通过布线图曝光双面印刷电路板的装置制造方法及图纸

通过配备有位置记号的布线图曝光双面印刷电路板的装置，包括固定在水平面内的第一（１０）和第二支持结构、布线图（１２）的支持件、探测电路与支持件定位误差的光学装置、垂直于其平面将一个支持件移向另一个的装置、排列在支持件与电路组成单元之外的用来使电路相对于支持结构而保持固定在其平面内的装置（２６、２８）、以及根据探测到的定位误差而使上述第一支持件（１２）相对于上述电路以及上述第二支持件相对于上述电路独立地移动的装置（２０、２２）。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及到通过布线图曝光双面印刷电路板的装置。众所周知，印刷电路板必须的操作牵涉到曝光步骤，特别是对于条形导线的光刻确定而言更是为此。相应的装置被用来使覆盖有薄膜或光敏抗蚀剂的印刷电路通过布线图而暴露于紫外线一定时间，以便使布线图所确定的抗蚀剂或光敏膜的相应部位曝光。当然，这种操作中基本的一点是要获得布线图相对于待曝光的印刷电路的精确定位。绝大多数的这类机器只能使印刷电路板的一侧暴露于紫外光。但当印刷电路板是越来越变得普遍的双面类型时，由于这种机器需要在曝光机中使电路板通过二次从而需要使其支持件上的布线图相对于印刷电路进行二次定位操作，故使用这种机器是很不适宜的。为了克服这一缺点，已提出了一些可以通过布线图对印刷电路的二面同时曝光的曝光机。在美国专利5,337,151和欧洲专利申请EP618505中具体描述了这类机器。上述美国专利中描述的机器基于下述原理，即用机械对中来定位布线图的下方支持件和上方支持件，且利用一对彼此连接的销使布线图相对于由布线图上下支持件所构成的单元移动。特别是由于上方布线图未准确地相对于下方布线图定位以及印刷电路因为用来移动印刷电路的销有偏离的危险而不能用二个连接的销如所要求的那样精确地移动，故这种机器带有各种各样的缺点。而且，这种机器不能做到分别使上方布线图相对于印刷电路上侧定位且下方布线图相对于印刷电路下侧定位。但这种可能性在某些情况下是有用的。关于上述的欧洲专利，上述专利相当于一种有效的机器，利用二个可使印刷电路正确定位的独立的销，使印刷电路相对于下方和上方布线图而移动。在此专利所述的机器中也存在上方布线图相对于下方布线图的实际定位。但此机器不能分别使上方布线图相对于印刷电路上侧定位且下方布线图相对于印刷电路下侧定位。而且，由于用来定位印刷电路的销的偏离，此机器也有定位误差的危险。为了克服这些缺点，本专利技术的目的是提供一种双面印刷电路的曝光装置，它可消除上述缺点，特别是当需要时可获得布线图上方支持件与布线图下方支持件相对于印刷电路的分别定位。为了达到此目的，通过配备有位置记号的第一和第二布线图的双面印刷电路板曝光装置包括在水平平面内的第一和第二固定支持结构，分别与第一和第二支持结构协同动作的第一和第二布线图的第一和第二支持件，在布线图的第一和第二支持件之间安排上述电路的装置，上述电路配备有位置记号，用来探测上述电路与上述第一和第二支持件之间的定位误差的光学装置，用来使上述支持件中的一个垂直于其平面移向另一支持件的装置，光源，用来将上述光源发射的光束同时引向各布线图支持件的光学装置；排列在上述支持件与上述电路所构成的单元之外的用来使上述电路相对于上述支持结构固定地保持在其平面内的装置；以及用来根据探测到的定位误差使上述第一支持件相对于上述电路且上述第二支持件相对于上述电路而独立地移动的装置。显然，由于曝光装置的特别安排，印刷电路相对于机器的支持结构被保持固定，从而避免了这些销被固定时由用来移动印刷电路的位移装置的偏离造成的任何不准确定位的危险，而且装置使第一支持件相对于印刷电路以及第二支持件相对于印刷电路能够独立移动，从而获得上下布线图相对于印刷电路的独立定位。根据第一实施例，用来保持印刷电路固定的装置包括第一、第二和第三装置，它们构成与下方支持结构的水平面连成一体的对中销且自由地穿过上述下方支持件，并具有一个适于插入提供在上述电路中的相应位置小孔的顶端，上述三个小孔不对准。显然，根据本专利技术的这种实行方法，固定的与下方支持结构连成一体的对中销能使印刷电路相对于机器的支持结构从而相对于上下布线图非常精确且稳定地定位。根据第二实施例，用来使印刷电路保持固定的装置包括第一和第二夹紧单元，各夹紧单元包括一个固定于第一支持结构且自由地穿过第一支持件的第一夹紧元件和一个与第二支持结构连成一体且自由地穿过第二支持件的第二夹紧元件，上述夹紧元件沿垂直方向彼此面对面；以及用来使第一和第二夹紧元件彼此相向地相对移动以夹紧印刷电路的装置。