板状材料的加工面的确定方法、加工方法以及确定加工面的装置和平面加工装置制造方法及图纸

一种板状材料的加工面的确定方法，用于从板状材料切出厚度均匀的板，其特征在于：　将测定装置的平台面设为坐标（Ｘ，Ｙ），在该平台上设定由与坐标（Ｘ，Ｙ）垂直的Ｚ坐标构成的直角坐标（Ｘ，Ｙ，Ｚ），并在该平台上装载作为被测定物的板状材料，　假想地构成与ＸＹ平面平行的平面ＡＢＣＤ，　将从该假想平面ＡＢＣＤ的坐标（Ｘｍ，Ｙｎ）到连接作为被测定物的板状材料的上表面和下表面的线段的中点构成的板厚中心面的距离（高度）设为Ｚｍ，ｎ，在改变坐标（Ｘ，Ｙ）的同时，对Ｘ方向上的ｍ个值以及Ｙ方向上的ｎ个值在被测定板状材料的全部区域内进行测定，将该测定数据保存在计算机的存储装置中，　对于全部坐标点，找出Ｚｍ，ｎ的最大值和最小值并计算其差值，将该值作为对测定值不进行任何操作时的差值Ｈ（０．０，０．０），　接着，对于Ｚ轴方向上预先确定的最大振幅和间距，将假想平面ＡＢＣＤ的端Ａ固定、而将端Ｂ和端Ｃ分别以规定的振幅Ｂ、Ｃ上下移动，由此使假想平面ＡＢＣＤ在计算机上相对于平台倾斜，　每次改变该倾斜时，计算从假想平面ＡＢＣＤ上的全部坐标点（Ｘｍ，Ｙｎ）到板状材料对应的坐标点的板厚中心面的距离（高度）（Ｚｍ，ｎ）Ｂ，Ｃ，找出该（Ｚｍ，ｎ）Ｂ，Ｃ的最大值和最小值并计算其差值Ｈ（Ｂ，Ｃ），　并且对预先设定的所有Ｂ和Ｃ的组合反复进行上述操作，将所有Ｂ和Ｃ的组合中计算的Ｈ（Ｂ，Ｃ）具有最小值的假想平面ＡＢＣＤ确定为与最小加工余量的平面平行的平面。

Method for determining machining surface of sheet material, processing method, and apparatus for determining machined surface and planar processing device

A method of determining the processing of sheet material, used for cutting out a uniform thickness of the plate from the plate material, which is characterized in that the platform will set the coordinate measuring device (X, Y), on the platform set by the coordinate (X, Y) Z vertical coordinate coordinate of (X, Y, Z), and on the platform as the loading plate material to be measured, a hypothetical ABCD plane parallel to the XY plane, from the coordinates of the imaginary plane of ABCD (Xm, Yn) to the distance in the center of the plate surface of the connection plate is determined as the midpoint of the the surface and the lower surface of the segment of the composition (height) is set to Zm, N, changes in the coordinates (X, Y) at the same time, the X direction of the m value and Y n in the direction of a value in the plate material to be measured All in the region were measured, the measured data is stored in the storage device of the computer, for all coordinates, find the Zm n, the maximum value and the minimum value and calculate the difference of the value as a H value on the measured value does not carry out any operation when the (0, 0), then, the biggest the amplitude and spacing for the Z axis direction of a predetermined end, A ABCD, and the imaginary plane fixed end and B end C respectively with specified amplitude B, C move up and down, so that the imaginary plane ABCD relative to the platform