显示装置和用于制造其的方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及显示装置和用于制造其的方法。显示装置包括设置在显示区中的像素电路和设置在外周区中的驱动电路。驱动电路包括第一晶体管，并且每个像素电路包括第二晶体管。第一晶体管包括设置在基板上的第一有源图案、设置在第一有源图案上的具有第一外部分的第一栅绝缘层和设置在第一栅绝缘层上的第一栅电极。第二晶体管包括设置在基板上的第二有源图案、设置在第二有源图案上的具有第二外部分的第二栅绝缘层和设置在第二栅绝缘层上的第二栅电极。第一外部分不与第一栅电极重叠，并且具有第一宽度。第二外部分不与第二栅电极重叠，并且具有比第一宽度小的第二宽度。并且具有比第一宽度小的第二宽度。并且具有比第一宽度小的第二宽度。

【技术实现步骤摘要】
显示装置和用于制造其的方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2019年7月30日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10-2019-0092385号的优先权，其公开通过引用以其整体并入本文。


[0003]本公开涉及显示装置和用于制造其的方法。

技术介绍

[0004]显示装置，比如，液晶显示器(LCD)和有机发光二极管(OLED)显示器，包括显示面板，显示面板包括显示区和外周区。显示区为可显示图像的区。
[0005]在显示区中，存在多个像素(其为用于显示图像的单元)，和多条信号线。多条信号线可包括栅线和数据线。每个像素可包括包含至少一个像素晶体管的像素电路部分，和连接至每个像素电路部分的显示部分。像素电路部分可包括与数据线和栅线连接的至少一个像素晶体管，并且显示部分可包括用于接收来自像素电路部分的数据信号的像素电极。
[0006]外周区可包括驱动电路部分和与多条信号线(可向多条信号线施加驱动信号)连接的多条电压线。驱动电路部分包括多个驱动晶体管。

