电容器制造技术

本发明专利技术的实施方式涉及电容器。提供一种能够实现较大的电容量且不易产生翘曲的电容器。实施方式的电容器具备：导电基板(CS)，具有第一主面与第二主面，所述第一主面包含多个副区域(A1a、A1b)，在所述多个副区域(A1a、A1b)的各个设置分别具有沿一个方向延伸的形状且在宽度方向上排列的多个凹部(TR1a、TR1b)或凸部(WM1a、WM1b)，所述多个副区域的一个以上(A1a)与所述多个副区域的其他一个以上(A1b)的所述多个凹部或凸部的长度方向不同；导电层，覆盖所述多个凹部的侧壁及底面或者所述多个凸部的侧壁及上表面；以及电介质层，夹设于所述导电基板与所述导电层之间。

【技术实现步骤摘要】
电容器本申请以日本专利申请2019－171151(申请日：9/20/2019)为基础，从该申请享受优先的利益。本申请通过参照该申请而包含该申请的全部内容。
本专利技术的实施方式涉及电容器。
技术介绍
伴随着通信设备的小型化以及高功能化，对搭载在它们上的电容器要求小型化以及薄型化。作为在维持容量密度的同时实现小型化以及薄型化的结构，有在基板形成沟槽而使表面积增大的沟槽电容器。
技术实现思路
本专利技术要解决的课题在于，提供一种能够实现较大的电容量且不易产生翘曲的电容器。根据一方面，提供一种电容器，具备：导电基板，具有第一主面与第二主面，所述第一主面包含多个第一副区域，在所述多个第一副区域的各个设有分别具有沿一个方向延伸的形状且在宽度方向排列的多个第一凹部或第一凸部，所述多个第一副区域的一个以上与所述多个第一副区域的其他一个以上的所述多个第一凹部或第一凸部的长度方向不同；导电层，覆盖所述多个第一凹部的侧壁及底面或所述多个第一凸部的侧壁及上表面；以及电介质层，夹设于所述导电基板与所述导电层之间。根据上述构成，能够提供一种可以实现较大的电容量且不易产生翘曲的电容器。附图说明图1是第一实施方式的电容器的俯视图。图2是沿着图1所示的电容器的II－II线的剖面图。图3是图1以及图2所示的电容器所包含的导电基板的俯视图。图4是表示图1以及图2所示的电容器的制造中的一工序的剖面图。图5是表示图1以及图2所示的电容器的制造中的其他工序的剖面图。图6是表示通过图4以及图5的工序而得的结构的剖面图。图7是第一变形例的电容器所包含的导电基板的立体图。图8是第二变形例的电容器所包含的导电基板的立体图。图9是第三变形例的电容器所包含的导电基板的立体图。图10是表示副区域的排列与沟槽的排列的关系的一例的俯视图。图11是表示副区域的排列与沟槽的排列的关系的其他例的俯视图。图12是第二实施方式的电容器的剖面图。图13是图12所示的电容器所包含的导电基板的俯视图。具体实施方式以下，参照附图对实施方式进行详细说明。另外，在所有附图中对发挥相同或类似的功能的构成要素标注相同的附图标记并省略的重复说明。＜第一实施方式＞在图1以及图2中，示出第一实施方式的电容器。如图2所示，图1以及图2所示的电容器1包含导电基板CS、导电层20b、以及电介质层30。另外，在各图中，X方向是与导电基板CS的主面平行的方向，Y方向是与导电基板CS的主面平行且与X方向垂直的方向。另外，Z方向是导电基板CS的厚度方向、即与X方向以及Y方向垂直的方向。导电基板CS是至少与导电层20b相对的表面具有导电性的基板。导电基板CS发挥作为电容器的下部电极的作用。导电基板CS具有第一主面S1、第二主面S2、以及从第一主面S1的边缘延伸到第二主面S2的边缘的端面。这里，导电基板CS具有扁平的大致立方体形状。导电基板CS也可以具有其他形状。第一主面S1、这里为导电基板CS的上表面包含多个第一副区域。第一副区域的各个在它们的排列方向上的尺寸优选在5至1000μm的范围内，更优选在10至100μm的范围内。或者，第一副区域的各个在它们的排列方向上的尺寸与该排列方向上的导电基板CS的尺寸之比优选在1/500至1/2的范围内，更优选在1/200至1/20的范围内。在第一副区域的各个中设有分别具有沿一个方向延伸的形状且在宽度方向上排列多个第一凹部。第一副区域的一个以上的第一凹部的长度方向与第一副区域的其他一个以上的第一凹部的长度方向不同。这里，第一主面S1包含图2以及图3所示的多个第一副区域A1a及A1b。第一副区域A1a及A1b以方格图案(checkeredpattern)状排列。即，第一副区域A1a及A1b在X方向上交替地排列。另外，如图3所示，各第一副区域A1a与第一副区域A1b的一个在Y方向上相邻。具体而言，第一副区域A1a及A1b在第一主面S1的中央部形成有2行3列的排列。而且，在第一副区域A1a中分别设有多个第一凹部TR1a。在各第一副区域A1a中，第一凹部TR1a分别具有沿Y方向延伸的形状，并在X方向上排列。即，在各第一副区域A1a中，作为多个第一凹部TR1a，设有分别具有沿Y方向延伸的形状且在X方向上排列的多个沟槽。另外，在第一副区域A1b分别设有多个第一凹部TR1b。在各第一副区域A1b中，第一凹部TR1b分别具有沿X方向延伸的形状，并在Y方向上排列。即，在各第一副区域A1b中，作为多个第一凹部TR1b，设有分别具有沿X方向延伸的形状且在Y方向上排列的多个沟槽。这里，第一凹部TR1a及TR1b的长度方向正交，但它们的长度方向也可以倾斜地交叉。另外，这里，第一副区域包含第一凹部的长度方向不同的两种第一副区域A1a及A1b，但第一副区域也可以还包含与第一副区域A1a及A1b不同的1种以上的第一副区域。而且，这里，第一主面S1所含的第一副区域的数量为六个，但第一副区域的数量为两个以上即可。第一凹部TR1a彼此分离。另外，第一凹部TR1b彼此分离。而且，第一凹部TR1b分别与第一凹部TR1a分离。在导电基板CS中，由相邻的第一凹部TR1a的一方与另一方夹着的部分为第一凸部WM1a。第一凸部WM1a分别具有沿Y方向延伸的形状，并在X方向上排列。即，在各第一副区域A1a中，作为第一凸部WM1a，设有分别具有沿Y方向以及Z方向延伸的形状且在X方向上排列的多个壁部。另外，在导电基板CS中，由相邻的第一凹部TR1b的一方与另一方夹着的部分为第一凸部WM1b。第一凸部WM1b分别具有沿X方向延伸的形状，并在Y方向上排列。即，在各第一副区域A1b中，作为第一凸部WM1b，设有分别具有沿X方向以及Z方向延伸的形状且在Y方向上排列的多个壁部。而且，在导电基板CS中，在第一副区域A1a与第一副区域A1b的边界的位置被第一凹部TR1a与第一凹部TR1b夹着的部分为第一辅助壁部WS1。第一辅助壁部WS1使相邻的第一凸部WM1a一体化，并且使相邻的第一凸部WM1b一体化，发挥抑制它们的倒塌的作用。第一凹部TR1a及TR1b也可以配置为不产生第一辅助壁部WS1。另外，第一凹部或第一凸部的“长度方向”是第一凹部或第一凸部向与导电基板的厚度方向垂直的平面的正投影的长度方向。同样，后述的第二凹部或第二凸部的“长度方向”是第二凹部或第二凸部向与导电基板的厚度方向垂直的平面的正投影的长度方向。关于第一凹部的开口部的长度，根据一例，在10至500μm的范围内，根据其他例，在50至100μm的范围内。第一凹部的开口部的宽度、即在宽度方向上相邻的第一凸部间的距离优选为0.3μm以上。若减小该宽度或距离，则能够实现更大的电容量。但是，若减小该宽度或距离，则难以在第一凹部内形成包含电介质层30与导电层20b的层叠结构。关于第一凹部的深度或第一凸部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电容器，具备：/n导电基板，具有第一主面与第二主面，所述第一主面包括多个第一副区域，在所述多个第一副区域的各个设置分别具有沿一个方向延伸的形状且在宽度方向上排列的多个第一凹部或第一凸部，所述多个第一副区域的一个以上之中的所述多个第一凹部或第一凸部的长度方向，与所述多个第一副区域的其他一个以上之中的所述多个第一凹部或第一凸部的长度方向不同；/n导电层，覆盖所述多个第一凹部的侧壁及底面或者所述多个第一凸部的侧壁及上表面；以及/n电介质层，夹设于所述导电基板与所述导电层之间。/n

