双光束激光3D打印装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种双光束激光3D打印装置，包括激光光路部分和三维扫描部分，所述的激光光路部分包括激光器，所述激光器产生的激光被分束镜分成多束光路，每束光路上均设有反射镜和光开关，所述的光路入射至物镜上，并经物镜聚焦至光固化前驱体内；所述的三维扫描部分包括承载工件的第一位移台和承载物镜的第二位移台，所述的第一位移台上固定有样品架，所述的光固化前驱体及由其制备的工件位于样品架的中心孔内，在对光固化前驱体激光3D打印前，需在样品架的贯穿孔中心水平面预先打印一薄层网格作为支撑层，然后以支撑层为基准分别向两侧加工工件。本发明专利技术通过双光束并行打印，提高了传统激光直写系统的打印效率，大幅缩短了加工的时间成本。

【技术实现步骤摘要】
双光束激光3D打印装置
本专利技术涉及一种3D打印装置，尤其涉及一种双光束激光3D打印装置。
技术介绍
激光直写技术通过聚焦将光束约束在光刻胶的微小区域内，仅在此微小的约束区域内引发剂能吸收光子产生自由基或阳离子等活性基团，从而诱使单体聚合。通过控制激光光束的聚焦光斑大小、光束强度、曝光时间等参数，可以实现微细结构的加工。激光直写技术具有高自由度、高精度的特点，利用激光聚焦区域与光刻胶的三维移动，可以实现微细三维结构的一体成型，避免了传统光加工过程对掩模版、套刻等工艺的依赖，在微电子、微光学器件、微机械、微流控等领域有着广泛的应用前景。现有技术通过单光束扫描微结构的三维轮廓实现复杂微细结构的三维制备。这种扫描方式系统结构简单，适用于制造尺度在毫米级以下的微细结构。但单光束扫描速度慢，加工尺度较大的目标结构时，需要巨大的时间成本，加工效率低。
技术实现思路
专利技术目的：本专利技术目的是提供一种双光束激光3D打印装置，通过双光束并行打印以提高加工效率。技术方案：本专利技术包括激光光路部分和三维扫描部分，所述的激本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双光束激光3D打印装置，其特征在于，包括激光光路部分和三维扫描部分，所述的激光光路部分包括激光器(6)，所述激光器(6)产生的激光被分束镜(8)分成多束光路(10)，每束光路(10)上均设有反射镜(9)和光开关(7)，所述的光路(10)入射至物镜(4)上，并经物镜(4)聚焦至光固化前驱体(1)内；所述的三维扫描部分包括承载工件的第一位移台和承载物镜(4)的第二位移台，所述的第一位移台上固定有样品架(2)，所述的光固化前驱体(1)及由其制备的工件位于样品架(2)内。/n

【技术特征摘要】
1.一种双光束激光3D打印装置，其特征在于，包括激光光路部分和三维扫描部分，所述的激光光路部分包括激光器(6)，所述激光器(6)产生的激光被分束镜(8)分成多束光路(10)，每束光路(10)上均设有反射镜(9)和光开关(7)，所述的光路(10)入射至物镜(4)上，并经物镜(4)聚焦至光固化前驱体(1)内；所述的三维扫描部分包括承载工件的第一位移台和承载物镜(4)的第二位移台，所述的第一位移台上固定有样品架(2)，所述的光固化前驱体(1)及由其制备的工件位于样品架(2)内。


2.根据权利要求1所述的双光束激光3D打印装置，其特征在于，所述的光开关(7)采用机械式光开关或声光调制器。


3.根据权利要求1所述的双光束激光3D打印装置，其特征在于，所述的第一位移台采用多轴位移台(3)，所述的多轴位移台(3)采用纳米精度的压电位移台或微米精度的电位移台或两者的组合。


4.根据权利要求1所述的双光束激光3D打印装置，其特征在于，所述的第二位移台为单轴位移台(5)。


5.根据权利要求1所述的双光束激光3D打印装...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾洪成，王琼，黄锴，丁海波，韩佳免，莫菲，李语翀，顾忠泽，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32