【技术实现步骤摘要】
电子封装用金刚石/铜热沉材料及其制备方法
本专利技术涉及一种电子封装用金刚石/铜热沉材料及其制备方法,属于金属基复合材料
技术介绍
随着电子技术的飞速发展和应用范围的日益扩大,集成电路朝着小型化、高速化、高密度、高可靠、大功率、耐恶劣环境、长寿命等方向发展。芯片及大功率电子元件的极大功能化、尺寸微小、多尺寸结构、多功能材料,使其成为非均匀、高度集中的体热源,对集成电路提出了前所未有的挑战,开发高导热、热膨胀系数匹配的封装材料成为亟待解决的问题。常见的金属材料如Cu、Al,虽然热导率高达398W/(m·k),但其热膨胀系数与Si或GaAs等基片材料相差较大,器件工作时会产生较大的应力,引起芯片和散热基片上某些焊点、焊缝的开裂。而金刚石的热导率高达2200W/(m·k),热膨胀系数约为0.8×10-6/K,与铜复合后一方面可显著提高铜复合材料的热导率,另一方面可通过调整金刚石与铜的配比实现热膨胀系数可调,且具有表面可镀覆性好等优点,成为电子封装用新一代热沉材料研究的热点。然而,金刚石与铜的润湿性能较差, ...
【技术保护点】
1.一种电子封装用金刚石/铜热沉材料,其特征在于:该热沉材料由改性金刚石、铜和添加元素组成,所述的添加元素为银、锡或铟锡中的一种或多种,按照质量百分比计,改性金刚石的含量为30%-60%,余量为铜和添加元素,其中,添加元素的含量为铜含量的5%-10%。/n
【技术特征摘要】
1.一种电子封装用金刚石/铜热沉材料,其特征在于:该热沉材料由改性金刚石、铜和添加元素组成,所述的添加元素为银、锡或铟锡中的一种或多种,按照质量百分比计,改性金刚石的含量为30%-60%,余量为铜和添加元素,其中,添加元素的含量为铜含量的5%-10%。
2.根据权利要求1所述的电子封装用金刚石/铜热沉材料,其特征在于:所述的改性金刚石为镀铬、钼、钨或钛的金刚石颗粒,镀层厚度为1~3μm。
3.一种电子封装用金刚石/铜热沉材料的制备方法,包括以下步骤:
(1)粉末混合:将重量百分比为30%-60%的改性金刚石颗粒,70%-40%的铜粉和添加元素粉末混合,其中添加元素粉末含量为铜粉含量的5-10%,所述的添加元素粉末为银粉、锡粉或铟锡粉中的一种或多种,然后在行星式球磨机中进行球磨处理,得到混合粉末;
(2)调膏:使用酒精将步骤(1)中制得的混合粉末调为膏状;
(3)烧结:将步骤(2)中制得的混合膏装入放电等离子模具中加压预成型,然后放入烧结炉中,抽真空,在一定压力下升温烧结,最后随炉冷却至室温,得到金刚石/铜热沉材料。
4.根据权利要求3所述的电子封装用金刚石/铜热沉材料的制备方法,其特征在于:所述的改...
【专利技术属性】
技术研发人员:柳旭,付晓玄,史秀梅,黄小凯,陈晓宇,祁宇,王峰,
申请(专利权)人:北京有色金属与稀土应用研究所,
类型:发明
国别省市:北京;11
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