一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，包括：固定基板；以及固接于所述固定基板上的第一卡接板与第二卡接板；其中，所述第一卡接板与第二卡接板沿着竖直平面平行且间隔设置以形成位于两者之间的卡接调节空间；所述第一卡接板及第二卡接板上分别开设有用于穿套连接杆的第一卡接孔及第二卡接孔；所述连接杆从所述大致第一卡接孔出发沿着竖直平面被保持在所述第一卡接孔及第二卡接孔中。根据本实用新型专利技术，其仅通过在第一卡接板及第二卡接板上分别开设有第一卡接孔及第二卡接孔实现了对推舟机构的可拆卸式稳定夹持。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构
本技术涉及太阳能光伏电池领域，特别涉及一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构。
技术介绍
太阳能光伏电池是一种具有光-电转换特性的半导体器件，它直接将太阳辐射能转换成直流电，是光伏収电的最基本单元，在太阳能收集转化过程中，太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，据测算，光在硅表面的反射损失率高达35％左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H进一步加强了对电池的钝化。薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类：物理气象沉积(PVD)和化学气象沉积(CVD)。等离子增强型化学气相沉积(PECVD)是化学气相沉积的一种，PECVD(Pl本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，包括：/n固定基板(111)；以及/n固接于所述固定基板(111)上的第一卡接板(112)与第二卡接板(113)；/n其中，所述第一卡接板(112)与第二卡接板(113)沿着竖直平面平行且间隔设置以形成位于两者之间的卡接调节空间；所述第一卡接板(112)及第二卡接板(113)上分别开设有用于穿套连接杆(121)的第一卡接孔(1122)及第二卡接孔；所述连接杆(121)从所述第一卡接孔(1122)出发沿着竖直平面被保持在所述第一卡接孔(1122)及第二卡接孔中。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，包括：
固定基板(111)；以及
固接于所述固定基板(111)上的第一卡接板(112)与第二卡接板(113)；
其中，所述第一卡接板(112)与第二卡接板(113)沿着竖直平面平行且间隔设置以形成位于两者之间的卡接调节空间；所述第一卡接板(112)及第二卡接板(113)上分别开设有用于穿套连接杆(121)的第一卡接孔(1122)及第二卡接孔；所述连接杆(121)从所述第一卡接孔(1122)出发沿着竖直平面被保持在所述第一卡接孔(1122)及第二卡接孔中。


2.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，所述第一卡接孔(1122)与第二卡接孔的孔径大于所述连接杆(121)的径向尺寸。


3.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，所述第一卡接孔(1122)的边缘开设有与其连通的第一调节槽(1121)，所述第一调节槽(1121)中嵌设有：
第一调节楔块(1123)；以及
第一调节部件，其与所述第一调节楔块(1123)相连接并延伸至第一卡接板(112)的外部；
其中，所述第一调节槽(1121)位于第一卡接孔(1122)的正下方，所述第一调节楔块(1123)可在所述第一调节部件的调节下在所述第一调节槽(1121)中往复升降以侵入或撤出所述第一卡接孔(1122)。


4.如权利要求3所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，所述第一调节楔块(1123)的升降方向与所述第一卡接孔(1122)的中心相对。


5...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘景博，王玉明，陈晖，
申请(专利权)人：苏州拓升智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32