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本发明公开了一种晶圆盒自动开盒送料装置，包括机架；升盒机构，所述升盒机构活动安装在机架上；升盒驱动机构，所述升盒驱动机构与升盒机构传动连接，并驱动升盒机构做升降运动；开盒机构，所述开和机构活动安装在机架上；开盒驱动机构，所述开盒驱动机构与开...
该专利属于韦森特(东莞)科技技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过韦森特(东莞)科技技术有限公司授权不得商用。

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