本发明专利技术的一个方式涉及的成膜装置具有腔室、工作台、光源单元、气体供给部以及清洗单元。所述腔室具有：腔室主体，其具有成膜室；顶板，其安装在所述腔室主体，具有窗部。所述工作台配置在所述成膜室，具有支承基板的支承面。所述光源单元设置在所述顶板，具有经由所述窗部向所述支承面照射能量束的照射源。所述气体供给部将原料气体供给至所述成膜室，所述原料气体包含受所述能量束的照射而固化的能量束固化树脂。所述清洗单元连接至所述腔室，向所述成膜室导入清洗气体，所述清洗气体去除附着在所述顶板、腔室的所述能量束固化树脂。腔室的所述能量束固化树脂。腔室的所述能量束固化树脂。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】成膜装置及成膜方法
[0001]本专利技术涉及一种由能量束固化树脂形成树脂层的成膜装置及成膜方法。
技术介绍
[0002]在对紫外线固化树脂等能量束固化树脂进行固化而在基板上形成树脂层时，典型地进行以下两个工序。即，由冷却工作台支承基板，向支承在冷却工作台的基板上供给包含该树脂的原料气体的工序，以及向基板上照射紫外线等的光，在基板上形成固化的树脂层的工序。
[0003]特别是最近，提供了一种成膜装置，其并非在不同的真空腔室分别进行这样的多个工序，而是在一个真空腔室进行向基板上供给原料气体的工序和通过紫外线在基板上形成固化的树脂层的工序。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2013-064187号公报。
技术实现思路
[0007]专利技术要解决的问题
[0008]在这种成膜装置中，在腔室的顶板设置透射紫外线的窗部，通过该窗部向成膜室照射紫外线，由此，形成在工作台上的基板堆积的紫外线固化树脂的固化物层。另一方面，随着成膜处理的重复，由于附着在顶板的树脂的量增加，从窗部透射的紫外线的光通量变低，不能向工作台上的基板照射足够量的紫外线。因此，将腔室开放至大气来洗净顶板或进行顶板更换操作变得频繁，难以实现生产率的提高。
[0009]鉴于以上原因，本专利技术的目的在于提供一种能够提高生产率的成膜装置及成膜方法。
[0010]用于解决问题的方案
[0011]为了达到上述目的，本专利技术的一个方式涉及的成膜装置具有腔室、工作台、光源单元、气体供给部以及清洗单元。
[0012]所述腔室具有：腔室主体，其具有成膜室；顶板，其安装在所述腔室主体，具有窗部。
[0013]所述工作台配置在所述成膜室，具有支承基板的支承面。
[0014]所述光源单元设置在所述顶板，具有经由所述窗部向所述支承面照射能量束的照射源。
[0015]所述气体供给部将原料气体供给至所述成膜室，所述原料气体包含受所述能量束的照射而固化的能量束固化树脂。
[0016]所述清洗单元连接至所述腔室，向所述成膜室导入去除附着在所述顶板的所述能量束固化树脂的清洗气体。
[0017]上述成膜装置因为具有去除附着在顶板的能量束固化树脂的清洗单元，所以能够不将腔室开放至大气而进行顶板的清洗，因此能够提高生产率。
[0018]所述清洗单元可以包括产生作为所述清洗气体的氧等离子体的等离子体发生器。
[0019]所述气体供给部可以具有：喷淋板，其与所述顶板相向配置，由使所述能量束透射的材料构成；空间部，其形成在所述顶板和所述喷淋板之间，导入所述原料气体。在该情况下，所述清洗单元将所述清洗气体导入所述空间部。由此，不仅能够清洗顶板，也能够进行喷淋板的清洗。
[0020]所述清洗单元可以包括产生作为所述清洗气体的氧等离子体的等离子体发生器。
[0021]所述等离子体发生器可以设置在所述气体供给部周围的多处。
[0022]所述工作台可以具有能够冷却所述支承面的冷却源。
[0023]所述顶板还可以具有支承所述窗部的框部以及加热所述框部的加热源。
[0024]所述照射源可以为紫外线灯。
[0025]本专利技术的一个方式涉及的成膜方法包括：通过从所述气体供给部向支承在所述支承面的基板上供给原料气体，使能量束固化树脂堆积在所述基板上。
[0026]通过从所述照射源经由所述窗部照射能量束，形成所述能量束固化树脂的固化物层。
[0027]通过清洗气体去除附着在所述顶板的能量束固化树脂。
[0028]专利技术效果
[0029]如上所述，根据本专利技术能够提高生产率。
附图说明
[0030]图1是表示本专利技术的一个实施方式涉及的成膜装置的概要剖视图。
[0031]图2是表示上述成膜装置的等离子体发生器的配置例的气体供给部的概要俯视图。