【技术特征摘要】
20190920 JP 2019-1711511.一种电容器，具备：
导电基板，具有第一主面与第二主面，所述第一主面包括多个第一副区域，在所述多个第一副区域的各个设置分别具有沿一个方向延伸的形状且在宽度方向上排列的多个第一凹部或第一凸部，所述多个第一副区域的一个以上之中的所述多个第一凹部或第一凸部的长度方向，与所述多个第一副区域的其他一个以上之中的所述多个第一凹部或第一凸部的长度方向不同；
导电层，覆盖所述多个第一凹部的侧壁及底面或者所述多个第一凸部的侧壁及上表面；以及
电介质层，夹设于所述导电基板与所述导电层之间。


2.如权利要求1所述的电容器，
所述多个第一副区域的所述一个以上与所述多个第一副区域的所述其他一个以上呈棋盘格状排列。


3.如权利要求1所述的电容器，
在所述多个第一副区域的一个以上之中，作为所述多个第一凹部而设有多个沟槽。


4.如权利要求1所述的电容器，
在所述多个第一副区域的一个以上之中，作为所述多个第一凸部而设有多个壁部。


5.如权利要求1所述的电容器，
在所述多个第一副区域的一个以上之中，作为所述多个第一凹部而设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐野光雄，小幡进，樋口和人，下川一生，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：日本;JP