混合传感器系统和方法技术方案

本发明专利技术涉及一种混合传感器系统和方法，其包括：速度传感器（５２），其适于被连接成监控有效载荷（５８）的速度并且生成速度信号（６２）；位置传感器（５４），其适于被连接成监控所述有效载荷（５８）的位置并且生成位置信号（６４）；以及求和节点（５６），其响应于所述速度信号（６２）和所述位置信号（６４）以生成混合信号（６６）。所述速度信号（６２）对于高系统频率主导所述混合信号（６６），所述位置信号（６４）对于低系统频率主导所述混合信号（６６），并且所述速度信号（６２）与所述位置信号（６４）的组合对于中间系统频率主导所述混合信号（６６）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总体涉及传感系统，更具体来说涉及到具有混合传感器输 出的传感系统。
技术介绍
某些灵敏的制造工艺需要精确的位置传感仪器来确定组件的位置，比如有效栽荷质量相对于参考质量的位置。灵敏的制造工艺的一个例子是用于产生集成电路的光刻.所述光刻工艺需要良好的位置测量来控制振动，所述振动会影响光刻的精度并且会降低所迷集成电路的质量。图l是主动振动隔离系统的示意图。在授予Vervoordeldonk等人的WIPO国际公开No. WO 2005/024266 Al中进一步描述了所述主动振动隔离系统，其标题为"Actuator Arrangement for Active Vibration Isolation Comprising an Inertial Reference Mass (包括惯性参考质量的用于主动振动隔离的致动器设置)"，其被转让给本申请的受让人并且被合并在此以作参考。所述主动振动隔离系统20利用位置传感器26测量有效载荷质量22相对于参考质量24的位置。该有效载荷质量22通过被动隔离42被支撑在地面44上方。来自该位置传感器26的位置信号28被提供到差节点30，该差节点3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种混合传感器系统，其包括：　速度传感器５２，其适于被连接成监控有效载荷５８的速度并且生成速度信号６２；　位置传感器５４，其适于被连接成监控所述有效载荷５８的位置并且生成位置信号６４；以及　求和节点５６，其响应于所述速度信号６２和位置信号６４以生成混合信号６６；　其中，所述速度信号６２对于高系统频率主导所述混合信号６６，所述位置信号６４对于低系统频率主导所述混合信号６６，并且所述速度信号６２与所述位置信号６４的组合对于中间系统频率主导所述混合信号６６。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：MJ弗沃德尔唐克，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]