本实用新型专利技术公开一种划片刀偏心消除装置，涉及半导体加工技术领域，包括扩张顶丝和刀盘法兰，刀片套装到刀盘法兰时仍然存在微小的间隙；刀盘法兰的头端内腔设置能够与扩张顶丝配合的锥形面，当扩张顶丝装入刀盘法兰并沿轴向移动时，由于头端内腔的内径朝向尾端逐渐减小，而扩张顶丝的外径并不改变，因此扩张顶丝对刀盘法兰的内腔四周施加径向的扩张作用力，刀盘法兰的外周发生弹性变形向外扩张，刀盘法兰对应于刀片位置的外径增大，使刀盘法兰的外周顶在刀片的内圈，消除刀片与刀盘法兰之间的间隙，使两者形成过盈配合，从而消除刀片的偏心状态，调节过程不需要磨削刀片，因此可以避免刀片发生损耗。免刀片发生损耗。免刀片发生损耗。
【技术实现步骤摘要】
一种划片刀偏心消除装置及划片机
[0001]本技术涉及半导体加工
，更进一步涉及一种划片刀偏心消除装置。此外，本技术还涉及一种划片机。
技术介绍
[0002]划片机作为半导体后封装的关键设备，是通过安装在空气静压高速主轴刀盘法兰上的划片刀对晶圆进行划切。其加工精度受自身的性能和工艺参数影响外，一个重要因素是刀片安装时的误差。当刀片安装在主轴和法兰上，虽然刀片与法兰直接接触，但两者间依然是存在缝隙，加上重力的影响使得刀片的中心轴线与主轴的中心轴线不重合，即产生刀片的偏心。若刀片在偏心的情况下使用，导致切割出来的晶圆深度不一，使得划片机的加工精度下降以及影响晶圆的品质。所以这对安装刀片如何消除偏心提出了挑战。
[0003]在以往的划片机工作中，应对刀片偏心的方法时进行磨刀处理，即将刀片安装在主轴之后，通过光电传感器测量和计算出偏心量，然后调动相应的程序将刀片移动到磨刀板上，根据偏心量对刀片进行磨刀处理，利用磨刀处理后的刀片对晶圆进行工作。这种方法在一定程度上减少了刀片的偏心量，但是却大大降低了刀片的使用寿命，另一方面也增加了磨刀板的损耗，以及整个操作的时间成本。
[0004]对于本领域的技术人员来说，如何在不需要磨削刀片的情况下消除刀片偏心，是目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种划片刀偏心消除装置，利用扩张顶丝使刀盘法兰发生弹性变形向四周扩张，从而消除偏心，具体方案如下：
[0006]一种划片刀偏心消除装置，包括扩张顶丝和刀盘法兰，所述刀盘法兰的外周用于套装刀片，所述刀盘法兰的头端内腔设置能够与所述扩张顶丝配合的锥形面；所述扩张顶丝相对于所述刀盘法兰沿轴向移动时，所述扩张顶丝对所述锥形面施加向外周扩张的作用力，使所述刀盘法兰的外周顶在所述刀片的内圈。
[0007]优选地，所述锥形面的直径从头端向尾端逐渐减小。
[0008]优选地，所述锥形面设置内螺纹，所述扩张顶丝的外周设置外螺纹，所述锥形面和所述扩张顶丝通过螺纹配合。
[0009]优选地，所述扩张顶丝为环形，其内壁设置为用于拧动的棱柱型腔。
[0010]优选地，所述刀盘法兰的外周设置薄壁缺口，所述刀盘法兰的厚度在所述薄壁缺口处最小；所述薄壁缺口设置于所述锥形面直径较大的一端。
[0011]优选地，所述刀盘法兰的外周设置过盈环台，所述过盈环台凸出于所述刀盘法兰的外周，用于与所述刀片的内圈接触配合。
[0012]优选地，所述刀盘法兰通过法兰螺钉固定于芯轴；用于连接所述法兰螺钉的连接盘在轴向上位于所述刀片的尾端一侧。
[0013]优选地，所述扩张顶丝的内圈能够容纳所述法兰螺钉的螺栓头。
[0014]优选地，所述刀盘法兰的外周设置用于轴向定位所述刀片的轴向定位台。
[0015]本技术提供一种划片机，包括上述任一项所述的划片刀偏心消除装置。
[0016]本技术提供一种划片刀偏心消除装置，包括扩张顶丝和刀盘法兰，刀盘法兰的外周用于套装刀片，刀片套装到刀盘法兰时仍然存在微小的间隙；刀盘法兰的头端内腔设置能够与扩张顶丝配合的锥形面，当扩张顶丝装入刀盘法兰并沿轴向移动时，由于头端内腔的内径朝向尾端逐渐减小，而扩张顶丝的外径并不改变，因此扩张顶丝对刀盘法兰的内腔四周施加径向的扩张作用力，刀盘法兰的外周发生弹性变形向外扩张，刀盘法兰对应于刀片位置的外径增大，使刀盘法兰的外周顶在刀片的内圈，消除刀片与刀盘法兰之间的间隙，使两者形成过盈配合，从而消除刀片的偏心状态，调节过程不需要磨削刀片，因此可以避免刀片发生损耗。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术实施例所提供的划片刀偏心消除装置具体实施例的剖面图。
