一种烘烤设备降温装置，其本体包括一循环室以及一烘烤设备内炉，其中：该循环室是设置于烘烤设备内炉内部，该循环室与烘烤设备内炉之间设有一风扇，且该循环室内两侧分别设有栅盘，该栅盘上穿设有若干通风孔，该若干个通风孔是与烘烤设备内炉连通，该循环室内其中一侧的通风孔是与风扇连接，该循环室与烘烤设备内炉间具有空隙而设为风道，而该风道内设有一冷却器。本实用新型专利技术仅需切换冷却器或加热器，即可达到降温或是烘烤效果。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种烘烤设备，尤其涉及一种于本体内装设液冷式 冷却器，以达到降温效果且不影响本体的密闭状态的烘烤设备降温装置。
技术介绍
在一般半导体或液晶显示器的相关制程中，对于一基板(substrate)、晶圆(wafer)、或显示面板(panel)的制备，烘烤(bake) 或预烘烤(pre-bake)的过程是不可或缺的，通常是利用红外线等方式， 在进行涂布(coating)前后以及显影(developingc)后，施以烘烤(bake) 的程序。现有的烘烤设备，依使用者需求而有不同类型，其中以低氧化烘烤 设备来说， 一般设有一烤炉室，该烤炉室外侧是包覆设有一循环室，该 烤炉室与循环室之间设有风扇以及若干孔洞，且烤炉室外设有加热器，借由风扇吹出加热器所加温的热风，达到半导体制程所需要的水分干燥、 溶剂挥发、热硬化处理、应力(回火)处理等程序，由于在烘烤过程中， 往往并不需要较高含量的氧气，以避免烘烤物过度氧化，因此烤炉室与 循环室对于外界是属密闭状态，并输入氮气进行烘烤流程；在进行低氧化烘烤流程中，除了升温速率要加快、平均加温、以及 换气速率要高之外，就是要具备有快速降温以及低含氧量；现有烘烤设 备仅仅直接关闭加热器，借由持续不断送风，由烤炉室朝循环室进行循 环流动，慢慢带走烘烤物的热能，以达到降温功效；然而，此种方式降 温效率极差，由于进行低氧化烘烤，烤箱需与外界隔离，因此烤炉室内 不断循环的气体是以相当慢的速度进行热交换，使得下一次烘烤流程必 须耗费漫长时间等待前一次流程降温，如此整体生产流程皆必须因此停 顿，十分不敷使用；因此有业者为了加快散热速度而额外加装排风设备， 虽可达到加快降温的功效，但由￥排风设备将热气排放出去同时与外界 产生连通，使得烤炉室内的气体外泄，无法继续维持密闭状态，因此破坏整体的密闭效果，反而使得含氧量上升，无法维持低氧化环境，无法 达到所需求的低氧化烘烤。针对上述现有结构所存在的问题，如何开发一种更具理想实用性的 创新结构，实为使用消费者所群切企盼，亦是相关业者须努力研发突破 的目标及方向。
技术实现思路
本技术所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上 述缺陷，而提供一种烘烤设备降温装置，仅需切换冷却器或加热器，即 可达到降温或是烘烤效果。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是为达成前述的创作目的，本技术其本体包括一循环室以及一烘 烤设备内炉，其中该循环室是设置于烘烤设备内炉内部，该循环室与 烘烤设备内炉之间设有一风扇，且该循环室内两侧分别设有栅盘，该栅 盘上是穿设有若干通风孔，该若干个通风孔是与烘烤设备内炉连通，该 循环室内其中一侧的通风孔是与风扇连接，该循环室与烘烤设备内炉间 具有空隙而设为风道，而该风道内设有一冷却器以及一加热器，该加热 器启动时该冷却器是关闭，而冷却器启动时该加热器是关闭；而该冷却 器为液冷式的冷却器，该冷却器是连接设有冷却水输出端、冷却水输出 端设有一阀门以连接冷却器，利用该冷却水输出端连接注入液体的设备， 并利用冷却水输出端排出液体，再借由阀门控制流量；当热气经过风扇 加速吹出形成热风，热风是由邻近风扇的通风孔进入循环室，并由循环 室另 一侧的通风孔进入风道回到风扇，完成流动的循环.。前述的烘烤设备降温装置，其中风道内设有一加热器，该加热器启 动时该冷却器是关闭，而冷却器启动时该加热器是关闭，借由该加热器 加温气体，并可避免冷却器与加热器同时启动。前述的烘烤设备降温装置，其中冷却器为液冷式的冷却器，该冷却 器是连接设有冷却水输出端、冷却水输出端，设有一阀门以连接冷却器， 利用该冷却水输出端连接注入液体的设备，并利用冷却水输出端排出液 体，再借由阀门控制流量。 '前述的烘烤设备降温装置，其中本体设有水温表、安全装置、水流量显示装置、流量开关/警报装置，以提供使用者检视用。前述的烘烤设备降温装置，其中循环室设有若干个承置架，借该承 置架供放置待烘烤物。由于进行低氧化烘烤流程时，往往配合烘烤内容注入气体如氮气， 以减少本体内氧气含量，但是现有烘烤设备是利用关闭加热器自然冷却 或使用排风装置降低温度，但往往无法兼顾降温速度以及含氧量，利用 自然冷却方式降温速度慢则含氧量低，造成生产速度延缓，而利用排风 装置降温速度高则使含氧量提高，破坏烤炉内密封环境，无法达到所需 求的低氧化烘烤；本技术是于本体内设置冷却器，当加热器启动时，冷却器为关闭状态，反之冷却器启动时加温器为关闭状态，以避免同时启动的能源浪费；由于本技术的冷却器是装设于本体内，且采用液 冷式降温，因此该本体是与外界呈密闭状态，不因冷却降温过程而影响 密闭效果，如此可保持原有的含氧量，仅需调整风扇以及冷却器液体流 速即可达到所需的快速降温效果，以便于快速降温，增加整体流程的生 产速度；又，该冷却降温流程是借由加温烘烤流程相同的循环路线，仅 需切换冷却器或加热器，即可达到降温或是烘烤效果。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。 附图说明图1是本技术烘烤设备降温装置顶面的透视示意图。 图2是本技术烘烤设备降温装置侧面风流动方向的透视示意图。 图3是本技术烘烤设备降温装置顶面的本体背面的外观示意图。 图4是本技术烘烤设备降温装置顶面的外观立体示意图。 图中标号说明1本体 2循环室 2 1栅盘2 2通风孔 2 3承置架 3烘烤设备内炉3 1风道 3 2冷却器3 2 1厂务输入端 3 2 2冷却水输入端 3 2 3冷却水输出端3 2 4阀门 3 2 5流量开关/警报装置' 3 3加热器 3 4风扇4水温表 5安全装置6水流量显示装置 7炉门具体实施方式本技术是有关于一种烘烤设备降温装置，请参阅图1与图2所 示，其本体1为一种循环式烘烤设备，主要包括一循环室2以及一烘烤 设备内炉3，其中该循环室2设置于烘烤设备内炉3内部，该循环室2内两侧分别设 有栅盘2 1 ，该栅盘2 1上穿设有若干通风孔2 2 ，该若干个通风孔2 2是与烘烤设备内炉3连通，而该循环室2内其中一侧的通风孔2 2是 与一风扇3 4连接，该风扇3 4是设置于烘烤设备内炉3与循环室2之 间；该栅盘2 l上是于通风孔2 2间设有若干承置架2 3，该承置架2 3是供放置待烘烤物，该循环室2与烘烤设备内炉3间具有空隙而设为 风道3 1，以供风向流通循环用；该风道3 1内设有冷却器3 2及加热器3 3 ，该冷却器3 2与加热 器3 3无法同时启动，即该加热器3 3启动时该冷却器3 2是关闭，而 冷却器3 2启动时该加热器3 3是关闭；该冷却器3 2为液冷式的冷却 器3 2，该冷却器3 2是于本体1由外朝内插入设置，该冷却器3 2与 本体1的接缝处是利用耐高温硅利康胶黏合，以保持本体1的密闭效果， 且该冷却器3 2是于本体1背面朝外接设有冷却水输入端3 2 2 、冷却 水输出端3 2 3设有输入端3 2 1 ，利用输入端3 2 1接设厂房设备注 入液体进入冷却器3 2的冷却水输出端3 2 2，并利用冷却水输出端3 2 3排出液体带走热量，该输入端3 2 l是接设有一阀门3 2 4，以调 整控制液量；由于进行低氧化烘烤流程时，往往配合烘烤内容注入气体如氮气， 以减少本体l内氧气含量；本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种烘烤设备降温装置，其特征在于，其本体包括一循环室以及一烘烤设备内炉，其中： 该循环室是设置于烘烤设备内炉内部，该循环室与烘烤设备内炉之间设有一风扇，且该循环室内两侧分别设有栅盘，该栅盘上穿设有若干通风孔，该若干个通风孔是与烘烤设备内炉连通，该循环室内其中一侧的通风孔是与风扇连接，该循环室与烘烤设备内炉间具有空隙而设为风道，而该风道内设有一冷却器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吕邦超，廖美凤，
申请(专利权)人：志圣工业股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]
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