技术实现思路

[0007]本公开的至少一个实施方式已经尝试提供具有驱动电路部分的显示装置，当遭受非常高的电压时，具有驱动电路部分的显示装置可稳定地运转而没有驱动电路部分的驱动晶体管的劣化。
[0008]根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置包括：具有显示区和围绕显示区的外周区的基板；设置在显示区中的多个像素电路部分和多条信号线；和设置在外周区中并且与多条信号线连接的驱动电路部分。驱动电路部分包括第一晶体管，所述第一晶体管具有设置在基板上的第一有源图案、设置在第一有源图案上的第一栅绝缘层和设置在第一栅绝缘层上的第一栅电极。每个像素电路部分包括第二晶体管，所述第二晶体管具有设置在基板上的第二有源图案、设置在第二有源图案上的第二栅绝缘层和设置在第二栅绝缘层上的第二栅电极。第一栅绝缘层包括在第一方向上不与第一栅电极重叠的第一外部分。第二栅绝缘层包括在第一方向上不与第二栅电极重叠的第二外部分。在不同于第一方向的第二方向上第一外部分的第一宽度比在第二方向上第二外部分的第二宽度大。
[0009]根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置包括：具有显示区和围绕显示区的外周区的基板；设置在显示区中的多个像素电路部分和多条信号线；和设置在外周区中并且与多条信号线连接的驱动电路部分。驱动电路部分包括第一晶体管，所述第一晶体管具有设置在基板上的第一有源图案、设置在第一有源图案上的第一栅绝缘层和设置在第一栅绝缘层上的第一栅电极。第一栅绝缘层包括在第一方向上不与第一栅电极重叠的第一外部分，并且第一外部分包括在不同于第一方向的第二方向上具有不同的宽度的部分。
[0010]根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置包括：具有显示区和围绕显示区的外周区的基板；设置在显示区中的多个像素电路部分和多条信号线；和设置在外周区中并且与多条信号线连接的驱动电路部分。驱动电路部分包括第一晶体管，所述第一晶体管具有设置在基板上的第一有源图案、设置在第一有源图案上的第一栅绝缘层、设置在第一栅绝缘层上的第一栅电极、设置在第一有源图案上并且与第一栅绝缘层隔开的虚设绝缘层以及设置在虚设绝缘层上并且与第一栅电极隔开的虚设电极。虚设电极包括与第一栅电极的材料相同的材料，并且具有比第一栅电极的宽度小的宽度。虚设绝缘层包括与第一栅绝缘层的材料相同的材料，并且具有比第一栅绝缘层的宽度小的宽度。
[0011]根据本专利技术的示例性实施方式的用于制造显示装置的方法包括：在包括显示区和围绕显示区的外周区的基板上形成第一绝缘层；在第一绝缘层上在外周区中形成第一有源图案，并且在第一绝缘层上在显示区中形成第二有源图案；在第一有源图案和第二有源图案上形成第二绝缘层；在第二绝缘层上形成导电层；在导电层上形成光致抗蚀剂层；通过光掩模将光施加至光致抗蚀剂层；将光致抗蚀剂层暴露在显影溶液中，以在外周区中产生第一掩模图案，并且在显示区中产生第二掩模图案；使用第一掩模图案和第二掩模图案作为掩模蚀刻导电层，以在外周区中产生第一栅电极，并且在显示区中产生第二栅电极；和使用第一掩模图案和第二掩模图案作为掩模蚀刻第二绝缘层，以在外周区中产生第一栅绝缘层，并且在显示区中产生第二栅绝缘层。
附图说明
[0012]图1为根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置的平面布局图，
[0013]图2为包括在根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置的像素电路部分中的像素晶体管的顶部平面图，
[0014]图3为沿着图2的显示装置的线IIIa-IIIb截取的横截面图，
[0015]图4为包括在根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置的驱动电路部分中的驱动晶体管的顶部平面图，
[0016]图5为沿着图4的显示装置的线Va-Vb截取的横截面图，
[0017]图6为显示根据包括在根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置的驱动电路部分中的驱动晶体管的栅绝缘层的外部分的长度的阈值电压的改变量的图，
[0018]图7为显示根据包括在根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置的驱动电路部分中的驱动晶体管的栅绝缘层的外部分的长度的导通电流(on-current)保持率的图，
[0019]图8为阐释相对于包括在根据比较例的显示装置的驱动电路部分中的驱动晶体管的栅端子电压的源-漏电流图的变化，以及包括在根据本专利技术的示例性实施方式的驱动电路部分中的驱动晶体管的源-漏电流图的变化的图，
[0020]图9、图10、图11和图12顺序阐释了包括在根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置的像素电路部分中的像素晶体管的制造工艺，
[0021]图13、图14、图15和图16顺序显示了包括在根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置的驱动电路部分中的驱动晶体管的制造方法，
[0022]图17为包括在根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置的驱动电路部分中的驱动晶体管的横截面图，
