【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种信号处理机制，尤其涉及一种信号处理的方法及异音检测系统。
技术介绍
1、目前应用于半导体清洗制程中采用超声波(ultrasonic/megasonic)清洗制程。然，为了避免晶圆在清洗过程中的异常状态影响后续制程出现异常，一般是利用音压计在超声波清洗机中进行检测。音压计的测量属于脱机系统且无预警效果，故无法实时监控。此外，音压计的测量必须通过人工进行，故传统的检测方式亦相当耗时。
技术实现思路
1、本专利技术是针对一种信号处理的方法及异音检测系统，可实时监控并预警待测装置的异常。
2、根据本专利技术的实施例，信号处理的方法适用于处理器来执行，所述方法包括：训练神经网络模型，其中神经网络模型包括输入层、第一隐藏层、第二隐藏层以及输出层，第一隐藏层、第二隐藏层以及输出层分别具有个别的激励函数；自收音装置接收语音信号；将语音信号输入至训练完成的神经网络模型，以输出机率值；以及基于机率值来输出对应的通知信号。训练神经网络模型包括：(a)自训练数据库中随机选取多个样本信...
【技术保护点】
1.一种信号处理的方法，适用于处理器来执行，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的信号处理的方法，其中步骤(a)包括：
3.根据权利要求1所述的信号处理的方法，其中训练所述神经网络模型，还包括：
4.根据权利要求1所述的信号处理的方法，还包括：
5.根据权利要求4所述的信号处理的方法，其中所述设定范围介于94±1db。
6.根据权利要求1所述的信号处理的方法，其中将所述语音信号输入至训练完成的所述神经网络模型包括：
7.根据权利要求1所述的信号处理的方法，其中基于所述机率值来输出对应...
【技术特征摘要】
1.一种信号处理的方法，适用于处理器来执行，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的信号处理的方法，其中步骤(a)包括：
3.根据权利要求1所述的信号处理的方法，其中训练所述神经网络模型，还包括：
4.根据权利要求1所述的信号处理的方法，还包括：
5.根据权利要求4所述的信号处理的方法，其中所述设定范围介于94±1db。
6.根据权利要求1所述的信号处理的方法，其中将所述语音信号输入至训练完成的所述神经网络模型包括：
7.根据权利要求1所述的信号处理的方法，其中基于所述机率值来输出对应的所述通知信号包括：
8.根据权利要求1所述的信号处理的方法，还包括：
9.根据权利要求1所述的信号处理的方法，其中
10.根据权利要求1所述的信号处理的方法，其中所述收音装置设置在待测装置下方，所述收音装置与所述待测装置之间的距离位于1～20厘米之间，
11.一种异音检测系统，包括：
12.根据权利要求11...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈籥东，陈佑祥，张淳喻，白明宪，邓宇伦，
申请(专利权)人：环球晶圆股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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