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成膜装置及成膜方法制造方法及图纸
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文档序号:27483405
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本发明的一个方式涉及的成膜装置具有腔室、工作台、光源单元、气体供给部以及清洗单元。所述腔室具有:腔室主体,其具有成膜室;顶板,其安装在所述腔室主体,具有窗部。所述工作台配置在所述成膜室,具有支承基板的支承面。所述光源单元设置在所述顶板,具有...
该专利属于株式会社爱发科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱发科授权不得商用。
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