[0019]图中包括：
[0020]扩张顶丝1、刀盘法兰2、锥形面2.1、薄壁缺口2.2、过盈环台2.3、轴向定位台2.4、连接盘2.5、刀片3、法兰螺钉4、芯轴5。
具体实施方式
[0021]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0022]为了使本
的技术人员更好地理解本申请方案，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。
[0023]需要说明的是，在本实施例中，“上”、“下”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0024]本技术提供一种划片刀偏心消除装置，包括扩张顶丝1和刀盘法兰2等结构，结合图1，图中展示了刀盘法兰2和芯轴5相互配合的结构；刀盘法兰2的外周用于套装刀片3，图1中左端为头端，右端为尾端，刀盘法兰2的尾端固定在芯轴5上，刀盘法兰2的尾端与芯轴5之间形成过盈装配连接，通常在芯轴5的端部设置锥形体外表面，刀盘法兰2的尾端内腔设置锥形内表面，两者相互装配形成更加紧密的配合关系。
[0025]刀盘法兰2的头端内腔设置能够与扩张顶丝1配合的锥形面2.1，刀片3正对锥形面
2.1设置，也即刀片3沿径向在轴线上的投影落在锥形面2.1沿径向在轴线上的投影范围之内，当锥形面2.1受到四周向外的扩张力时。锥形面2.1对应位置的壁面向外周扩张，从而对刀片3的内圈侧壁形成挤压。
[0026]需要注意的是，锥形面2.1并不要求必须从刀盘法兰2端面位置起始，图1当中靠近头端端面位置的部分是一段圆筒形内腔。
[0027]扩张顶丝1相对于刀盘法兰2沿轴向移动时，扩张顶丝1对锥形面2.1施加向外周扩张的作用力，使刀盘法兰2的外周顶在刀片3的内圈。结合图1，当扩张顶丝1从左向右移动时，由于扩张顶丝1自身为刚性结构，并且刀盘法兰2左端的内腔设置有锥形面2.1，一种优选的情况是，扩张顶丝1的外径与锥形面2.1最大位置的口径相等，当扩张顶丝1位于锥形面2.1左端口径最大位置时并不对锥形面2.1产生向外扩张的挤压力，当扩张顶丝1逐渐向右端移动，逐渐向锥形面2.1口径较小的一端沿轴向移动时，由于扩张顶丝1的外径大于锥形面2.1其他位置的口径，因此扩张顶丝1对锥形面2.1产生向四周扩张的作用力，使刀盘法兰2相应位置的壁面实体发生弹性变形，刀盘法兰2的壁面向四周扩张，刀盘法兰2的外径增大，因此能够与刀片3的内圈表面接触，形成过盈配合，消除刀片3与刀盘法兰2之间的缝隙，从而本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种划片刀偏心消除装置，其特征在于，包括扩张顶丝(1)和刀盘法兰(2)，所述刀盘法兰(2)的外周用于套装刀片(3)，所述刀盘法兰(2)的头端内腔设置能够与所述扩张顶丝(1)配合的锥形面(2.1)；所述扩张顶丝(1)相对于所述刀盘法兰(2)沿轴向移动时，所述扩张顶丝(1)对所述锥形面(2.1)施加向外周扩张的作用力，使所述刀盘法兰(2)的外周顶在所述刀片(3)的内圈。2.根据权利要求1所述的划片刀偏心消除装置，其特征在于，所述锥形面(2.1)的直径从头端向尾端逐渐减小。3.根据权利要求2所述的划片刀偏心消除装置，其特征在于，所述锥形面(2.1)设置内螺纹，所述扩张顶丝(1)的外周设置外螺纹，所述锥形面(2.1)和所述扩张顶丝(1)通过螺纹配合。4.根据权利要求3所述的划片刀偏心消除装置，其特征在于，所述扩张顶丝(1)为环形，其内壁设置为用于拧动的棱柱型腔。5.根据权利要求1至4任一项所述的划片刀偏心消除装置，其特征在于，所述刀盘法兰(2)的外周设置薄壁...
【专利技术属性】
技术研发人员：王超，司亚辉，李伟超，孙亚辉，王建伟，
申请(专利权)人：郑州光力瑞弘电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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