tilt on the computer, every change in the tilt, counting from the imaginary plane ABCD all the coordinates (Xm, Yn) to the distance in the center of the plate surface of the plate material corresponding to the coordinate point (height) (Zm, n) B, C, to find out the (Zm, n) B C, the maximum value and the minimum value and calculate the difference between the H (B, C), and the combination of all B and C preset and repeated the operation, will calculate the portfolio of all B and C in H (B, C) has the minimum value of the imaginary plane ABCD to determine the plane with the minimum amount of parallel processing of more than.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及由板状材料得到平坦且厚度均匀的板所用的表面加工 的板状材料的加工面的确定方法、加工方法以及确定加工面的装置和 平面加工装置。
技术介绍
溅射靶等陶瓷制烧结板和轧制或锻造的金属板，在制造工序中因 受热或加工引起的应变而几乎都伴随有变形。而且根据情况根据位置有时产生板厚的不均匀。为了由伴随上述3维变形的板状材料得到平坦且厚度均匀的板，进行切削加工、磨削加工和电火花加工等机械加工。目前，具有上述变形的材料，由操作者将其原封不动地安装于加 工机械上进行上述加工，或由操作者事先用直尺等对各个板状材料的 变形进行大致测定，在将其安装于加工机械上的阶段放入调整垫，使 其呈现平坦性。但是，在这种情况下， 一般是通过操作者估计而进行。在依靠操作者估计、例如进行磨削加工的情况下，即使是熟练的 操作者，为了制出平面，也需要进行所需量以上的磨削。否则不能维 持平坦性和均匀厚度的精度。因此，需要将材料本身的加工余量设定 得大一些，这就成为原材料利用率降低的原因。另外，当然也导致加 工机械的运转时间的增加。作为现有技术，可列举能精密测定含有翘曲的板状工件各自具 有的厚度的装置(例如，参照专利文献l);具有翘曲的测定装置，即由测定基准部、测定部、变换为电信号的变位测定器、翘曲量显示部、 控制部所构成的基板翘曲测定装置(例如，参照专利文献2);对陶瓷材 料粉末进行加压成形、在其表面照射光线、接受反射光而测定表面状 态的陶瓷制品的制造方法(例如，参照专利文献3);设置有阶梯状部分 的尺寸测定陶瓷量规(例如，参照专利文献4);由测定平坦度的向下测 定器、板支承销、上下运动的驱动器、压力调节部所构成的板平坦度 测定装置(例如，参照专利文献5);利用红外线热像法对陶瓷基板的形 状不规则性进行测定的方法(例如，参照专利文献6)。但是，这些技术只是用于平面性测定、变位测定或形状不规则性 测定的方法或装置，没有在进行切削加工、磨削加工、电火花加工等 机械加工等的表面加工时、以提高原材料利用率为目的的想法。专利文献l:日本特开平6-66549号公报 专利文献2:日本特公昭59-36202号公报 专利文献3:日本特开昭63-173607号公报 专利文献4:日本特开平7-128002号公报 专利文献5:日本特许第3418819号公报 专利文献6:日本特许第3183935号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于得到加工余量最少、平坦且厚度 均匀的板状材料的、通过切削加工、磨削加工、电火花加工等进行表 面加工时的板状材料的加工面的确定方法以及用于该方法的装置，溅 射靶等陶瓷制烧结板、轧制或锻造的金属板在制造工序中由于受热或 加工所引起的变形往往伴随有2~3维的变形和/或板厚的不均匀，但希 望由这种具有2~3维变形和/或板厚的不均匀的板状材料得到平坦且厚 度均匀的板状材料。为了解决上述问题，本专利技术人进行了深入研究，结果得到了如下见解基于测定距板状材料的上下表面各自的标准平面的距离(高度) 而得到的数据，作为第一方法，求出厚度方向的中心点构成的面，在 一定范围内改变该板状材料与标准平面的相对位置关系(倾斜度)而测 定从标准平面到上述中心点构成的面的距离(高度)，以使得到的高度数 据的最大值和最小值之差最小的方式调整板状材料的倾斜度而进行表 面加工，由此，能得到原材料利用率高、平坦且厚度均匀的板状材料。