一种晶圆盒自动开盒送料装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种晶圆盒自动开盒送料装置，包括机架；升盒机构，所述升盒机构活动安装在机架上；升盒驱动机构，所述升盒驱动机构与升盒机构传动连接，并驱动升盒机构做升降运动；开盒机构，所述开和机构活动安装在机架上；开盒驱动机构，所述开盒驱动机构与开盒机构传动连接，并驱动开盒机构做水平运动；风箱机构，所述风箱机构分别与机架和升盒机构固定连接，并跟随升盒机构做升降运动；控制器，所述控制器固定安装在机架内，且控制器分别与升盒机构、升盒驱动机构、开盒机构和开盒驱动机构电性连接。本发明专利技术具有体积小巧、适用性强的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒自动开盒送料装置
本专利技术涉及晶圆加工装置
，具体为一种晶圆盒自动开盒送料装置。
技术介绍
晶圆是指制作硅半导体集成电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，由于其形状为圆形，故称为晶圆。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999%。晶圆制造厂再将此多晶硅熔解，再于溶液内掺入一小粒的硅晶体晶种，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗小晶粒在融熔态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过研磨，抛光，切片后，即成为集成电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。简单的说,单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶圆。晶圆经多次光罩处理，其中每一次的步骤包括感光剂途布、曝光、显影、腐蚀、渗透或蒸煮等等，制成具有多层线路与元件的IC晶圆，再交由后段的测试、切割、封装厂，以制成实体的集成电路成品。晶圆在生产加工过程中，非常容易受到环境中粉尘的污染，小到几十纳米的微小颗粒，大到几百微米的灰尘，自于生产加工中晶圆表面的灰尘、空气纯净度未到达标准以及加工过程中化学试剂等。这些颗粒在光刻时会遮挡光线，造成集成电路结构上的缺陷，污染物可能会附着在晶圆表面，造成图案的不完整，直接影响芯片的电气特性，因此通常通过SMIF（标准机械界面）隔离技术，使晶圆可以在对外界环境要求相对较低的情况下，保障晶圆自动上下料过程中的洁净。对比文件一：如中国专利技术专利公开号CN101459100B公布了一种紧凑式晶圆自动传输装置，包括机架、上料平台、风箱体和手臂机构，手臂机构的升降、伸展电机不在一个平面上，下手臂通过平移机构和翻转机构连接抓取机构，并利用齿轮连杆传动机构驱动抓取机构绕轴线转动，抓取机构的抓取电机驱动夹爪往复移动，抓取机构上的定位机构设置可调定位块。对比文件二：如中国专利技术专利公开号CN101459101B公布了一种翻转式晶圆自动传输装置，包括机架、上料平台、风箱体和手臂机构，手臂机构的下手臂通过翻转机构连接抓取机构，抓取机构的固定板通过翻转轴铰接在翻转基座上，抓取机构的抓取电机通过涡轮蜗杆驱动抓取连杆带动夹爪沿抓取滑轨往复移动，抓取机构上的定位机构设置可调定位块。对比文件三：如中国专利技术专利公开号CN101465308B公布了一种旋转型晶圆自动传输装置，包括机架、上料平台、风箱体和手臂机构，手臂机构的抓取机构利用组装在下手臂固定座内的大、小带轮组成的传动机构绕轴转动，设置在抓取机构的抓取电机通过蜗轮蜗杆驱动抓取连杆带动夹爪沿抓取滑轨往复移动，抓取机构上的定位机构设置可调定位块。对比文件四：如中国专利技术专利公开号CN101465309公布了一种平移翻转式晶圆自动传输装置，包括机架、上料平台、风箱体和手臂机构，手臂机构的下手臂通过组装在一起的平移机构和翻转机构连接抓取机构，并利用组装齿轮连杆传动机构驱动抓取机构绕轴线转动，抓取机构的抓取电机驱动夹爪往复移动，抓取机构上的定位机构设置可调定位块。