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本发明实施例公开了一种刚柔耦合多轴气浮平台，包括：沿第一方向运动的第一运动平台，所述第一运动平台为气浮平台，包括第一气浮导轨、在所述第一气浮导轨上运动的第一工作平台和第一接触切换装置，所述第一接触切换装置用于控制所述第一工作平台与所述第一气...
该专利属于佛山市华道超精科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市华道超精科技有限公司授权不得商用。

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