一种传输系统技术方案

本实用新型专利技术涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种传输系统。本实用新型专利技术提供的传输系统，包括存储库、工件台和传输机构，其中，存储库用于存放不同形状及尺寸的工件；工件台能够承载不同形状及尺寸的工件；传输机构包括驱动件和至少两个用于吸取不同形状及尺寸工件的片叉，驱动件能够驱动片叉吸取存储库中的工件，并将工件转移至工件台上。该传输系统，通过使存储库及工件台均能够适应承载不同形状及尺寸的工件，然后利用不同的片叉将存储库内的不同形状及尺寸的工件转移至工件台上，无需更换硬件，即可兼容传输不同形状及尺寸的工件，提高作业效率，降低设备成本，还能够减少维护人员的工作量。

【技术实现步骤摘要】
一种传输系统
本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种传输系统。
技术介绍
在半导体加工过程中，需要利用传输系统快速、准确、可靠地传输硅片。硅片包括圆形硅片(以下简称圆片)和方形硅片(以下简称方片)，其中，圆片尺寸类型包括8寸、12寸等；方片尺寸类型包括50×50、120×120、160×100、160×200等。随着光刻机处理的硅片形状及尺寸越来越多，要求传输系统可以兼容处理不同形状及尺寸的硅片。而现有技术中的传输系统，只能单独处理圆片或者方片，从圆片切换到方片只能更换硬件，一方面，操作繁琐复杂，影响加工效率；另一方面，需要购置不同类型的硬件设备，成本较高。因此，亟待需要一种传输系统以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的一个目的在于提供一种传输系统，能够兼容传输不同形状及尺寸的工件，提高作业效率，降低设备成本。为实现上述目的，提供以下技术方案：一种传输系统，包括：存储库，用于存放不同形状及尺寸的工件；工件台，能够承载不同形状及尺寸的工件；传输机构，包括驱动件和至少两个用于吸取不同形状及尺寸工件的片叉，所述驱动件能够驱动所述片叉吸取所述存储库中的工件，并将所述工件转移至所述工件台上。作为传输系统的可选方案，所述工件台包括至少两组吸附范围不同的吸附组件，所述吸附组件能够升降以接收不同片叉上的工件。作为传输系统的可选方案，所述驱动件能够驱动所述片叉转动，所述片叉的运动轨迹形成虚拟圆形。作为传输系统的可选方案，至少两组所述吸附组件中包括第一吸附组件，至少两个所述片叉中包括第一片叉，所述第一片叉的作业端上设置有避让槽，所述避让槽能够避开所述第一吸附组件。作为传输系统的可选方案，至少两组所述吸附组件中包括第二吸附组件，所述第二吸附组件包括多个间隔设置的第二吸附件；至少两个所述片叉中包括第二片叉，所述第二片叉的作业端能够伸入多个所述第二吸附件之间的间隔中。作为传输系统的可选方案，所述第一吸附组件包括多个间隔设置的第一吸附件，多个所述第一吸附件围设在所述第二吸附组件的周侧。作为传输系统的可选方案，所述存储库包括多个用于存放不同形状及尺寸的工件的片库，多个所述片库和所述工件台以所述驱动件的输出端为圆心呈圆周分布。作为传输系统的可选方案，所述传输系统还包括多个预对准工位，多个所述预对准工位位于多个所述片库和所述工件台形成的圆周上。作为传输系统的可选方案，多个所述片库中包括圆片片库和方片片库，所述圆片片库与所述方片片库平行间隔设置，且所述圆片片库和所述方片片库设置在所述驱动件的一侧，所述工件台设置在所述驱动件的另一侧。作为传输系统的可选方案，多个所述预对准工位中包括：圆片预对准工位，设置于多个所述片库和所述工件台形成的圆周上，且位于所述圆片片库和所述工件台之间；方片预对准工位，设置于多个所述片库和所述工件台形成的圆周上，且位于所述方片片库和所述工件台之间。作为传输系统的可选方案，所述圆片预对准工位的中心和所述方片预对准工位的中心的连线经过所述驱动件的输出端。作为传输系统的可选方案，所述传输机构还包括至少两个伸缩组件，每个所述伸缩组件的一端均与所述驱动件的输出端相连接，每个所述伸缩组件的另一端与一个所述片叉相连接，所述驱动件能够驱动所述伸缩组件转动，所述伸缩组件能够驱动所述片叉在水平面内移动。与现有技术相比，本技术的有益效果为：本技术提供的传输系统，包括存储库、工件台和传输机构，其中，存储库用于存放不同形状及尺寸的工件；工件台能够承载不同形状及尺寸的工件；传输机构包括驱动件和至少两个用于吸取不同形状及尺寸工件的片叉，驱动件能够驱动片叉吸取存储库中的工件，并将工件转移至工件台上。