但是在实际使用中发现，上述对比文件中的技术方案均存在缺陷，如对比文件一中的技术方案，仅可在有限行程空间内完成晶圆水平或垂直状态的自动传输，同时实现晶圆匣左右平移和翻转；又如对比文件三中的技术方案，仅仅是在完成晶圆自动传输的同时，实现晶圆匣随意旋转和180度反向置放，同时机械手运动范围较小，导致单台上料设备无法兼容不同的加工机型，而针对每一个加工机型，又需要配置不同款式的定制版上料设备，这就导致了企业成本的急剧上升，因此有必要针对以上问题进行改良。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种晶圆盒自动开盒送料装置，具备适用性强，体积小巧的优点，解决了以上
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆盒自动开盒送料装置，包括机架；升盒机构，所述升盒机构活动安装在机架上；升盒驱动机构，所述升盒驱动机构与升盒机构传动连接，并驱动升盒机构做升降运动；开盒机构，所述开和机构活动安装在机架上；开盒驱动机构，所述开盒驱动机构与开盒机构传动连接，并驱动开盒机构做水平运动；风箱机构，所述风箱机构分别与机架和升盒机构固定连接，并跟随升盒机构做升降运动；控制器，所述控制器固定安装在机架内，且控制器分别与升盒机构、升盒驱动机构、开盒机构和开盒驱动机构电性连接。优选的，所述升盒机构包括升盒底板和固定安装在升盒底板上端面的升盒盖板，所述升盒底板与升盒驱动机构传动连接，且升盒底板上开设有与开盒机构形状相匹配的孔洞，所述升盒盖板与升盒底板固定连接后形成内部中空的空腔，所述空腔内设置有至少一个升盒组件，所述升盒组件与控制器电性连接。优选的，所述升盒组件包括升盒直线电机、升盒传动杆和升盒抓钩，所述升盒直线电机固定安装在升盒底板上，且升盒直线电机与控制器电性连接，所述升盒传动杆活动安装在升盒底板上，且升盒传动杆的两端分别与升盒传动电机的输出端和升盒抓钩固定连接，所述升盒抓钩活动安装在升盒底板上。优选的，所述升盒驱动机构包括升盒驱动电机、升盒驱动传动带、升盒驱动丝杆、升盒驱动导轨和至少两根立柱，所述升盒驱动电机和升盒驱动丝杆固定安装在其中一根立柱之中，所述升盒驱动导轨固定安装在另一根立柱之中，所述升盒驱动电机与控制器电性连接，且升盒驱动电机的输出端通过升盒驱动传动带与升盒驱动丝杆传动连接，所述升盒驱动丝杆和升盒驱动导轨分别与升盒机构固定连接。优选的，所述开盒机构包括开盒箱体和固定安装在开盒箱体上端面的开盒盖板，所述开盒箱体与开盒驱动组件传动连接，所述开盒盖板上设置有若干根定位柱，且开盒盖板与开盒箱体固定连接后形成内部中空的腔体，所述腔体内设置有开盒组件和物料传感组件，所述开盒组件和物料传感组件分别与控制器电性连接。优选的，所述开盒组件包括开盒电机、开盒传动带、开盒丝杆、开盒传动块、开盒连杆和开盒拨块，所述开盒电机与控制器电性连接，且开盒电机的输出端通过开盒传动带与开盒丝杆传动连接，所述开盒传动块活动安装在开盒丝杆上，所述开盒连杆的两端分别与开盒传动块和开盒拨块连接，所述开盒拨块上设置有至少两根开盒拨柱，两根所述开盒拨柱均延伸穿过开盒盖板。优选的，所述物料传感组件包括弹簧、挡柱和传感器，所述弹簧的两端分别与开盒箱体和挡柱固定连接，所述传感器的信号接收端与挡柱的位置相匹配，且传感器与控制器电性连接。优选的，所述开盒驱动机构包括开盒驱动电机、开盒驱动传动带、开盒驱动丝杆和开盒驱动导轨，所述开盒驱动电机与控制器电性连接，且开盒驱动电机的输出端通过开盒驱动传动带与开盒驱动丝杆传动连接，所述开盒驱动丝杆和开盒驱动导轨分别与开盒机构活动连接。优选的，所述风箱机构包括第一风箱挡板、第二风箱挡板和第三风箱挡板，所述第一风箱挡板与第二风箱挡板活动连接，且第一风箱挡板与机架固定连接，所述第二风箱挡板与第三风箱挡板活动连接，所述第三风箱挡板与升盒机构固定连接。