根据该见解，本专利技术提供l)一种板状材料的加工面的确定方法， 用于从板状材料切出厚度均匀的板，其特征在于将测定装置的平台 面设为坐标(X，Y)，在该平台上设定由与坐标(X，Y)垂直的Z坐标构成的 直角坐标(X，Y,Z)，并在该平台上装载作为被测定物的板状材料，假想地构成与XY平面平行的平面ABCD，将从该假想平面ABCD的坐标 (Xm，Yn)到连接作为被测定物的板状材料的上表面和下表面的线段的 中点构成的板厚中心面的距离(高度)设为Zm，n，在改变坐标(X,Y)的同 时，对X方向上的m个值以及Y方向上的n个值在被测定板状材料的 全部区域内进行测定，将该测定数据保存在计算机的存储装置中，对 于全部坐标点，找出Zm,n的最大值和最小值并计算其差值，将该值作 为对测定值不进行任何操作时的差值H(O.O,O.O)，接着，对于Z轴方向 上预先确定的最大振幅和间距，将假想平面ABCD的端A固定、而将 端B和端C分别以规定的振幅B、 C上下移动，由此使假想平面ABCD 在计算机上相对于平台倾斜，每次改变该倾斜时，计算从假想平面 ABCD上的全部坐标点(Xm，Yn)到板状材料对应的坐标点的板厚中心 面的距离(高度)(Zm,n)B，C，找出该(Zm,n)B，C的最大值和最小值并计算 其差值H(B,C)，并且对预先设定的所有B和C的组合反复进行上述操 作，将所有B和C的组合中计算的H(B,C)具有最小值的假想平面ABCD 确定为与最小加工余量的平面平行的平面。以上是本专利技术的中心专利技术 之一。另外，本专利技术提供第二个方法2) —种板状材料的加工面的确定 方法，用于从板状材料切出厚度均匀的板，其特征在于将测定装置的平台面设为坐标(X，Y)，在该平台上设定由与坐标(X,Y)垂直的Z坐标 构成的直角坐标(X，Y，Z)，并在该平台上装载作为被测定物的板状材料， 假想地构成与XY平面平行的平面ABCD，将从该假想平面ABCD的 坐标(Xm，Yn)到连接作为被测定物的板状材料的上表面和下表面的距 离(高度)分别设为Slm,n、 S2m，n，在改变坐标(X，Y)的同时，对X方向 上的m个值以及Y方向上的n个值在被测定板状材料的全部区域内进 行测定，将该测定数据保存在计算机的存储装置中，对于全部坐标点， 找出Slm，n及S2m，n的最大值和最小值并计算其差值，将该值作为对 测定值不进行任何操作时的差值分别设为H1(0.0,0.0)、 H2(0.0，0.0)，接 着，对于Z轴方向上预先确定的最大振幅和间距，将假想平面ABCD 的端A固定、而将端B和端C分别以规定的振幅B、 C上下移动，由 此使假想平面ABCD在计算机上相对于平台倾斜，每次改变该倾斜度 时，计算从假想平面ABCD上的全部坐标点(Xm，Yii)到板状材料对应的 坐标点的板状材料的上表面和下表面各自的距离(高度)(Slm,n)B,C、 (S2m,n)B,C，找出该(Slm,n)B,C及(S2m，n)B，C各自的最大值和最小值 并计算其差值H1(B，C)和H2(B，C)，并且对预先设定的所有B和C的组 合反复进行上述操作，将所有B和C的组合中计算的H1(B,C)和H2(B，Q 合计具有最小值的假想平面ABCD确定为与最小加工余量的平面平行 的平面。以上是本专利技术的中心专利技术之一。另外，本专利技术提供3)如上述l)或2)所述的板状材料的加工面的 确定方法，其特征在于测定平行于位于板状材料的上表面之上的Z-h 处的平台的假想平面ABCD与板状材料的上表面的距离(高度)Slm，n和 平行于位于板状材料的下表面之下的Z=l处的平台的假想平面ABCD' 与板状材料的下表面的距离(高度)S2m，n ，得到由 Tm，n=h-1-Slm,n-S2m,n计算的板状材料的厚度Tm,n。这表示在上述1) 或2)的专利技术中用于得到板状材料的厚度Tm，n本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种板状材料的加工面的确定方法，用于从板状材料切出厚度均匀的板，其特征在于：　将测定装置的平台面设为坐标（Ｘ，Ｙ），在该平台上设定由与坐标（Ｘ，Ｙ）垂直的Ｚ坐标构成的直角坐标（Ｘ，Ｙ，Ｚ），并在该平台上装载作为被测定物的板状材料，　假想地构成与ＸＹ平面平行的平面ＡＢＣＤ，　将从该假想平面ＡＢＣＤ的坐标（Ｘｍ，Ｙｎ）到连接作为被测定物的板状材料的上表面和下表面的线段的中点构成的板厚中心面的距离（高度）设为Ｚｍ，ｎ，在改变坐标（Ｘ，Ｙ）的同时，对Ｘ方向上的ｍ个值以及Ｙ方向上的ｎ个值在被测定板状材料的全部区域内进行测定，将该测定数据保存在计算机的存储装置中，　对于全部坐标点，找出Ｚｍ，ｎ的最大值和最小值并计算其差值，将该值作为对测定值不进行任何操作时的差值Ｈ（０．０，０．０），　接着，对于Ｚ轴方向上预先确定的最大振幅和间距，将假想平面ＡＢＣＤ的端Ａ固定、而将端Ｂ和端Ｃ分别以规定的振幅Ｂ、Ｃ上下移动，由此使假想平面ＡＢＣＤ在计算机上相对于平台倾斜，　每次改变该倾斜时，计算从假想平面ＡＢＣＤ上的全部坐标点（Ｘｍ，Ｙｎ）到板状材料对应的坐标点的板厚中心面的距离（高度）（Ｚｍ，ｎ）Ｂ，Ｃ，找出该（Ｚｍ，ｎ）Ｂ，Ｃ的最大值和最小值并计算其差值Ｈ（Ｂ，Ｃ），　并且对预先设定的所有Ｂ和Ｃ的组合反复进行上述操作，将所有Ｂ和Ｃ的组合中计算的Ｈ（Ｂ，Ｃ）具有最小值的假想平面ＡＢＣＤ确定为与最小加工余量的平面平行的平面。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛光一，小町伸好，
申请(专利权)人：日矿金属株式会社，
类型：发明
国别省市：JP