空腔室（1）和真空泵（2）组成，真空腔室（1）由真空泵（2）独立抽真空，为检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置提供高真空环境；
第一电离室和第二电离室均安装有真空计（3）和针阀（4），其中真空计（3）用于实时测量充有稀薄的稀有气体的电离室内的真空度，针阀（4）用于控制充入电离室的稀有气体的流量，与真空泵（2）配合以维持电离室内的恒定压力；第一电离室内还配备电阻温度计（5），用于检测第一电离室内的环境温度；
所述带电粒子检测器包括离子约束电极板（6），加速电极板（7），分裂电极板（8），电流计（9），微型通道电子倍增管（10）以及示波器（11）；
所述加速电极板（7）由两块中心处开孔并覆盖栅网的电极板组成，通过在电极板上面分别施加正负电压而形成电场，极紫外激光传输方向上因光电离产生的电子与离子在电场的作用下分别加速投射至分裂电极板（8）；
所述离子约束电极板（6）由多片圆环型电极板组装而成，主要是将处于加速电极板（7）边缘或者可能逃逸出加速电极板（7）的离子拉回至分裂电极板（8）的有效探测区域内；
所述分裂电极板（8）由两块电极板拼接而成，两者之间相互绝缘，其中离子信号检测端的分裂电极板（8）的中心处留有覆盖栅网的矩形小孔，便于极其少量的离子透过栅网进入微型通道电子倍增管（10），离子信号检测端的分裂电极板（8）上连接的电流计（9）分别测量两块电极板上一定时间内积累的离子所形成的平均电流；离子信号检测端的分裂电极板（8）后端连接微型通道电子倍增管（10）及示波器（11），电子信号检测端的分裂电极板（8）后端直接连接示波器（11），分别用于测量单脉冲的离子信号或电子信号；
所述微型通道电子倍增管（10）用于放大透过栅网的那部分离子信号，随后通过与微型通道电子倍增管（10）连接的示波...
【专利技术属性】
技术研发人员：俞盛锐，凌彩宁，李万涛，廖鸿，
申请(专利权)人：浙江师范大学，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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