显然，在本实施例中，印刷电路被夹在二个分别与上下支持结构连成一体的夹紧元件之间。从而获得印刷电路相对于曝光装置支持结构的非常准确而稳定的定位。由印刷电路的这一特定位置就有可能用位移装置使上方布线图支持件和下方布线图支持件分别定位。阅读以非限定性举例方法给出的本专利技术几个实施例的下列描述，可看到本专利技术的其它特征和优点。本描述参照附图，其中附图说明图1a是曝光装置的下部示意平面图，示出了此下部的主要元件；图1b是此装置的简化剖面图；图2是装置的局部图，示出了用来固定印刷电路的夹紧器件；图3是装置的详图，示出了用销来固定印刷电路的装置；图4详图示出了图3固定销的端部；图5是用来使布线图支持件相对于支持结构而固定的固定装置的立面图；图6详图示出了用来相对于支持结构而支持布线图支持件的支持装置；以及图7详图示出了用来使下方布线图支持件或上方布线图支持件相对于固定的支持结构而移动的马达的实施例。在此类装置中，众所周知，在第一步骤中，利用可伸缩的定位销来获得印刷电路相对于布线图支持件的预定位。一旦达到印刷电路相对于上下布线图支持件的预定位，就用光学装置测量此三部件的定位误差。根据这些定位误差测量结果，位移马达被控制来进行最终定位，其定位误差须小于10μm。本专利技术牵涉到装置的部分，它可从对应于预定位的误差测量获得最终定位。在欧洲专利申请618505中详细描述了定位误差的光学探测。此装置的这一部分已在本专利申请中用作参考且须认为是本申请的一个组成部分。用来探测预定位误差的光学系统的各种实施例及用途只在某些实行方法中加以指定。首先参照图1a和1b来描述装置的不同部分，更准确地说是用来支持下方布线图以及有时支持印刷电路的此装置的下部。图1a示出了此机器的固定的下方支持结构10以及布线图的下方支持件12。此下方支持件12由一个其上固定了一个玻璃16的矩形金属框架14构成，实际上在玻璃上安有下方布线图。在曝光装置中，下方布线图支持件12最好直接位于支持结构10的上侧面上。为了移动支持件12，利用18所示的滚珠系统将它置于支持结构10上。在此特例中，由排列在框架14四个边上的滚珠来获得支持。下面将更详细地描述的这种滚珠系统使得有可能使支持结构机械上支持整个下方支持件同时确保以非常小的摩擦进行支持。显然，由于这种安排，用来移动下方支持件14的力将极大地减小，这就使用来执行位移的马达的功率和尺寸都可减小。此图还示意地示出了用来使下方支持件12分别沿X和XY方向移动的器件20和22。如已经解释的那样，与支持结构10连成一体的位移平台不具有任何支持功能而仅仅用来使支持件相对于支持结构移动，可知由于这二部件之间的摩擦非常小，且由于存在滚珠，所需的功率降低了。图1a还示意地示出了电磁制动器或其它相似的制动系统24。这些制动系统24规则地分布在框架14上，使得可以确保框架14从而整个下方布线图支持件12在达到正确定位时相对于支持结构10固定。由于支持结构和下方支持件之间的连接无摩擦，并由于用来产生平台位移的马达20和22的功率很小，这些制动器件24是必须的。图1a示意地示出了二个用来使印刷电路相对于下方支持结构10固定的单元。这些单元的参考号为26和28。除了下方支持结构10在水平和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种通过配备有位置记号的第一和第二布线图曝光双面印刷电路板的装置，它包括： 水平平面内固定的第一和第二支持结构， 分别与第一和第二支持结构协同动作的第一和第二布线图的第一和第二支持件， 用来将上述电路安置在第一和第二布线图支持件之间的装置，上述电路配备有位置记号， 用来探测上述电路与上述第一和第二支持件之间的定位误差的光学装置， 用来垂直于其平面将上述支持件中的一个移向另一个的装置， 光源， 用来将上述光源发射的光束同时导向各个布线图支持件的光学装置， 排列在上述支持件和上述电路组成的单元之外的用来使上述电路相对于上述支持结构保持固定于其平面内的装置，以及 用来根据探测到的定位误差而使上述第一支持件相对于上述电路以及上述第二支持件相对于上述电路独立地移动的装置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：阿莱索莱尔，瑟格查博尼尔，
申请(专利权)人：奥托玛泰克公司，
类型：发明
国别省市：FR[法国]