与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：一、本专利技术通过设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆盒自动开盒送料装置，其特征在于：包括/n机架（1）；/n升盒机构（2），所述升盒机构（2）活动安装在机架（1）上；/n升盒驱动机构（3），所述升盒驱动机构（3）与升盒机构（2）传动连接，并驱动升盒机构（2）做升降运动；/n开盒机构（4），所述开和机构（）活动安装在机架（1）上；/n开盒驱动机构（5），所述开盒驱动机构（5）与开盒机构（4）传动连接，并驱动开盒机构（4）做水平运动；/n风箱机构（6），所述风箱机构（6）分别与机架（1）和升盒机构（2）固定连接，并跟随升盒机构（2）做升降运动；/n控制器（7），所述控制器（7）固定安装在机架（1）内，且控制器（7）分别与升盒机构（2）、升盒驱动机构（3）、开盒机构（4）和开盒驱动机构（5）电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒自动开盒送料装置，其特征在于：包括
机架（1）；
升盒机构（2），所述升盒机构（2）活动安装在机架（1）上；
升盒驱动机构（3），所述升盒驱动机构（3）与升盒机构（2）传动连接，并驱动升盒机构（2）做升降运动；
开盒机构（4），所述开和机构（）活动安装在机架（1）上；
开盒驱动机构（5），所述开盒驱动机构（5）与开盒机构（4）传动连接，并驱动开盒机构（4）做水平运动；
风箱机构（6），所述风箱机构（6）分别与机架（1）和升盒机构（2）固定连接，并跟随升盒机构（2）做升降运动；
控制器（7），所述控制器（7）固定安装在机架（1）内，且控制器（7）分别与升盒机构（2）、升盒驱动机构（3）、开盒机构（4）和开盒驱动机构（5）电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒自动开盒送料装置，其特征在于：所述升盒机构（2）包括升盒底板（2-1）和固定安装在升盒底板（2-1）上端面的升盒盖板（2-2），所述升盒底板（2-1）与升盒驱动机构（3）传动连接，且升盒底板（2-1）上开设有与开盒机构（4）形状相匹配的孔洞，所述升盒盖板（2-2）与升盒底板（2-1）固定连接后形成内部中空的空腔，所述空腔内设置有至少一个升盒组件，所述升盒组件与控制器（7）电性连接。


3.根据权利要求2所述的一种晶圆盒自动开盒送料装置，其特征在于：所述升盒组件包括升盒直线电机（2-3）、升盒传动杆（2-4）和升盒抓钩（2-5），所述升盒直线电机（2-3）固定安装在升盒底板（2-1）上，且升盒直线电机（2-3）与控制器（7）电性连接，所述升盒传动杆（2-4）活动安装在升盒底板（2-1）上，且升盒传动杆（2-4）的两端分别与升盒传动电机（）的输出端和升盒抓钩（2-5）固定连接，所述升盒抓钩（2-5）活动安装在升盒底板（2-1）上。


4.根据权利要求1所述的一种晶圆盒自动开盒送料装置，其特征在于：所述升盒驱动机构（3）包括升盒驱动电机（3-1）、升盒驱动传动带（3-2）、升盒驱动丝杆（3-3）、升盒驱动导轨（3-4）和至少两根立柱（3-5），所述升盒驱动电机（3-1）和升盒驱动丝杆（3-3）固定安装在其中一根立柱（3-5）之中，所述升盒驱动导轨（3-4）固定安装在另一根立柱（3-5）之中，所述升盒驱动电机（3-1）与控制器（7）电性连接，且升盒驱动电机（3-1）的输出端通过升盒驱动传动带（3-2）与升盒驱动丝杆（3-3）传动连接，所述升盒驱动丝杆（3-3）和升盒驱动导轨（3-4）分别与升盒机构（2）固定连接。

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【专利技术属性】
技术研发人员：张凯，
申请(专利权)人：韦森特东莞科技技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44