一种传输系统技术方案

本实用新型专利技术涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种传输系统。本实用新型专利技术提供的传输系统，包括存储库、工件台和传输机构，其中，存储库用于存放不同形状及尺寸的工件；工件台能够承载不同形状及尺寸的工件；传输机构包括驱动件和至少两个用于吸取不同形状及尺寸工件的片叉，驱动件能够驱动片叉吸取存储库中的工件，并将工件转移至工件台上。该传输系统，通过使存储库及工件台均能够适应承载不同形状及尺寸的工件，然后利用不同的片叉将存储库内的不同形状及尺寸的工件转移至工件台上，无需更换硬件，即可兼容传输不同形状及尺寸的工件，提高作业效率，降低设备成本，还能够减少维护人员的工作量。

【技术实现步骤摘要】
一种传输系统
本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种传输系统。
技术介绍
在半导体加工过程中，需要利用传输系统快速、准确、可靠地传输硅片。硅片包括圆形硅片(以下简称圆片)和方形硅片(以下简称方片)，其中，圆片尺寸类型包括8寸、12寸等；方片尺寸类型包括50×50、120×120、160×100、160×200等。随着光刻机处理的硅片形状及尺寸越来越多，要求传输系统可以兼容处理不同形状及尺寸的硅片。而现有技术中的传输系统，只能单独处理圆片或者方片，从圆片切换到方片只能更换硬件，一方面，操作繁琐复杂，影响加工效率；另一方面，需要购置不同类型的硬件设备，成本较高。因此，亟待需要一种传输系统以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的一个目的在于提供一种传输系统，能够兼容传输不同形状及尺寸的工件，提高作业效率，降低设备成本。为实现上述目的，提供以下技术方案：一种传输系统，包括：存储库，用于存放不同形状及尺寸的工件；工件台，能够承载不同形状及尺寸的工件；传输机构，包括驱动件和至少两个用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传输系统，其特征在于，包括：/n存储库，用于存放不同形状及尺寸的工件；/n工件台(1)，能够承载不同形状及尺寸的工件；/n传输机构(2)，包括驱动件(21)和至少两个用于吸取不同形状及尺寸工件的片叉，所述驱动件(21)能够驱动所述片叉吸取所述存储库中的工件，并将所述工件转移至所述工件台(1)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种传输系统，其特征在于，包括：
存储库，用于存放不同形状及尺寸的工件；
工件台(1)，能够承载不同形状及尺寸的工件；
传输机构(2)，包括驱动件(21)和至少两个用于吸取不同形状及尺寸工件的片叉，所述驱动件(21)能够驱动所述片叉吸取所述存储库中的工件，并将所述工件转移至所述工件台(1)上。


2.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述工件台(1)包括至少两组吸附范围不同的吸附组件，所述吸附组件能够升降以接收不同片叉上的工件。


3.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述驱动件(21)能够驱动所述片叉转动，所述片叉的运动轨迹形成虚拟圆形(100)。


4.根据权利要求2所述的传输系统，其特征在于，至少两组所述吸附组件中包括第一吸附组件和第二吸附组件，所述第一吸附组件包括多个间隔设置的第一吸附件(11)，多个所述第一吸附件(11)围设在所述第二吸附组件的周侧。


5.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述存储库包括多个用于存放不同形状及尺寸的工件的片库，多个所述片库和所述工件台(1)以所述驱动件(21)的输出端为圆心呈圆周分布。


6.根据权利要求5所述的传输系统，其特征在于，所述传...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘凯，付红艳，刘浩，王刚，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31