连动式基板旋转方法技术

一种连动式基板旋转方法。首先，提供一输送带，用以输送多个基板，且该输送带上设置有多个旋转站。然后将各该基板所需进行的转向信息建立一转向参数表，随后利用该输送带输送所述基板，且当各该基板传送至各该旋转站时，根据该转向参数表自动对各该基板进行相对应的旋转。所述连动式基板旋转方法能够利用转向参数表、基板数据以及输送带上的传感器等三种转向定位机构来解决公知利用人工操作方式容易造成基板旋转错误并导致产品合格率下降的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基板旋转方法，尤其涉及一种连动式的基板旋转方法。
技术介绍
薄膜晶体管液晶显示器(以下简称TFT-LCD)，主要是利用成矩阵状排列的薄膜晶体管，并配合适当的电容、转接垫等电子元件来驱动液晶像素，以产生丰富亮丽的图形。由于TFT-LCD具有外型轻薄、耗电量少以及无辐射污染等特性，因此被广泛地应用在笔记本电脑(notebook)、个人数字助理(PDA)等携带式信息产品上，甚至已有逐渐取代传统台式计算机的CRT监视器以及家用电视的趋势。一般而言，TFT-LCD包括薄膜晶体管基板，其上具有许多排列成阵列的薄膜晶体管、像素电极(pixel electrode)、多条互相垂直交错(orthogonal)的扫瞄线(scan or gate line)以及信号线(data or signal line)；彩色滤光基板，其具有多个排列成阵列的彩色滤光片(color filter)；以及填充于薄膜晶体管基板与彩色滤光基板之间的液晶材料。其中，薄膜晶体管元件是利用多道沉积、微影暨蚀刻(PEP)工艺制作于薄膜晶体管基板表面，而彩色滤光片则是利用微影工艺或是直接印刷技术制作于彩色滤光基板表面，使LCD的每一像素呈现丰富亮丽的颜色。目前对彩色滤光基板的制作通常是先利用输送带(conveyor)来输送多个玻璃基板，然后在输送过程中对玻璃基板进行多次的光阻涂布、曝光以及显影等工艺。请参照图1，图1为一种用来输送多个基板的公知输送带示意图。如图1所示，输送带12上承载有多个基板20，且各基板20可为玻璃基板。其次，输送带12上设置有多个旋转站14、16、18，且各旋转站14、16、18旁各设置有一用来对基板20进行光阻涂布或曝光显影等工艺的机台(图未示)。举例来说，旋转站14旁可设有一光阻涂布机(photo coater)，旋转站16旁设有一对位机(aligner)，而旋转站18旁则设有一显影机(developer)。值得注意的是，在公知的利用输送带来输送基板以进行多次光阻涂布与曝光显影工艺的过程中，通常会将各基板在旋转站上进行多次的转向。一般而言，各基板在旋转站进行所需的旋转，例如旋转+180度后均需要再次进行反向的旋转，即旋转-180度以将基板回到原始的位置。然而，工作人员在对基板进行此转向作业时，通常是采用手动执行的方式，例如先对基板所需进行的旋转动作输入一旋转信息，然后在工艺结束后再输入一旋转信息将该基板旋转回原来的位置。然而，在这些密集输入旋转信息的过程中，时常会因为操作人员的疏忽而造成旋转方向错误或是忘了把基板的位置转回原先的设定，进而造成产品合格率下降以及成本增加等问题。因此，如何提供一种替代公知利用手动方式来对基板进行旋转的方法即为现今一重要课题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种基板旋转方法，该方法利用转向参数表、基板数据以及输送带上的传感器等三种转向定位机构来解决公知利用人工操作方式容易造成基板旋转错误并导致产品合格率下降的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种。首先，提供一输送带(conveyor)，所述输送带用以输送多个基板，且该输送带上设置有多个旋转站。然后将各该基板所需进行的转向信息建立一转向参数表(recipe)，随后利用该输送带输送所述基板，且当各该基板传送至各该旋转站时，根据该转向参数表自动对各该基板进行相对应的旋转。根据本专利技术的技术构思，所述基板包括玻璃基板。根据本专利技术的技术构思，各该基板均包含一基板识别码。根据本专利技术的技术构思，所述还包括连接一控制单元至该输送带，该控制单元用来控制该输送带与各该旋转站的作动并用来储存该转向参数表。