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本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种传输系统。本实用新型提供的传输系统，包括存储库、工件台和传输机构，其中，存储库用于存放不同形状及尺寸的工件；工件台能够承载不同形状及尺寸的工件；传输机构包括驱动件和至少两个用于吸取不同形状及...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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