[0032]图3是表示本专利技术的其他实施方式涉及的成膜装置的概要剖视图。
具体实施方式
[0033]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。
[0034]图1是表示本专利技术的一个实施方式涉及的成膜装置100的概要剖面图。在图中，X轴方向和Y轴方向表示相互正交的水平方向，Z轴方向表示与X轴方向和Y轴方向正交的方向。
[0035]成膜装置100构成为用于在基板上形成由作为能量束固化树脂的紫外线固化树脂构成的层的成膜装置。成膜装置100是用于在将包含紫外线固化树脂的原料气体供给至基板W上之后，向基板W上照射紫外线而形成紫外线固化树脂层的装置。
[0036][成膜装置][0037]成膜装置100具有腔室10。腔室10具有腔室主体11以及气密地闭塞腔室主体11的开口部11a的顶板12。
[0038]成膜装置100还具有工作台15、光源单元20、气体供给部30以及清洗单元40。
[0039](腔室)
[0040]腔室主体11为上部开口的金属制的长方体形状的真空容器，在内部具有成膜室
13。成膜室13构成为能够经由连接至腔室主体11底部的真空排气系统19排气至或者维持在规定的减压环境。
[0041]顶板12具有使紫外线UV透射的窗部121以及支承窗部121的框部122。窗部121由石英玻璃等的紫外线透射性材料构成，框部122由铝合金等的金属材料构成。窗部121的数量没有特别限定，可以是两个以上，也可以是单个。
[0042](工作台)
[0043]工作台15配置在成膜室13。工作台15具有工作台主体151，工作台主体151具有支承基板W的支承面151a。
[0044]工作台15具有能够将支承面151a冷却到规定温度以下的冷却源153。冷却源153例如由内置于工作台主体151的循环有冷却水等冷却介质的冷却夹套构成。通过冷却源153冷却的支承面151a的冷却温度设定为足以使后述原料气体中的紫外线固化树脂凝结的适宜的温度。另外，也可以构成为将冷却到上述规定温度以下的基板W输送至成膜室13。
[0045]基板W是玻璃基板，也可以是半导体基板。基板的形状或大小没有特别限定，可以是矩形也可以是圆形。可以预先在基板W的成膜面形成元件。在该情况下，在基板W成膜的树脂层具有作为上述元件的保护膜的功能。
[0046](光源单元)
[0047]光源单元20具有壳体21和照射源22。壳体21配置在顶板12之上，具有容纳照射源22的光源室23。光源室23例如是大气环境。照射源22是朝向工作台15的支承面151a、经由顶板12的窗部121照射作为能量束的紫外线UV的光源，典型地由紫外线灯构成。不限于此，照射源22也可以采用多个发出紫外线UV的LED(Light Emitting Diode，发光二极管)以矩阵状排列的光源模组。
[0048](气体供给部)
[0049]气体供给部30将包含受紫外线UV的照射而固化的树脂(紫外线固化树脂)的原料气体向成膜室本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种成膜装置，其具有：腔室，其具有腔室主体和顶板，所述腔室主体具有成膜室，所述顶板安装在所述腔室主体且具有窗部；工作台，其配置在所述成膜室，具有支承基板的支承面；光源单元，其设置在所述顶板，具有经由所述窗部向所述支承面照射能量束的照射源；气体供给部，其将原料气体供给至所述成膜室，所述原料气体包含受所述能量束的照射而固化的能量束固化树脂；以及，清洗单元，其连接至所述腔室，向所述成膜室导入清洗气体，所述清洗气体去除附着在所述顶板的所述能量束固化树脂。2.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，所述气体供给部具有：喷淋板，其与所述顶板相向配置，由使所述能量束透射的材料构成；以及，空间部，其形成在所述顶板和所述喷淋板之间，被导入所述原料气体，所述清洗单元将所述清洗气体导入所述空间部。3.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其中，...
【专利技术属性】
技术研发人员：矢岛贵浩，中村文生，加藤裕子，植喜信，小仓祥吾，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：
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