该传输系统，通过使存储库及工件台均能够适应承载不同形状及尺寸的工件，然后利用不同的片叉将存储库内的不同形状及尺寸的工件转移至工件台上，无需更换硬件，即可兼容传输不同形状及尺寸的工件，提高作业效率，降低设备成本，还能够减少维护人员的工作量。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的传输系统的结构示意图；图2为本技术实施例提供的工件台上第一吸附组件和第二吸附组件的布局示意图；图3为本技术实施例提供的第一片叉吸取圆片的示意图；图4为本技术实施例提供的第一片叉吸取方片的示意图；图5为本技术实施例提供的第一片叉与第一吸附组件的交接示意图；图6为本技术实施例提供的第二片叉吸取方片的示意图；图7为本技术实施例提供的第二片叉与第二吸附组件的交接示意图；图8为本技术实施例提供的传输机构的结构示意图。附图标记：100-虚拟圆形；1-工件台；11-第一吸附件；12-第二吸附件；2-传输机构；21-驱动件；22-第一片叉；221-避让槽；23-第二片叉；24-第一伸缩组件；25-第二伸缩组件；3-圆片片库；31-第一片盒；4-方片片库；41-第二片盒；5-圆片预对准工位；6-方片预对准工位。具体实施方式为了使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或是本产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，或者用于区分不同结构或部件，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1所示，本实施例提供了一种传输系统，包括存储库、工件台1和传输机构2，其中，存储库用于存放不同形状及尺寸的工件；工件台1能够承载不同形状及尺寸的工件；传输机构2包括驱动件21和至少两个用于吸取不同形状及尺寸工件的片叉，驱动件21能够驱动片叉吸取存储库中的工件，并将工件转移至工件台1上。该传输系统，通过使存储库及工件台1均能够适应承载不同形状本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传输系统，其特征在于，包括：/n存储库，用于存放不同形状及尺寸的工件；/n工件台(1)，能够承载不同形状及尺寸的工件；/n传输机构(2)，包括驱动件(21)和至少两个用于吸取不同形状及尺寸工件的片叉，所述驱动件(21)能够驱动所述片叉吸取所述存储库中的工件，并将所述工件转移至所述工件台(1)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种传输系统，其特征在于，包括：
存储库，用于存放不同形状及尺寸的工件；
工件台(1)，能够承载不同形状及尺寸的工件；
传输机构(2)，包括驱动件(21)和至少两个用于吸取不同形状及尺寸工件的片叉，所述驱动件(21)能够驱动所述片叉吸取所述存储库中的工件，并将所述工件转移至所述工件台(1)上。


2.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述工件台(1)包括至少两组吸附范围不同的吸附组件，所述吸附组件能够升降以接收不同片叉上的工件。


3.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述驱动件(21)能够驱动所述片叉转动，所述片叉的运动轨迹形成虚拟圆形(100)。


4.根据权利要求2所述的传输系统，其特征在于，至少两组所述吸附组件中包括第一吸附组件和第二吸附组件，所述第一吸附组件包括多个间隔设置的第一吸附件(11)，多个所述第一吸附件(11)围设在所述第二吸附组件的周侧。


5.根据权利要求1所述的传输系统，其特征在于，所述存储库包括多个用于存放不同形状及尺寸的工件的片库，多个所述片库和所述工件台(1)以所述驱动件(21)的输出端为圆心呈圆周分布。


6.根据权利要求5所述的传输系统，其特征在于，所述传...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘凯，付红艳，刘浩，王刚，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31