微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜；防尘膜包括固定在支撑载体上的固定部和设置在固定部中心位置的过滤网；过滤网包括至少两个分区区域，分区区域包括沿对应分区区域的预设圆周方向分布的圆周梁和/或沿对应分区区域的预设半径方向分布的半径梁；其中，圆周梁和/或半径梁用于调整对应分区区域的弯曲刚性，并配置分区区域的凹凸形状。利用上述发明专利技术能够通过圆周梁和/或半径梁对防尘膜的弯曲刚性进行调节，使得防尘膜形成任意凹凸形状，提高抗皱能力。

【技术实现步骤摘要】
微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风
本专利技术涉及电子产品
，更为具体地，涉及一种微型麦克风防尘装置及设置有该微型麦克风防尘装置的MEMS麦克风。
技术介绍
现有的MEMS麦克风通常设置有防尘结构，防尘结构主要包括支撑件和防尘膜，通过防尘结构阻止外界粉尘、颗粒等污染物进入麦克风内部，进而确保麦克风产品的声学性能。但是，由于防尘膜的厚度极薄，而其平面尺寸相对厚度的比值又较大，在加工或使用过程中，受到如热应力等外力作用时极易产生变形而出现不规则的褶皱；此外，在防尘膜加工工艺过程中，热应力是不容易避免的，使得传统的防尘薄膜在封装时容易产生褶皱等外观不良现象，影响产品的性能及用户使用体验。目前，为缓解从支撑载体受到的压缩力，通常会在防尘膜上设置应力缓解结构，但是由于膜的弯曲刚性在半径方向或圆周方向上是均匀的，所以会随机的发生高次的屈曲模式，即防尘膜褶皱的纹路是随机且复杂的形状；因此现有的应力缓解结构已经无法完全防止防尘膜发生屈曲，导致抑制防尘膜褶皱、屈曲的效果差。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的是提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，以解决目前防尘膜容易受到外力作用而出现不规则褶皱，导致其防尘性能差等问题。本专利技术提供的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在支撑载体上的防尘膜；防尘膜包括固定在支撑载体上的固定部和设置在固定部中心位置的过滤网；过滤网包括至少两个分区区域，分区区域包括沿对应分区区域的预设圆周方向分布的圆周梁和/或沿对应分区区域的预设半径方向分布的半径梁；其中，圆周梁和/或半径梁用于调整对应分区区域的弯曲刚性，并配置分区区域的凹凸形状。此外，优选的技术方案是，预设圆周方向和预设半径方向的预设过程包括：定义防尘膜上的任意点为分区区域的半径中心；以半径中心与分区区域内的任意点的连线方向的平行方向为分区区域的预设半径方向；以半径中心为圆心，以沿预设半径方向分布的任意长度的半径梁为半径的圆周方向为分区区域的预设圆周方向。此外，优选的技术方案是，半径梁的角度范围为0～360°。此外，优选的技术方案是，圆周梁和半径梁的混合比例根据分区区域在防尘膜上的位置进行调整。此外，优选的技术方案是，位于同一分区区域上的圆周梁呈Z字型分布和/或位于同一分区区域上的半径梁呈Z字型分布。此外，优选的技术方案是，在各分区区域的边缘或者相邻两分区区域的结合处设置有支撑边界；支撑边界的弯曲刚性大于分区区域的弯曲刚性。此外，优选的技术方案是，过滤网包括位于防尘膜中心位置且呈圆形的第一分区区域、分布在第一分区区域四周且呈扇形的第二分区区和第三分区区域；第二分区区域和第三分区区域相互间隔设置。此外，优选的技术方案是，固定部的支撑边界为圆形、弧形或者直线。根据本专利技术的另一方面，提供一种MEMS麦克风，包括上述微型麦克风防尘装置；其中，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的声孔处；或者，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的芯片处。利用上述专利技术的微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，将过滤网划分为多个分区区域，分区区域包括沿预设圆周方向分布的圆周梁和/或沿预设半径方向分布的半径梁，通过圆周梁和半径梁的组合能够使得防尘膜在不同分区区域实现相对强弱的弯曲刚性，进而调高防尘膜抵抗外界应力的能力。为了实现上述以及相关目的，本专利技术的一个或多个方面包括后面将详细说明的特征。下面的说明以及附图详细说明了本专利技术的某些示例性方面。然而，这些方面指示的仅仅是可使用本专利技术的原理的各种方式中的一些方式。此外，本专利技术旨在包括所有这些方面以及它们的等同物。附图说明通过参考以下结合附图的说明，并且随着对本专利技术的更全面理解，本专利技术的其它目的及结果将更加明白及易于理解。