晶棒固定治具制造技术

本发明专利技术提供一种晶棒固定治具，能够将晶棒良好地固定于固定板组件上。晶棒固定治具包括基台、可转动底座、偏角调整组件以及顶定位组件。可转动底座可旋转地设置于基台上。固定板组件定位于可转动底座上。偏角调整组件可伸缩地设置于基台。偏角调整组件适于推拉可转动底座，以使可转动底座相对于基台转动。顶定位组件可移动地设置于可转动底座上方，以靠近或远离可转动底座。晶棒放置在位于可转动底座上的固定板组件上。晶棒的延伸方向与固定板组件的长边延伸方向夹有角度。晶棒位于可转动底座与顶定位组件之间并受顶定位组件向下推抵而紧密接触固定板组件。本发明专利技术的晶棒固定治具能够将晶棒良好地固定于固定板组件上。将晶棒良好地固定于固定板组件上。将晶棒良好地固定于固定板组件上。

【技术实现步骤摘要】
晶棒固定治具


[0001]本专利技术涉及一种固定治具，尤其涉及一种晶棒固定治具。

技术介绍

[0002]一般而言，在对晶棒进行切割程序，以将晶棒切割成晶片之前，通常会将晶棒固定在固定板组件(例如是以黏着的方式固定)上，后续再将晶棒与固定板组件一起移至对应的设备进行切割程序。在切割程序中，固定板组件会带着晶棒往切割芯片的线锯移动，而切割出多片晶片。目前，要如何利用简单的治具来将晶棒固定在固定板组件上一段时间，以使晶棒与固定板组件之间的黏胶固化，是欲探讨的问题。
[0003]此外，晶棒常会沿特定角度(晶向角)固定在固定板组件上，要如何使晶棒能够以所需的角度固定在固定板组件上也是欲探讨的方向。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种晶棒固定治具，其能够将晶棒良好地固定于固定板组件上。
[0005]本专利技术的晶棒固定治具，适于将晶棒固定于固定板组件上。晶棒固定治具包括基台、可转动底座、偏角调整组件以及顶定位组件。可转动底座配置于基台上，且可旋转地设置于基台。固定板组件适于定位于可转动底座上。偏角调整组件可伸缩地设置于基台上，且位于可转动底座旁。偏角调整组件适于推拉可转动底座，以使可转动底座相对于基台转动。顶定位组件可移动地设置于可转动底座的上方，以靠近或远离可转动底座。晶棒适于放置在位于可转动底座上的固定板组件上。晶棒的延伸方向与固定板组件的长边延伸方向夹有角度。晶棒位于可转动底座与顶定位组件之间，并受顶定位组件向下推抵而紧密接触固定板组件。
[0006]在本专利技术的一实施例中，上述的晶棒固定治具还包括侧定位组件，立起于基台，其中侧定位组件适于接触晶棒。
[0007]在本专利技术的一实施例中，上述的侧定位组件还包括侧墙、柱体、定位挡板以及间隔件。侧墙垂直地设置于基台。柱体沿着侧墙的法线方向设置于侧墙。定位挡板可移动地套设于柱体而适于靠近或远离侧墙。间隔件设置柱体上且位于侧墙与定位挡板之间。定位挡板适于接触晶棒。
[0008]在本专利技术的一实施例中，上述的柱体上设有转钮或可调式螺帽，定位挡板通过转钮或可调式螺帽转动而相对于侧墙移动。
[0009]在本专利技术的一实施例中，上述的偏角调整组件包括旋钮及连动于旋钮的杆端关节轴承。可转动底座包括凸柱。杆端关节轴承套设于凸柱，以驱动可转动底座旋转。
[0010]在本专利技术的一实施例中，上述的可转动底座还包括底座本体以及固定于底座本体的量角凸板。底座本体可旋转地设置于基台。凸柱设置于量角凸板。杆端关节轴承适于推拉量角凸板，以驱动底座本体旋转。
[0011]在本专利技术的一实施例中，上述的可转动底座还包括底座本体以及连接于底座本体
的量角凸板。基台面对于可转动底座的上表面具有第一色块区与第二色块区。第一色块区与第二色块区位于量角凸板下方。第一色块区的颜色不同于第二色块区的颜色。当可转动底座沿顺时针方向旋转时，量角凸板暴露第一色块区而遮蔽第二色块区。当可转动底座沿逆时针方向旋转时，量角凸板暴露第二色块区而遮蔽第一色块区。
[0012]在本专利技术的一实施例中，上述的晶棒固定治具还包括定位压钳，设置于基台且位于可转动底座旁。其中定位压钳适于瞬时地固定可转动底座相对于基台的位置。
[0013]在本专利技术的一实施例中，上述的晶棒固定治具还包括设置于基台的偏角测量组件。其中偏角测量组件包括沿轴线伸缩的伸缩件。伸缩件抵靠于可转动底座。
[0014]在本专利技术的一实施例中，上述的晶棒固定治具还包括透明罩体，且透明罩体罩设偏角测量组件。
[0015]在本专利技术的一实施例中，上述的可转动底座还包括底座本体以及连接于底座本体的量角凸板，晶棒固定治具还包括固定于基台且位于偏角测量组件下方的替换量角凸板，其中替换量角凸板支撑偏角测量组件且适于替换量角凸板。
[0016]在本专利技术的一实施例中，上述的基台与可转动底座的其中一者具有基准孔，另一者包括凸轴。可转动底座通过凸轴可旋转地设置于基准孔的搭配，以相对于基台转动。
[0017]在本专利技术的一实施例中，上述的固定板组件包括硬板以及固定于硬板上的第一垫片。硬板适于定位于可转动底座。第一垫片适于位于晶棒与硬板之间。基台面对于固定板组件的上表面具有辅助标记，且辅助标记对应于第一垫片的尺寸。
[0018]在本专利技术的一实施例中，上述的顶定位组件包括压板、多个定位柱以及第二垫片。这些定位柱垂直地设置于基台，压板通过这些定位柱可移动地设置于基台的上方。第二垫片固定于压板且适于位于晶棒与压板之间。
