一种刚柔耦合多轴气浮平台制造技术

本发明专利技术实施例公开了一种刚柔耦合多轴气浮平台，包括：沿第一方向运动的第一运动平台，所述第一运动平台为气浮平台，包括第一气浮导轨、在所述第一气浮导轨上运动的第一工作平台和第一接触切换装置，所述第一接触切换装置用于控制所述第一工作平台与所述第一气浮导轨为接触状态或非接触状态；以及位于上述第一运动平台上方的沿第二方向运动的第二运动平台；所述第一与第二运动平台通过第一柔性铰链连接，所述第一柔性铰链的高度大于第一工作平台的厚度。该多轴气浮平台能实现大承载的长行程高精度定位。

【技术实现步骤摘要】
一种刚柔耦合多轴气浮平台
本专利技术涉及运动平台，尤其涉及一种刚柔耦合多轴气浮平台。
技术介绍
长行程纳米级多轴运动平台是光刻机等精密装备的核心部件。通常，应用于光刻机的运动平台的定位精度需求是光刻机精度的1/2～1/3。目前光刻机的精度是7nm，将来会达到3nm的物理局限，这就要求光刻机的运动平台的精度达到1nm。受摩擦影响，采用机械导轨的运动平台的精度受限，只能达到亚微米级，只能采用气浮导轨等消除摩擦的方式来实现高精度。大部分高端装备需要多轴运动平台支撑。通常，多轴平台由单轴平台叠加而成。然而，如果将刚柔耦合气浮平台直接叠加，柔性铰链之间的距离小，抗倾翻扭转能力小，造成直线度、平面度受到影响而最终损失精度。另外，宏微复合方案难于实现多轴叠加，通常都是多轴宏运动加上多轴并联微运动，通常还会产生伴生位移，需要解耦控制。本申请的专利技术人团队专利技术了紧凑型刚柔耦合多轴平台连接结构，直接在工作平台的滑块两边加工柔性铰链隔离导轨摩擦影响。然而，在气浮导轨两旁加工柔性铰链，一方面会影响气浮平台的气孔布局，另一方面，连接板通常厚度较小，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刚柔耦合多轴气浮平台，其特征在于，包括：/n沿第一方向运动的第一运动平台，所述第一运动平台为气浮平台，包括第一气浮导轨、在所述第一气浮导轨上运动的第一工作平台和第一接触切换装置，所述第一接触切换装置用于控制所述第一工作平台与所述第一气浮导轨为接触状态或非接触状态；以及位于上述第一运动平台上方的沿第二方向运动的第二运动平台；/n所述第一与第二运动平台通过第一柔性铰链连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种刚柔耦合多轴气浮平台，其特征在于，包括：
沿第一方向运动的第一运动平台，所述第一运动平台为气浮平台，包括第一气浮导轨、在所述第一气浮导轨上运动的第一工作平台和第一接触切换装置，所述第一接触切换装置用于控制所述第一工作平台与所述第一气浮导轨为接触状态或非接触状态；以及位于上述第一运动平台上方的沿第二方向运动的第二运动平台；
所述第一与第二运动平台通过第一柔性铰链连接。


2.根据权利要求1所述的刚柔耦合多轴气浮平台，其特征在于，所述第二运动平台为气浮平台。


3.根据权利要求2所示的刚柔耦合多轴气浮平台，其特征在于，所述第二运动平台为刚柔耦合气浮平台，包括：第二气浮导轨、在所述第二气浮导轨上运动的刚柔耦合平台和第二接触切换装置，所述刚柔耦合平台包括刚性框架、第二柔性铰链以及置于所述刚性框架内并通过所述第二柔性铰链连接至所述刚性框架的工作平台，所述第二接触切换装置用于控制所述刚柔耦合平台与所述第二气浮导轨为接触状态或非接触状态。


4.根据权利要求1所述的刚柔耦合多轴气浮平台，其特征在于所述第一柔性铰链的高度大于第一工作平台的厚度。


5.根据权利要求1所述的刚...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志军，苏丽云，黄瑞锐，彭皓，黄建彬，
申请(专利权)人：佛山市华道超精科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44