一种纳米手术机器人以及制作方法技术

本发明专利技术提供了一种纳米手术机器人以及制作方法，涉及医疗器械技术领域，该制作方法首先提供一基板。然后在所述基板上形成水溶性薄膜层，之后在所述水溶性薄膜层的表面形成光阻层，并基于预设图形的光罩，对所述光阻层进行刻蚀，形成具有预设形状的第一中间件。然后在所述光阻层上镀预设厚度的磁性纳米材料，对镀有预设厚度的磁性纳米材料进行刻蚀，形成目标纳米手术机器人。而目标纳米手术机器人的操作精度为100纳米-900纳米，能够防止激光对眼球的伤害，防止并发症，防止穿孔等，提高了手术精度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种纳米手术机器人以及制作方法


[0001]本专利技术涉及医疗器械
，具体涉及一种纳米手术机器人以及制作方法。

技术介绍

[0002]激光角膜切削术是利用激光对眼球角膜进行修复。目前，激光角膜术的手术刀的精度为2-5mm，使得一些患病人群，例如角膜厚度较薄的人不适合接受激光手术，避免眼球穿孔等并发症的出现。
[0003]因此，如何提供一种手术机器人，能够提高手术精度，是本领域技术人员亟待解决的一大技术难题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种手术机器人以及一种纳米手术机器人的制作方法，能够提高手术精度。
[0005]为实现上述目的，本专利技术实施例提供如下技术方案：
[0006]一种纳米手术机器人的制作方法，包括：
[0007]提供一基板；
[0008]在所述基板上形成水溶性薄膜层；
[0009]在所述水溶性薄膜层的表面形成光阻层；
[0010]基于预设图形的光罩，对所述光阻层进行刻蚀，形成具有预设形状的第一中间件；
[0011]在所述光阻层上镀预设厚度的磁性纳米材料；
[0012]对镀有预设厚度的磁性纳米材料进行刻蚀，形成目标纳米手术机器人。
[0013]可选的，所述基板为厚度为0.5mm-1.1mm的玻璃基板。
[0014]可选的，所述在所述水溶性薄膜层的表面形成光阻层，包括：
[0015]对涂有所述水溶性薄膜层的所述基板进行烘干；
[0016]在经过烘干后的所述涂有所述水溶性薄膜层的所述基板上涂所述光阻层。
[0017]可选的，所述基于预设图形的光罩，对所述光阻层进行刻蚀，包括：
[0018]采用平行光通过所述预设图形的光罩，对所述光阻层进行曝光显影。
[0019]可选的，所述在所述光阻层上镀预设厚度的磁性纳米材料，包括：
[0020]基于真空镀膜，在所述水溶性薄膜层上沉积30-50nm的永磁材料，所述永磁材料包括铁合金磁性材料。
[0021]可选的，所述对镀有预设厚度的磁性纳米材料进行刻蚀，形成目标纳米手术机器人，包括：
[0022]将镀有预设厚度的磁性纳米材料涂上光阻进行曝光显影，形成具有预设形状的第二中间件；
[0023]对所述第二中间件进行脱模、清洗，形成所述目标纳米手术机器人。
[0024]可选的，所述预设图形包括圆形、三角形、菱形、梯形中的任意一个图形。
[0025]一种纳米手术机器人，基于任意一项上述的纳米手术机器人的制作方法制备。
[0026]可选的，所述纳米手术机器人的形状为圆柱体、长方体中的一个。
[0027]可选的，所述圆柱体的截面为环形，所述环形的外径与所述环形的内径的差为30-50nm。
[0028]基于上述技术方案，本专利技术提供了一种纳米手术机器人的制作方法，首先提供一基板，然后在所述基板上形成水溶性薄膜层，之后在所述水溶性薄膜层的表面形成光阻层，并基于预设图形的光罩，对所述光阻层进行刻蚀，形成具有预设形状的第一中间件。然后在所述光阻层上镀预设厚度的磁性纳米材料，对镀有预设厚度的磁性纳米材料进行刻蚀，形成目标纳米手术机器人。而目标纳米手术机器人的操作精度为100纳米-900纳米，能够防止激光对眼球的伤害，防止并发症，防止穿孔等，提高了手术精度。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0030]图1为本专利技术实施例提供的一种纳米手术机器人的制作方法的流程示意图；
[0031]图2为采用本专利技术实施例提供的一种纳米手术机器人的制作方法制作的半导体中间件的结构示意图；