根据本专利技术的技术构思，建立该转向参数表的方法包括将各该基板传送至各该旋转站时所需进行转向的所述转向信息输入至该控制单元。根据本专利技术的技术构思，所述转向信息包括各该基板进行转向前的位置以及各该基板进行转向后的位置。根据本专利技术的技术构思，所述还包括将各该基板进行转向前的位置记录至一基板数据中。根据本专利技术的技术构思，所述还包括将各该基板进行转向后的位置记录至该基板数据中。根据本专利技术的技术构思，在该输送带上还设置有多对传感器，所述多对传感器用以判断各该基板的转向位置。根据本专利技术的技术构思，每一对传感器成对角设置于该输送带上。根据本专利技术的技术构思，所述还包括将工艺机台连接至对应的该旋转站。根据本专利技术的技术构思，该工艺机台包括光阻涂布机、对位机或显影机。本专利技术所公开的主要利用转向参数表、基板资料以及输送带上的传感器等三种转向定位方法来改善公知利用人工操作方式容易造成基板旋转错误并导致产品合格率下降的问题。如上所述，本专利技术在输送带输送多个基板时先将各基板所需进行转向的转向信息建立一转向参数表，然后在各基板传送至基板上的各旋转站时根据该转向参数表来对各基板进行相对应的旋转。其次，在各基板进行所需转向的同时，连接转向参数表的控制单元会将各基板进行转向前与转向后的位置记录至一基板数据中。因此，在基板进行所需的旋转后，控制单元即可通过此基板数据来自动判断何时需再次进行反向的旋转，而不需以手动操作的方式来针对各基板输入转向的指令，进而改善公知技术中容易造成基板旋转方向错误或是忘了把基板的位置转回原先设定的问题。此外，本专利技术还可在输送带上设置多对传感器，并通过这些传感器来判断基板的转向位置是否正确，以在基板进入工艺机台前或完成工艺后适时调整基板的位置。附图说明图1为公知用来输送多个基板的输送带示意图。图2为本专利技术用来输送基板的输送带示意图。图3为本专利技术的的方块示意图。其中，附图标记说明如下12输送带 14旋转站 16旋转站 18旋转站20基板32输送带34旋转站 36旋转站38旋转站 40基板42传感器 44控制单元46转向参数表 48基板数据具体实施方式请参照图2，图2为本专利技术用来输送基板的输送带示意图。如图2所示，输送带32上承载有多个基板40。其中，各基板40可为玻璃基板，且各基板40内均包括基板识别码(glass identification)。输送带32上还设置有多个旋转站34、36、38，且旋转站34、36、38旁各设置有一用来对基板40进行光阻涂布或曝光显影工艺的机台。举例来说，旋转站34旁可设有一光阻涂布机，旋转站36旁设有一对位机，而旋转站38旁则设有一显影机。此外，输送带32上还设有多对传感器(sensor)42，且传感器42成对角设置于输送带32上。根据本专利技术的较佳实施例，传感器42可用来判断各基板40的转向位置。请参照图3，图3为本专利技术的的方块示意图。如图3所示，本专利技术的包括用来输送基板的输送带32、连接输送带32的控制单元44、用来储存各基板转向信息的转向参数表46以及基板数据48。请同时参照图2与图3，根据本专利技术的较佳实施例，本专利技术的在运作时包括有以下步骤。首先，提供输送带32，然后利用输送带32来输送多个基板40。接着将各基板40所需进行转向的转向信息建立转向参数表46。其中，各基板40所需进行转向的转向信息包括各基板40进行转向前的位置以及各基板40进行转向后的位置。此外，转向参数表46连接控制单元44，例如计算机整合制造(CIM)系统，且控制单元44用来控制输送带32与各旋转站的动作并用来储存转向参数表46。接着本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连动式基板旋转方法，包含：提供一输送带，所述输送带用以输送多个基板，该输送带上设置有多个旋转站；将各该基板所需进行转向的转向信息建立一转向参数表；以及利用该输送带输送所述基板，且当各该基板传送至各该旋转站时，根据该转向参 数表自动对各该基板进行相对应的旋转。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林守信，詹惠杰，洪健晃，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]