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本公开提供了平坦度测量治具和蒸镀系统。所述平坦度测量治具包括：底座；工作台，其包括在所述工作台的厚度方向上延伸并且穿透所述工作台的至少一个第一孔、以及在垂直于所述厚度方向的方向上延伸并且与所述至少一个第一孔一一对应的至少一个第二孔；至少一个...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司授权不得商用。