[0023]图18、图19、图20和图21顺序显示了包括在根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置的驱动电路部分中的驱动晶体管的制造工艺，
[0024]图22为包括在根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置的驱动电路部分中的驱动晶体管的顶部平面图，
[0025]图23为沿着图22的显示装置的线XXIIIa-XXIIIb截取的横截面图，
[0026]图24、图25、图26和图27顺序显示了包括在根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置的驱动电路部分中的驱动晶体管的制造工艺，
[0027]图28为根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置的多个像素的平面布局图，
[0028]图29为根据本专利技术的示例性实施方式的显示装置的像素电极和多条数据线的平面布局图，并且
[0029]图30为沿着图28的显示装置的线XXXa-XXXb截取的横截面图。
具体实施方式
[0030]在下述详细描述中，已经显示和描述了本专利技术的示例性实施方式。如本领域技术人员将认识到，描述的实施方式可以以各种不同的方式修改，所有都不本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示装置，所述显示装置包括：包括显示区和围绕所述显示区的外周区的基板；设置在所述显示区中的多个像素电路部分和多条信号线；和设置在所述外周区中并且与所述多条信号线连接的驱动电路部分，其中所述驱动电路部分包括第一晶体管，所述第一晶体管包括设置在所述基板上的第一有源图案、设置在所述第一有源图案上的第一栅绝缘层和设置在所述第一栅绝缘层上的第一栅电极，其中每个像素电路部分包括第二晶体管，所述第二晶体管包括设置在所述基板上的第二有源图案、设置在所述第二有源图案上的第二栅绝缘层和设置在所述第二栅绝缘层上的第二栅电极，其中所述第一栅绝缘层包括在第一方向上不与所述第一栅电极重叠的第一外部分，其中所述第二栅绝缘层包括在所述第一方向上不与所述第二栅电极重叠的第二外部分，并且其中在不同于所述第一方向的第二方向上所述第一外部分的第一宽度比在所述第二方向上所述第二外部分的第二宽度大。2.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述第一外部分具有沿着所述第一栅电极的外周延伸的形状，并且所述第二外部分具有沿着所述第二栅电极的外周延伸的形状。3.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述第一外部分的宽度大于或等于1.7微米。4.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述第一有源图案包括第一源区域、第一漏区域以及与所述第一栅电极重叠的第一沟道区域，所述第一源区域和所述第一漏区域相对于所述第一沟道区域面向彼此，所述第二有源图案包括第二源区域、第二漏区域以及与所述第二栅电极重叠的第二沟道区域，所述第二源区域和所述第二漏区域相对于所述第二沟道区域面向彼此，并且所述第一漏区域和所述第一栅电极之间的距离比所述第二漏区域和所述第二栅电极之间的距离大。5.根据权利要求4所述的显示装置，进一步包括：绝缘层，所述绝缘层设置在所述第一栅电极和所述第二栅电极上；第一源电极，所述第一源电极设置在所述绝缘层上，并且与所述第一源区域电连接；和第一漏电极，所述第一漏电极设置在所述绝缘层上，并且与所述第一漏区域电连接。6.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述显示区包括多个像素，并且所述多个像素中的每个包括所述多个像素电路部分中的对应的像素电路部分和与所述对应的像素电路部分电连接的发光二极管。7.根据权利要求6所述的显示装置，其中所述多条信号线包括与所述多个像素电路部分电连接的多条栅线，并且所述驱动电路部分与所述多条栅线连接，并且在扫描所述多条栅线的同时，将栅信号施加至所述多条栅线。8.一种显示装置，所述显示装置包括：包括显示区和围绕所述显示区的外周区的基板；设置在所述显示区中的多个像素电路部分和多条信号线；和
设置在所述外周区中并且与所述多条信号线连接的驱动电路部分，其中所述驱动电路部分包括第一晶体管，所述第一晶体管包括设置在所述基板上的第一有源图案、设置在所述第一有源图案上的第一栅绝缘层和设置在所述第一栅绝缘层上的第一栅电极，其中所述第一栅绝缘层包括在第一方向上不与所述第一栅电极重叠的第一外部分，并且其中所述第一外部分包括在不同于所述第一方向的第二方向上具有不同的宽度的部分。9.根据权利要求8所述的显示装置，其中所述第一有源图案包括第一源区域、第一漏区域以及与所述第一栅电极重叠的第一沟道区域，所述第一源区域和所述第一漏区域相对于所述第一沟道区域面向彼此，所述第一外部分包括与所述第一源区域重叠的第一部分和与所述第一漏区域重叠的第二部分，并且所述第二部分的宽度比所述第一部分的宽度大。10.根据权利要求9所述的显示装置，进一步包括：绝缘层，所述绝缘层设置在所述第一栅电极上；第一源电极，所述第一源电极设置在所述绝缘层上，并且与所述第一源区域电连接；和第一漏电极，所述第一漏电极设置在所述绝缘层上，并且与所述第一漏区域电连接。11.根据权利要求8所述的显示装置，其中在平面图中所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：李光洙，金贤，尹甲洙，郑守正，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：