微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的防尘膜；在防尘膜远离支撑载体的一侧覆盖有至少一层第一保护膜；第一保护膜的材质与防尘膜的材质不同。利用上述发明专利技术能够通过第一保护膜对防尘膜进行保护，防止其在加工过程中受干式或者湿式化学刻蚀，进而改善产品的质量，提高合格率。

【技术实现步骤摘要】
微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风
本专利技术涉及电子产品
，更为具体地，涉及一种微型麦克风防尘装置及设置有该微型麦克风防尘装置的MEMS麦克风。
技术介绍
为防止微型麦克风内部的芯片受到外界粉末、颗粒物、水分的影响，从而降低微型麦克风的使用寿命，通常情况下，都需要在微型麦克风内部与外界的连通处(如声孔)设计防尘装置，通过防尘装置将微型麦克风芯片与外界环境分隔开，起到保护微型麦克风芯片的作用。然而，传统的麦克风防尘装置通常包括网部和载体部，在其制作过程中，需要进行含氟气体的等离子体处理，当网部本身为单质金属或合金等单层膜时，在等离子体处理过程中，网部容易受到等离子体的攻击，产生网部表面变色的问题，导致产品的外观检查不合格，合格率低。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的是提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，以解决现有的防尘装置的网部容易在加工工艺中，受外界干式或者湿式化学刻蚀，造成网部表面被刻蚀，影响成品质量及合格率等问题。本专利技术提供的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的防尘膜；在防尘膜远离支撑载体的一侧覆盖有至少一层第一保护膜；第一保护膜的材质与防尘膜的材质不同。此外，优选的技术方案是，在防尘膜靠近支撑载体的一侧覆盖有至少一层第二保护膜；第二保护膜的材质与防尘膜的材质不同。此外，优选的技术方案是，第一保护膜包括Cr、Al、Pt、Au、Pd、Co、Ni、Cu、Fe、Ti、Ta、W中的至少一种金属材料；第二保护膜包括Cr、Al、Pt、Au、Pd、Co、Ni、Cu、Fe、Ti、Ta、W中的至少一种金属材料。此外，优选的技术方案是，第一保护膜和第二保护膜的材质相同。此外，优选的技术方案是，第一保护膜和第二保护膜分别为单金属膜或者合金模。此外，优选的技术方案是，防尘膜为单金属膜或者合金膜。此外，优选的技术方案是，支撑载体包括支撑部以及设置在支撑部中心的通孔；防尘膜通过第二保护膜固定在支撑部上。此外，优选的技术方案是，防尘膜为网格结构；并且，第一保护膜和第二保护膜与防尘膜的结构相同。根据本专利技术的另一方面，提供一种MEMS麦克风，包括上述微型麦克风防尘装置；其中，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的声孔处；或者，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的芯片处。利用上述微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，在防尘膜远离支撑载体的一侧覆盖至少一层的第一保护膜，并且使得第一保护膜的材质与防尘膜的材质不同，在防尘膜制作工程中，可通过第一保护膜对防护膜进行保护，防止干式或者湿式化学刻蚀对防尘膜表面造成损坏，进而确保防尘膜的完整性，提高产品的合格率。为了实现上述以及相关目的，本专利技术的一个或多个方面包括后面将详细说明的特征。下面的说明以及附图详细说明了本专利技术的某些示例性方面。然而，这些方面指示的仅仅是可使用本专利技术的原理的各种方式中的一些方式。此外，本专利技术旨在包括所有这些方面以及它们的等同物。附图说明通过参考以下结合附图的说明，并且随着对本专利技术的更全面理解，本专利技术的其它目的及结果将更加明白及易于理解。在附图中：图1为根据本专利技术实施例的微型麦克风防尘装置的立体图；图2为根据本专利技术实施例的微型麦克风防尘装置的剖面图。其中的附图标记包括：支撑载体11、防尘膜12、过滤网13、第一保护膜14、第二保护膜15。在所有附图中相同的标号指示相似或相应的特征或功能。具体实施方式在下面的描述中，出于说明的目的，为了提供对一个或多个实施例的全面理解，阐述了许多具体细节。然而，很明显，也可以在没有这些具体细节的情况下实现这些实施例。在其它例子中，为了便于描述一个或多个实施例，公知的结构和设备以方框图的形式示出。为详细描述本专利技术的微型麦克风防尘装置，以下将结合附图对本专利技术的具体实施例进行详细描述。图1和图2分别从不同角度示出了根据本专利技术实施例的微型麦克风防尘装置的示意结构。