一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，包括：固定基板；以及固接于所述固定基板上的第一卡接板与第二卡接板；其中，所述第一卡接板与第二卡接板沿着竖直平面平行且间隔设置以形成位于两者之间的卡接调节空间；所述第一卡接板及第二卡接板上分别开设有用于穿套连接杆的第一卡接孔及第二卡接孔；所述连接杆从所述大致第一卡接孔出发沿着竖直平面被保持在所述第一卡接孔及第二卡接孔中。根据本实用新型专利技术，其仅通过在第一卡接板及第二卡接板上分别开设有第一卡接孔及第二卡接孔实现了对推舟机构的可拆卸式稳定夹持。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构
本技术涉及太阳能光伏电池领域，特别涉及一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构。
技术介绍
太阳能光伏电池是一种具有光-电转换特性的半导体器件，它直接将太阳辐射能转换成直流电，是光伏収电的最基本单元，在太阳能收集转化过程中，太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，据测算，光在硅表面的反射损失率高达35％左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H进一步加强了对电池的钝化。薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类：物理气象沉积(PVD)和化学气象沉积(CVD)。等离子增强型化学气相沉积(PECVD)是化学气相沉积的一种，PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子产生电离，物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物，其沉积温度低是其最突出的优点。PECVD的薄膜具有优良的电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性。在太阳能光伏电池领域中，采用不同结构形式的石墨舟推舟固定机构来实现石墨舟推舟机构的固定安装是众所周知的。在研究和实现石墨舟推舟机构的固定安装的过程中，技术人发现现有技术中的石墨舟推舟固定机构至少存在如下问题：现有的石墨舟推舟固定机构结构复杂，涉及的零部件较多，要实现其与推舟机构的可拆卸式固定连接变得极为繁琐。有鉴于此，实有必要开发一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，用以解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足之处，本技术的主要目的是，提供一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其仅通过在第一卡接板及第二卡接板上分别开设有第一卡接孔及第二卡接孔实现了对推舟机构的可拆卸式稳定夹持。本技术的另一个目的是，提供一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其通过在所述第一卡接孔的边缘开设有与其连通的第一调节槽，实现了对推舟机构在竖直平面内的俯仰角度调整。本技术的另一个目的是，提供一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其通过在第二卡接孔的边缘沿其周向开设有偶数个与其连通的第二调节槽，实现了对推舟机构在水平面内的摆动角度调整。为了实现根据本技术的上述目的和其他优点，提供了一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，包括：固定基板；以及固接于所述固定基板上的第一卡接板与第二卡接板；其中，所述第一卡接板与第二卡接板沿着竖直平面平行且间隔设置以形成位于两者之间的卡接调节空间；所述第一卡接板及第二卡接板上分别开设有用于穿套连接杆的第一卡接孔及第二卡接孔；所述连接杆从所述大致第一卡接孔出发沿着竖直平面被保持在所述第一卡接孔及第二卡接孔中。可选的，所述第一卡接孔与第二卡接孔的孔径略大于所述连接杆的径向尺寸。可选的，所述第一卡接孔的边缘开设有与其连通的第一调节槽，所述第一调节槽中嵌设有：第一调节楔块；以及第一调节部件，其与所述第一调节楔块相连接并延伸至第一卡接板的外部；其中，所述第一调节槽位于第一卡接孔的正下方，所述第一调节楔块可在所述第一调节部件的调节下在所述第一调节槽中往复升降以侵入或撤出所述第一卡接孔。可选的，所述第一调节楔块的升降方向与所述第一卡接孔的中心相对。可选的，所述第二卡接孔的边缘沿其周向开设有偶数个与其连通的第二调节槽，所述第二调节槽被布置为由至少一个调节子集构成，每个调节子集包括关于所述第二卡接孔呈对称设置的一对第二调节槽，每个所述第二调节槽中嵌设有：第二调节楔块；以及第二调节部件，其与所述第二调节楔块相连接并延伸至第二卡接板的外部；其中，每个所述第二调节槽位于所述第二卡接孔的斜下方，所述第二调节楔块可在所述第二调节部件的调节下沿着所述第二调节槽往复滑移以侵入或撤出所述第二卡接孔。可选的，所述第二调节楔块的滑移方向与所述第二卡接孔的中心相对。可选的，所述第二卡接板的上方可拆卸地连接有拆装板；在所述第二卡接板与拆装板的相接处，所述第二卡接板上开设有向其内部凹陷的下卡接槽，所述拆装板上开设有向其内部凹陷的上卡接槽，当所述拆装板连接至所述第二卡接板上时，所述上卡接槽与所述下卡接槽相合以形成所述第二卡接孔。可选的，所述第一卡接板与第二卡接板之间固接有平行保持板。上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其仅通过在第一卡接板及第二卡接板上分别开设有第一卡接孔及第二卡接孔实现了对推舟机构的稳定夹持。上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：其通过在所述第一卡接孔的边缘开设有与其连通的第一调节槽，实现了对推舟机构在竖直平面内的俯仰角度调整。上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其通过在第二卡接孔的边缘沿其周向开设有偶数个与其连通的第二调节槽，实现了对推舟机构在水平面内的摆动角度调整。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本技术的一些实施例，而非对本技术的限制，其中：图1为根据本技术一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构与推舟机构的连接杆相结合时的立体图；图2为根据本技术一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构的立体图；图3为根据本技术一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构中隐藏了第一卡接板后的左视图。具体实施方式下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，包括：/n固定基板(111)；以及/n固接于所述固定基板(111)上的第一卡接板(112)与第二卡接板(113)；/n其中，所述第一卡接板(112)与第二卡接板(113)沿着竖直平面平行且间隔设置以形成位于两者之间的卡接调节空间；所述第一卡接板(112)及第二卡接板(113)上分别开设有用于穿套连接杆(121)的第一卡接孔(1122)及第二卡接孔；所述连接杆(121)从所述第一卡接孔(1122)出发沿着竖直平面被保持在所述第一卡接孔(1122)及第二卡接孔中。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，包括：
固定基板(111)；以及
固接于所述固定基板(111)上的第一卡接板(112)与第二卡接板(113)；
其中，所述第一卡接板(112)与第二卡接板(113)沿着竖直平面平行且间隔设置以形成位于两者之间的卡接调节空间；所述第一卡接板(112)及第二卡接板(113)上分别开设有用于穿套连接杆(121)的第一卡接孔(1122)及第二卡接孔；所述连接杆(121)从所述第一卡接孔(1122)出发沿着竖直平面被保持在所述第一卡接孔(1122)及第二卡接孔中。


2.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，所述第一卡接孔(1122)与第二卡接孔的孔径大于所述连接杆(121)的径向尺寸。


3.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，所述第一卡接孔(1122)的边缘开设有与其连通的第一调节槽(1121)，所述第一调节槽(1121)中嵌设有：
第一调节楔块(1123)；以及
第一调节部件，其与所述第一调节楔块(1123)相连接并延伸至第一卡接板(112)的外部；
其中，所述第一调节槽(1121)位于第一卡接孔(1122)的正下方，所述第一调节楔块(1123)可在所述第一调节部件的调节下在所述第一调节槽(1121)中往复升降以侵入或撤出所述第一卡接孔(1122)。


4.如权利要求3所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟固定机构，其特征在于，所述第一调节楔块(1123)的升降方向与所述第一卡接孔(1122)的中心相对。


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【专利技术属性】
技术研发人员：刘景博，王玉明，陈晖，
申请(专利权)人：苏州拓升智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32