[0032]图3为本专利技术实施例提供的一种纳米手术机器人的制作方法的又一流程示意图；
[0033]图4为采用本专利技术实施例提供的一种纳米手术机器人的制作方法制作的半导体中间件的又一结构示意图；
[0034]图5为本专利技术实施例提供的一种纳米手术机器人的制作方法的又一流程示意图；
[0035]图6为本专利技术实施例提供的一种纳米手术机器人的制作方法的又一流程示意图；
[0036]图7为采用本专利技术实施例提供的一种纳米手术机器人的制作方法制作的半导体中间件的又一结构示意图；
[0037]图8为本专利技术实施例提供的一种纳米手术机器人的制作方法的又一流程示意图；
[0038]图9为采用本专利技术实施例提供的一种纳米手术机器人的制作方法制作的半导体中间件的又一结构示意图；
[0039]图10为采用本专利技术实施例提供的一种纳米手术机器人的制作方法制作的纳米机器人的结构示意图。
具体实施方式
[0040]请参阅图1，图1为本专利技术实施例提供的一种纳米手术机器人的制作方法的流程示意图，包括步骤：
[0041]S11、提供一基板；
[0042]S12、在所述基板上形成水溶性薄膜层；
[0043]S13、在所述水溶性薄膜层的表面形成光阻层；
[0044]其中，基板可以为厚度为0.5mm-1.1mm的玻璃基板，经过上述步骤，可以形成如图2
所示的半导体结构。
[0045]具体的，本实施例提供了一种在所述水溶性薄膜层的表面形成光阻层的具体实现方式，如图3所示，包括步骤：
[0046]S31、对涂有所述水溶性薄膜层的所述基板进行烘干；
[0047]S32、在经过烘干后的所述涂有所述水溶性薄膜层的所述基板上涂所述光阻层。
[0048]即，在水溶性薄膜层的表面形成光阻层。当然，本实施例仅是为了举例，并不局限于该光阻层的形成方式。
[0049]S14、基于预设图形的光罩，对所述光阻层进行刻蚀，形成具有预设形状的第一中间件；
[0050]结合图4，本步骤在光阻层进行刻蚀，形成如图4所示的第一中间件。其中，所述预设图形可以包括圆形、三角形、菱形、梯形中的任意一个图形。
[0051]具体的，本实施例还提供了一种基于预设图形的光罩，对所述光阻层进行刻蚀的具体实现方式，如图5所示，包括步骤：
[0052]S51、采用平行光通过所述预设图形的光罩，对所述光阻层进行曝光显影。
[0053]同样，光阻层还可以通过其他方式进行刻蚀，在本实施例中并不进行限定。
[0054]S15、在所述光阻层上镀预设厚度的磁性纳米材料；
[0055]具体的，本实施例提供了一种在所述光阻层上镀预设厚度的磁性纳米材料的具体实现方式，如图6所示，包括：
[0056]S61、基于真空镀膜，在所述水溶性薄膜层上沉积30-50nm的永磁材料，所述永磁材料包括铁合金磁性材料。
[0057]其中，永磁材料可以为合金、铁氧体和金属间化合物中的任意本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳米手术机器人的制作方法，其特征在于，包括：提供一基板；在所述基板上形成水溶性薄膜层；在所述水溶性薄膜层的表面形成光阻层；基于预设图形的光罩，对所述光阻层进行刻蚀，形成具有预设形状的第一中间件；在所述光阻层上镀预设厚度的磁性纳米材料；对镀有预设厚度的磁性纳米材料进行刻蚀，形成目标纳米手术机器人。2.根据权利要求1所述的读出放大器，其特征在于，所述基板为厚度为0.5mm-1.1mm的玻璃基板。3.根据权利要求1所述的纳米手术机器人的制作方法，其特征在于，所述在所述水溶性薄膜层的表面形成光阻层，包括：对涂有所述水溶性薄膜层的所述基板进行烘干；在经过烘干后的所述涂有所述水溶性薄膜层的所述基板上涂所述光阻层。4.根据权利要求1所述的纳米手术机器人的制作方法，其特征在于，所述基于预设图形的光罩，对所述光阻层进行刻蚀，包括：采用平行光通过所述预设图形的光罩，对所述光阻层进行曝光显影。5.根据权利要求1所述的纳米手术机器人的制作方法，其特征在于，所述在所述光阻层上...

【专利技术属性】
技术研发人员：温景成，胡利平，
申请(专利权)人：湖南早晨纳米机器人有限公司，
类型：发明
国别省市：