[0019]在本专利技术的一实施例中，上述的晶棒固定治具还包括降摩擦层，配置于可转动底座与基台面对彼此的两表面的其中一面上。
[0020]基于上述，在本专利技术的晶棒固定治具中，顶定位组件可移动地设置于可转动底座上方，且晶棒位于可转底座与顶定位组件之间。顶定位组件能够向下推抵晶棒，以使晶棒更紧密地接触而固定(例如是黏着)于固定板组件，晶棒与固定板组件之间的黏胶可在顶定位组件向下推抵晶棒的这段时间中固化。基于此设计，本专利技术的晶棒固定治具能够简便且快速地将晶棒固定于固定板组件。另外，本专利技术的顶定位组件为可移动地设置于可转动底座上方，如此，本专利技术的晶棒固定治具能够适用于不同大小的晶棒，具以极佳的通用性。另一方面，偏角调整组件能够推拉可转动底座，而使可转动底座能够相对于基台转动至特定角度。由于固定板组件能够定位于可转动底座，而可随着可转动底座旋转至特定角度。晶棒可被黏着于可转动底座上的固定板组件上。如此，晶棒的延伸方向与固定板组件的长边的延伸方向便会夹有此特定角度。换句话说，不同偏角度与尺寸的晶棒均可应用本专利技术的晶棒固定治具来固定至固定板组件。
[0021]为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。
附图说明
[0022]图1是依照本专利技术的一实施例的晶棒固定治具的透视示意图；
[0023]图2是图1的晶棒固定治具的可转动底座的示意图；
[0024]图3是图1的晶棒固定治具的基座的示意图；
[0025]图4A是图1的晶棒固定治具于另一视角的示意图；
[0026]图4B是图1的晶棒固定治具的俯视示意图；
[0027]图5是图1的晶棒固定治具的间隔件的示意图；
[0028]图6是依照本专利技术的另一实施例的晶棒固定治具的透视示意图；
[0029]图7是图6的晶棒固定治具的间隔件的示意图；
[0030]图8是图1的晶棒固定治具的偏角调整组件的示意图；
[0031]图9是图1的晶棒固定治具的偏角测量组件的示意图；
[0032]图10A至图10B是图1的量角凸板的移动方式的示意图；
[0033]图11A至图11B是图1的晶棒固定治具的定位压钳的移动方式的示意图。
[0034]附图标记说明
[0035]10、10a：晶棒；
[0036]50：固定板组件；
[0037]52：硬板；
[0038]54：第一垫片；
[0039]100本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒固定治具，适于将晶棒固定于固定板组件上，其特征在于，所述晶棒固定治具包括：基台；可转动底座，配置于所述基台上且可旋转地设置于所述基台，其中所述固定板组件适于定位于所述可转动底座上；偏角调整组件，可伸缩地设置于所述基台上且位于所述可转动底座旁，而适于推拉所述可转动底座，以使所述可转动底座相对于所述基台转动；以及顶定位组件，可移动地设置于所述可转动底座的上方，以靠近或远离所述可转动底座，其中所述晶棒适于放置在位于所述可转动底座上的所述固定板组件上，所述晶棒的延伸方向与所述固定板组件的长边延伸方向夹有角度，且所述晶棒位于所述可转动底座与所述顶定位组件之间并受所述顶定位组件向下推抵而紧密接触所述固定板组件。2.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，还包括侧定位组件，立起于所述基台，其中所述侧定位组件适于接触所述晶棒。3.根据权利要求2所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述侧定位组件包括侧墙、柱体、定位挡板以及间隔件，所述侧墙垂直地设置于所述基台，所述柱体沿着所述侧墙的法线方向设置于所述侧墙，所述定位挡板可移动地套设于所述柱体而适于靠近或远离所述侧墙，所述间隔件设置所述柱体上且位于所述侧墙与所述定位挡板之间，所述定位挡板适于接触所述晶棒。4.根据权利要求3所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述柱体上设有转钮或可调式螺帽，所述定位挡板通过所述转钮或所述可调式螺帽转动而相对于所述侧墙移动。5.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述偏角调整组件包括旋钮及连动于所述旋钮的杆端关节轴承，所述可转动底座包括凸柱，所述杆端关节轴承套设于所述凸柱，以驱动所述可转动底座旋转。6.根据权利要求5所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述可转动底座还包括底座本体以及固定于所述底座本体的量角凸板，所述底座本体可旋转地设置于所述基台，所述凸柱设置于所述量角凸板，所述杆端关节轴承适于推拉所述量角凸板，以驱动所述底座本体旋转。7.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述可转动底座还包括底座本体以及连接于所述底座本体的量角凸板，所述基台面对于所述可转动底座的上表面具有第一色块区与第二色块区，所述第一色块区与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱酉致，徐国振，黄成帆，何清崇，吴翰宗，
申请(专利权)人：环球晶圆股份有限公司，
类型：发明
国别省市：