加热管道及半导体制造设备制造技术

本发明专利技术涉及一种加热管道以及半导体制造设备，加热管道包括：内管以及包覆所述内管外壁的加热结构；所述加热结构用于通电后加热所述内管，所述加热结构为碳纤维编织丝。本发明专利技术在有效的对内管进行加热的同时，提升维护效率，节省生产成本。节省生产成本。节省生产成本。

【技术实现步骤摘要】
加热管道及半导体制造设备


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别涉及一种加热管道及半导体制造设备。

技术介绍

[0002]在半导体制造工艺中，半导体薄膜沉积工艺是关键的生产技术。在半导体薄膜沉积工艺中，需要使用管道将气态前驱体导入反应腔，在导入过程中需要保持管道内部较高温度。在管道外部加装加热装置成为半导体薄膜沉积工艺中的常用手段。
[0003]在管道外部加装的加热装置，通常为多个加热块衔接而成。首先，在进行管道维护时，会使用酸液对管道进行清洗，这就需要将加热装置去除，将管道浸入酸液中，清洗完毕后，还有将加热装置装上，这一维护过程占用了大量的维护时间；其次，为了提升管道的加热效果，还会在加热装置外部包覆保温棉，而加热过程中，保温棉由于加热块温度的影响，会融化粘附在加热块上，这就需要时常更换新保温棉并去除加热块上粘附的保温棉，这一维护过程十分繁琐，造成了大量的人力和物力的浪费。
[0004]为此，亟需一种加热管道，在有效的对管道内气态前驱体进行加热的同时，提升维护效率，节省生产成本。