在附图中：图1为根据本专利技术实施例一的微型麦克风防尘装置的俯视图；图2为根据本专利技术实施例一的第一分区区域的局部示意图；图3为根据本专利技术实施例一在第一分区区域内设置半径梁的示意图；图4为根据本专利技术实施例一的第二分区区域的半径梁和圆周梁组合图一；图5为根据本专利技术实施例一的第二分区区域的半径梁和圆周梁组合图二；图6为根据本专利技术实施例二的微型麦克风能防尘装置的俯视图；图7为根据本专利技术实施例二的微型麦克风防尘装置在不同位置的截面图。其中的附图标记包括：支撑载体1、过滤网2、第一分区区域3、半径梁31、第二分区区域4、圆周梁41、半径梁42、圆周梁43、半径梁44、第一分区区域5、第二分区区域6、第三分区区域7、第二分区区域8。在所有附图中相同的标号指示相似或相应的特征或功能。具体实施方式在下面的描述中，出于说明的目的，为了提供对一个或多个实施例的全面理解，阐述了许多具体细节。然而，很明显，也可以在没有这些具体细节的情况下实现这些实施例。在其它例子中，为了便于描述一个或多个实施例，公知的结构和设备以方框图的形式示出。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。为详细描述本专利技术的微型麦克风防尘装置的结构，以下将结合附图对本专利技术的具体实施例进行详细描述。图1示出了根据本专利技术实施例一的微型麦克风防尘装置的俯视结构。如图1所示，本专利技术实施例一的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体1和设置在支撑载体1上的防尘膜；防尘膜包括固定在支撑载体1上的固定部和设置在固定部中心位置的过滤网2，过滤网2可以为规则形状或者不规则形状，过滤网2包括至少两个分区区域，在该实施例一种包括9个不同形状的分区区域，各分区区域进一步包括沿对应分区区域的预设圆周方向分布的圆周梁和/或沿对应分区区域的预设半径方向分布的半径梁；其中，圆周梁和/或半径梁用于调整对应分区区域的弯曲刚性，并配置分区区域的凹凸形状。其中，预设圆周方向和预设半径方向的预设过程包括：定义防尘膜上的任意点为分区区域的半径中心；以半径中心与分区区域内的任意点的连线方向的平行方向为分区区域的预设半径方向；以半径中心为圆心，以沿预设半径方向分布的任意长度的半径梁为半径的圆周方向为分区区域的预设圆周方向，半径梁沿预设半径方向分布，圆周梁沿预设半轴方向分布。具体地，图2和图3分别示出了根据本专利技术实施例一的第一分区区域的局部结构以及设置有半径梁的示意结构。如图1至图3共同所示，在该实施例一中，设置在支撑载体上的过滤网包括不规则分布的9个分区，其中包括第一分区区域3和第二分区区域4，第一分区区域3，此处可理解为第nK个分区区域，在其预设半径方向和预设圆周方向设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在所述支撑载体上的防尘膜；其特征在在于，/n所述防尘膜包括固定在所述支撑载体上的固定部和设置在所述固定部中心位置的过滤网；/n所述过滤网包括至少两个分区区域，所述分区区域包括沿对应分区区域的预设圆周方向分布的圆周梁和/或沿所述对应分区区域的预设半径方向分布的半径梁；其中，/n所述圆周梁和/或所述半径梁用于调整对应分区区域的弯曲刚性，并配置所述分区区域的凹凸形状。/n

【技术特征摘要】
1.一种微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在所述支撑载体上的防尘膜；其特征在在于，
所述防尘膜包括固定在所述支撑载体上的固定部和设置在所述固定部中心位置的过滤网；
所述过滤网包括至少两个分区区域，所述分区区域包括沿对应分区区域的预设圆周方向分布的圆周梁和/或沿所述对应分区区域的预设半径方向分布的半径梁；其中，
所述圆周梁和/或所述半径梁用于调整对应分区区域的弯曲刚性，并配置所述分区区域的凹凸形状。


2.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，所述预设圆周方向和所述预设半径方向的预设过程包括：
定义所述防尘膜上的任意点为所述分区区域的半径中心；
以所述半径中心与所述分区区域内的任意点的连线方向的平行方向为所述分区区域的预设半径方向；
以所述半径中心为圆心，以沿所述预设半径方向分布的任意长度的半径梁为半径的圆周方向为所述分区区域的预设圆周方向。


3.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述半径梁的角度范围为0～360°。


4.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述圆周梁和所述半径梁的混合比例根据所...

【专利技术属性】
技术研发人员：畠山庸平，林育菁，
申请(专利权)人：潍坊歌尔微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37