如图1和图2共同所示，本专利技术实施例的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体11和设置在支撑载体11一侧的防尘膜12；在防尘膜12远离支撑载体11的一侧覆盖有至少一层第一保护膜14，将第一保护膜14的材质设置为与防尘膜12的材质不同，进而通过第一保护膜14对防尘膜12进行隔离保护，防止微型麦克风防尘装置在制造过程中被干式或者湿式化学袭击，进而确保防尘膜12的表面颜色稳定及结构完整。为进一步地对防护膜进行保护，还可在防尘膜12靠近支撑载体11的另一侧也覆盖有至少一层第二保护膜15，第二保护膜15的材质与防尘膜12的材料也设置为不相同，进而通过采用对干式或者湿式化学刻蚀的袭击具有耐刻蚀性且不引起变色的异质金属材料作为保护膜(包括第一保护膜14和第二保护膜15，下同)层叠设置在防尘膜12上，达到保护防尘膜12的效果。其中，第一保护膜14和第二保护膜15的设置层数可根据产品的生产要求进行调整，通常情况可以设置一层，当处理过程中受到氟等离子体的袭击比较严重时，也可根据具体生产情况，设置多层保护膜；同理，保护膜可设置在防尘膜的一侧或者两侧。具体地，在防尘装置制造过程中，如果受到的干式或者湿式化学刻蚀是除氟外的其他离子的袭击，也可根据具体的等离子体调整保护膜的材料，使得保护膜能够对等离子的攻击具有抵制作用，达到保护防尘膜12的目的即可。在本专利技术的一个具体实施方式中，第一保护膜14的材质可以包括Cr、Al、Pt、Au、Pd、Co、Ni、Cu、Fe、Ti、Ta、W中的至少一种金属材料，第一保护膜14可以为单金属材质，也可采用上述多个金属材料的混合材质；对应地，第二保护膜15的材质可以包括Cr、Al、Pt、Au、Pd、Co、Ni、Cu、Fe、Ti、Ta、W中的至少一种金属材料，第二保护膜15可以为单金属材质，也可采用上述多个金属材料的混合材质。换言之，第一保护膜14和第二保护膜15可分别设置为单金属膜或者合金模。另外，在具体应用过程中，第一保护膜14和第二保护膜15的材质可以相同，即第一保护膜14和第二保护膜15所选用的材料相同，也可以设置为不同材质。在本专利技术的另一具体实施方式中，支撑载体11进一步包括支撑部以及设置在支撑部中心的通孔，防尘膜12包括与支撑部固定连接的固定部，以及设置在固定部内部且与通孔对应的过滤网13；第一保护膜14和第二保护膜15分别设置在防尘膜12的两侧，即防尘膜12的固定部通过第二保护膜15固定在支撑部上。为确保保护膜仅起到保护作用，而不影响防尘膜12的防尘及通气效果，第一保护膜14和第二保护膜15的结构与防尘膜12的结构相同，例如，可将保护膜对应过滤网13的位置设置为对应的网格结构，第一保护膜14和第二保护膜15可以采用贴设、喷涂、溅射等多种工艺设置在防尘膜上，本申请不对具体所采用的工艺手段做限制。与上述微型麦克风防尘装置相对应，本专利技术还提供一种MEMS麦克风，该MEMS麦克风包括上述微型麦克风防尘装置；其中，微型麦克风本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在所述支撑载体一侧的防尘膜；其特征在于，/n在所述防尘膜远离所述支撑载体的一侧覆盖有至少一层第一保护膜；/n所述第一保护膜的材质与所述防尘膜的材质不同。/n

【技术特征摘要】
1.一种微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在所述支撑载体一侧的防尘膜；其特征在于，
在所述防尘膜远离所述支撑载体的一侧覆盖有至少一层第一保护膜；
所述第一保护膜的材质与所述防尘膜的材质不同。


2.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
在所述防尘膜靠近所述支撑载体的一侧覆盖有至少一层第二保护膜；
所述第二保护膜的材质与所述防尘膜的材质不同。


3.如权利要求2所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述第一保护膜包括Cr、Al、Pt、Au、Pd、Co、Ni、Cu、Fe、Ti、Ta、W中的至少一种金属材料；
所述第二保护膜包括Cr、Al、Pt、Au、Pd、Co、Ni、Cu、Fe、Ti、Ta、W中的至少一种金属材料。


4.如权利要求2所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述第一保护膜和所述第二保护膜的材质相同。

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【专利技术属性】
技术研发人员：林育菁，佐野豊，池上尚克，
申请(专利权)人：潍坊歌尔微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37