技术实现思路

[0005]本专利技术解决的技术问题为如何在保证有效的对加热管道进行加热的同时，提升维护效率。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种加热管道，包括：内管以及包覆所述内管外壁的加热结构；所述加热结构用于通电后加热所述内管，所述加热结构为碳纤维编织丝。
[0007]在其中一个实施例中，所述碳纤维编织丝的直径为20mm-40mm。
[0008]在其中一个实施例中，所述碳纤维编织丝的排布方式为交错式全编织排布。
[0009]在其中一个实施例中，所述碳纤维编制丝在所述内管外壁呈网格状分布，且每一网格的面积为1mm
2-25mm2。
[0010]在其中一个实施例中，所述碳纤维编织丝的排布方式为绕所述内管外壁螺旋式均匀缠绕。
[0011]在其中一个实施例中，在沿内管延伸方向上，相邻所述碳纤维编织丝的间隔为1mm-5mm。
[0012]在其中一个实施例中，所述内管的材料包括玻璃钢、不锈钢、聚四氟乙烯或者二氧化硅。
[0013]在其中一个实施例中，所述加热管道还包括：绝缘管，所述绝缘管包覆所述内管外壁，所述绝缘管位于所述内管与所述加热结构之间。
[0014]在其中一个实施例中，所述绝缘管的材料包括石英、石棉、云母、玻璃、陶瓷或者聚四氟乙烯。
[0015]在其中一个实施例中，所述加热管道还包括：功能管，所述功能管包覆所述加热结
构，所述加热结构位于所述内管与所述功能管之间；所述功能管包括保温管、热反射管或者外管中的至少一种。
[0016]在其中一个实施例中，所述外管的材料包括玻璃钢、不锈钢、聚四氟乙烯或者二氧化硅；优选的，所述外管的材料与所述内管的材料相同。
[0017]本专利技术还提供一种半导体制造设备，包括上述加热管道。
[0018]与现有技术相比，本专利技术提供的技术方案具有以下优点：
[0019]本专利技术实施例提供的加热管道，包括：内管以及包覆所述内管外壁的加热结构；所述加热结构用于通电后加热所述内管，所述加热结构为碳纤维编织丝。如此，利用了碳纤维编织丝的耐腐蚀性，采用碳纤维编织丝包覆内管，在通电后用于加热内管，避免了维护加热管道时酸液腐蚀加热结构，提高了维护效率，节省了生产成本。
[0020]另外，碳纤维编织丝使用交错式全编织的排布方式时，碳纤维编制丝在内管外壁呈网格状分布，且每一网格的面积为1mm
2-25mm2。如此，保证了碳纤维编织丝具有合适的排布密度。在加热时，网格空隙对内管加热的均匀性影响小，避免内管出现温度冷点，使得内管的受热均匀性好，从而避免了管道内气态前驱体因温度降低发生变性，进而保证了半导体生产良率。
[0021]另外，碳纤维编织丝使用绕内管外壁螺旋式均匀缠绕的排布方式时，在沿内管延伸方向上，相邻碳纤维编织丝的间隔为1mm-5mm。如此，保证了碳纤维编织丝具有合适的排布密度。在加热时，相邻碳纤维编织丝之间的空隙较小因而对内管加热的均匀性影响小，避免内管出现温度冷点，使得内管的受热均匀性好，从而避免了管道内气态前驱体因温度降低发生变性，进而保证了半导体生产良率。
[0022]另外，内管的材料包括玻璃钢、不锈钢、聚四氟乙烯或者二氧化硅。上述材料均为耐腐蚀性较好的材料，如此，使用耐腐蚀性较好的材料作为内管的材料，使得在对内管通酸液进行清洗维护时，避免了酸液腐蚀内管，增加了内管使用寿命。
[0023]另外，绝缘管的材料包括石英、石棉、云母、玻璃、陶瓷或者聚四氟乙烯。上述材料均为绝缘性较好的材料，如此，使用绝缘性较好的材料作为绝缘管的材料，使得在加热结构对内管进行加热时，避免加热结构与内管直接接触而导致电流流向内管，而且，若内管由于电流流入导致自身产生热量，会对内管的加热温度产生影响而影响内管中气体的性质，进而影响半导体生产良率，同时影响内管的使用寿命。
[0024]另外，功能管包覆加热结构，加热结构位于内管与功能管之间，功能管为外管，外管的材料包括玻璃钢、不锈钢、聚四氟乙烯或者二氧化硅。在加热结构外包覆外管，使得内管、加热结构和外管构成一体密封管，内管与外管的材料均具有防腐蚀的作用，如此，密封一体管不但保证较好的加热效果，避免内管中气体发生变性，而且在维护时拆卸方便，内外管均使用防腐蚀材料，可以直接将加热管道放入酸液中清洗，提高维护效率，节省维护成本。
附图说明
[0025]一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
[0026]图1为本专利技术的第一实施例提供的加热管道的半剖结构示意图；
[0027]图2为本专利技术的第二实施例提供的加热管道的半剖结构示意图；
[0028]图3为本专利技术的第三实施例提供的半导体制造设备的半剖结构示意图。
具体实施方式
[0029]由
技术介绍
可知，现有亟需提供一种加热管道，有效的对管道加热的同时，提升维护效率。
[0030]可以理解，本专利技术所使用的术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述各种元件，但这些元件不受这些术语的限制。这些术语仅用于将第一个元件与另一个元件区分。举例来说，在不脱离本专利技术的范围的情况下，可以将第一数量称为第二数量，且类似地，可将第二数量称为第一数量。第一数量和第二数量两者都是数量，但其不是同一数量。
[0031]为解决上述问题，本专利技术提供一种加热管道，利用碳纤维编织丝作为加热结构包覆内管外壁，通电后用于加热内管。由于碳纤维编织丝的耐腐蚀性，避免了维护加热管道时酸液腐蚀加热结构，简化了加热管道的结构，提高了维护效率，节省了生产成本。
[0032]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术的各实施例进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本专利技术各实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热管道，其特征在于，包括：内管以及包覆所述内管外壁的加热结构；所述加热结构用于通电后加热所述内管，所述加热结构为碳纤维编织丝。2.根据权利要求1任一项所述的加热管道，其特征在于，所述碳纤维编织丝的直径为20mm-40mm。3.根据权利要求1或2所述的加热管道，其特征在于，所述碳纤维编织丝的排布方式为交错式全编织排布。4.根据权利要求3所述的加热管道，其特征在于，所述碳纤维编织丝在所述内管外壁呈网格状分布，且每一网格的面积为1mm
2-25mm2。5.根据权利要求1或2所述的加热管道，其特征在于，所述碳纤维编织丝的排布方式为绕所述内管外壁螺旋式均匀缠绕。6.根据权利要求5所述的加热管道，其特征在于，在沿内管延伸方向上，相邻所述碳纤维编织丝的间隔为1mm-5mm。7.根据权利要求1所述的加热管道，其特征在于，所述内管的材料包括玻璃钢、不锈钢、聚四氟乙烯或者二氧化硅。8.根据权利要求1所述的加热管道，其特征在于，还包括：绝缘管，所述绝缘管包覆所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王怀庆，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：