【技术实现步骤摘要】
本技术是一种干涉光刻的多光束形成系统，属于对微细图形干涉光刻系统的进一步改进。一般的干涉光刻系统中的多束激光形成系统由激光器、扩束准直、空间滤波、反射装置等组成。通过组成系统的分光镜、全反射镜使激光形成多束且以一定的交角叠加产生干涉，并通过感光材料基片转动装置对基片进行多次曝光，在基片上生成周期性孔阵或线阵图形。这种干涉光刻系统的不足之处在于其结构较复杂，光束强度比调节较难，特别是调节光程更难，影响产生的干涉图形对比度、均匀性和质量。本技术的目的在于克服现有技术的不足而提出一种结构简单的高分辨、大视场、长焦深干涉光刻系统。本技术的目的可以通过以下技术措施实现干涉光刻多光束形成系统包括激光器、扩束器、空间滤波器和准直器，激光器发出的激光经扩束器、空间滤波器和准直器形成平行光，该平行光经过光阑进入梯形棱镜后折射出可在感光材料基片上产生不同周期结构的干涉光刻图形的多束激光。本技术的目的也可通过以下技术措施实现光阑为可区域性选择开启的光阑。本技术的目的还可通过以下技术措施实现梯形棱镜也可由平晶和四个直角棱镜组合而成。本技术与现有技术相比有以下优点由于该系统直接用梯形...
【技术保护点】
一种干涉光刻多光束形成系统，包括激光器（１）、扩束器（２）、空间滤波器（３）和准直器（４），激光器（１）发出的激光经扩束器（２）、空间滤波器（３）和准直器（４）形成平行光，其特征在于：该平行光经光阑（５）进入梯形棱镜（６）后折射出可在感光材料基片（７）上产生不同周期性结构的干涉光刻图形的多束激光。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：冯伯儒，张锦，蒋世磊，宗德蓉，苏平，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：实用新型
国别省市：90[中国|成都]
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