【技术实现步骤摘要】
平坦度测量治具和蒸镀系统
本公开涉及有机发光二极管(OLED)显示的
，具体地，涉及一种平坦度测量治具和一种蒸镀系统。
技术介绍
在OLED面板、OLED显示装置等产品的制造过程中，一般利用蒸镀工艺来在基板上蒸镀包括有机发光层在内的各种材料层。因此，用于形成这些材料层的设备的部件的表面的平坦度，对于所形成的产品的良率及所述设备的稼动率有着直接的影响。如何在极短的时间内快速准确的测量所述设备的部件的当前平坦度、以调节所述设备的部件以具有期望的平坦度是至关重要的。
技术实现思路
本公开的第一方面提供了一种平坦度测量治具，包括：底座；工作台，其包括在所述工作台的厚度方向上延伸并且穿透所述工作台的至少一个第一孔、以及在垂直于所述厚度方向的方向上延伸并且与所述至少一个第一孔一一对应的至少一个第二孔；至少一个支撑柱，所述至少一个支撑柱设置在所述底座上，并且用于支撑所述工作台；至少一个传感器，所述至少一个传感器中的每一个设置在所述至少一个第一孔之一中，并且用于测量待测对象的表面的平...
【技术保护点】
1.一种平坦度测量治具，包括：/n底座；/n工作台，其包括在所述工作台的厚度方向上延伸并且穿透所述工作台的至少一个第一孔、以及在垂直于所述厚度方向的方向上延伸并且与所述至少一个第一孔一一对应的至少一个第二孔；/n至少一个支撑柱，所述至少一个支撑柱设置在所述底座上，并且用于支撑所述工作台；/n至少一个传感器，所述至少一个传感器中的每一个设置在所述至少一个第一孔之一中，并且用于测量待测对象的表面的平坦度；以及/n至少一个显示器，所述至少一个显示器中的每一个通过信号线连接至所述至少一个传感器中的一个传感器，以显示该传感器的测量值。/n
【技术特征摘要】
1.一种平坦度测量治具，包括：
底座；
工作台，其包括在所述工作台的厚度方向上延伸并且穿透所述工作台的至少一个第一孔、以及在垂直于所述厚度方向的方向上延伸并且与所述至少一个第一孔一一对应的至少一个第二孔；
至少一个支撑柱，所述至少一个支撑柱设置在所述底座上，并且用于支撑所述工作台；
至少一个传感器，所述至少一个传感器中的每一个设置在所述至少一个第一孔之一中，并且用于测量待测对象的表面的平坦度；以及
至少一个显示器，所述至少一个显示器中的每一个通过信号线连接至所述至少一个传感器中的一个传感器，以显示该传感器的测量值。
2.根据权利要求1所述的平坦度测量治具，其中，所述至少一个传感器中的每一个用于测量所述待测对象的所述表面的最大高度和最小高度，并且所述待测对象的所述表面的所述平坦度等于所述最大高度和所述最小高度之差。
3.根据权利要求1或2所述的平坦度测量治具，还包括与所述至少一个支撑柱一一对应的至少一个第一紧固件，所述至少一个第一紧固件用于调节所述工作台相对于所述底座的高度并且将所述工作台固定在所述至少一个支撑柱上。
4.根据权利要求1或2所述的平坦度测量治具，还包括位于所述底座上的第一水平仪和位于所述工作台上的第二水平仪，所述第一水平仪和所述第二水平仪分别用于检测所述底座的水平程度和所述工作台的水平程度。
5.根据权利要求1或2所述的平坦度测量治具，还包括与所述至少一个第二孔一一对应的至少一个第二紧固件，所述至少一个第二孔中的每一个与对应的第一孔连通，并且所述至少一个第二紧固件分别设置在对应的第二孔中用于固定位于对应的第一孔中的所述传感器。
6.根据权利要求1或2所述的平坦度测量治具，其中，所述底座包括主体部和两个突出部，所述主体部实质上呈矩形，所述两个突出部彼此间隔地位于所述主体部的同一侧。
7.根据权利要求6所述的平坦度测量治具，其中，所述两个突出部之间的空隙呈U形。
8.根据权利要求7所述的平坦度测量治具，其中，在所述两个突出部从所述主体部突出的方向上，所述空隙的尺寸大于所述待测对象的尺寸。
9.根据权利要求6所述的平坦度测量治具，其中，所述至少一个支撑柱包括两个支撑柱，所述两个支撑柱分别设置于所述两个突出部的远离所述主体部的端部上，并且所述至少一...
【专利技术属性】
技术研发人员：王洪胜，魏立超，杨林，高翔，沈帅，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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