【技术实现步骤摘要】
划片机刀片监测装置及划片机
本专利技术涉及利用旋转刀具对半导体材料精加工领域。
技术介绍
在芯片制作的过程中，需要用旋转的切削刀具对被加工物进行分割，使之成为可用的单个芯片，切削刀具普遍采用金刚石砂轮刀片，金刚石砂轮刀片采用磨削的方式将芯片分离。金刚石砂轮刀片厚度极薄，厚度尺寸通常在20μm～90μm，在高速切割的过程中容易受到工件杂物及崩边的影响造成崩刃，同时连续的切割造成切削刀片磨损，因此切削装置带有实时对刀片进行崩刃和磨损监测的刀片监测机构，以在刀片崩刃或者磨损到一定程度的情况下提醒工作人员更换刀片。刀片监测机构包括安装座、设置在安装座上的光线射出件和受光件，受光件接收光线射出件发出的光，受光件接收到的光转换为与其光量对应的电压，由此来监测处于光线射出件和受光件之间的刀片环状切削刃的实时状态，在对被加工物体进行分割时，被加工物被安装至工作台上，采用磨削的方式切割会产生很多细小粉屑，必须不断地用清水冲洗，以免污染到芯片。为了达到所需切割效率及保证切割质量，圆形切削片需要做高速旋转运动，旋转时的最高速度可达6000...
【技术保护点】
1.划片机刀片监测装置，包括：/n安装座（61），用于设置在划片机主轴（1）上安装刀片（2）的一端；/n光线射出件（62），设置在安装座（61）上，用于射出光线；/n受光件（63），设置在安装座（61）上，用于接收光线；/n光线射出件（62）与受光件（63）用于设置在刀片（2）的两侧监测刀片（2）；/n其特征在于，/n所述安装座（61）上配置有射出件防护腔（66）和受光件防护腔（69），射出件防护腔（66）设有射出件防护腔进气口（661），射出件防护腔进气口（661）供气体进入以保持射出件防护腔（66）内的气压大于射出件防护腔（66）外的气压；受光件防护腔（69）设有受光件...
【技术特征摘要】
1.划片机刀片监测装置，包括：
安装座（61），用于设置在划片机主轴（1）上安装刀片（2）的一端；
光线射出件（62），设置在安装座（61）上，用于射出光线；
受光件（63），设置在安装座（61）上，用于接收光线；
光线射出件（62）与受光件（63）用于设置在刀片（2）的两侧监测刀片（2）；
其特征在于，
所述安装座（61）上配置有射出件防护腔（66）和受光件防护腔（69），射出件防护腔（66）设有射出件防护腔进气口（661），射出件防护腔进气口（661）供气体进入以保持射出件防护腔（66）内的气压大于射出件防护腔（66）外的气压；受光件防护腔（69）设有受光件防护腔进气口（691），受光件防护腔进气口（691）供气体进入以保持受光件防护腔（69）内的气压大于受光件防护腔（69）外的气压；
光线射出件（62）上与受光件（63）相对的光线射出端面（621）处于射出件防护腔（66）内，受光件（63）上与光线射出件（62）相对的受光端面（631）处于受光件防护腔（69）内；
射出件防护腔（66）设有供光线射出的光线出口（662），受光件防护腔69还设有供光线进入的光线入口（692），射出件防护腔（66）和受光件防护腔（69）用于设置在刀片（2）的两侧，光线出口（662）与光线入口（692）相对设置。
2.根据权利要求1所述的划片机刀片监测装置，其特征在于，所述安装座（61）上设有射出件防护块（64），射出件防护块（64）上设有沿光线射出件（62）的光线射出方向上延伸的射出件通孔（65），所述射出件通孔（65）与安装座（61）围成所述射出件防护腔（66），射出件通孔（65）的一端孔口形成所述光线出口（662）。
3.根据权利要求2所述的划片机刀片监测装置，其特征在于，所述射出件通孔（65）的孔径大于光线射出端面（621）的外径。
4.根据权利要求2所述的划片机刀片监测装置，其特征在于，所述射出件防护腔进气口（661）设置在射出件通孔（6...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵彤宇，孙伟，石云鹏，李晓宁，杨红飞，
申请(专利权)人：郑州光力瑞弘电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河南;41
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