一种晶圆柔性存料载具移动结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆柔性存料载具移动结构，包括容纳晶圆托盘的晶圆存料盒以及设置在机架上带动晶圆存料盒上下移动的存料盒滚珠丝杆机构，晶圆存料盒内部位于晶圆托盘插入方向的两侧壁设置有与晶圆托盘对应的水平托料槽，晶圆存料盒内沿着上下位置平行设置至少两层水平托料槽，水平托料槽的上壁设置出口方向向下的吹气孔。晶圆存料盒上设置气体通道，气体通道一端与吹气孔连通，另一端通过气管连通气源。存料盒滚珠丝杠机构启动或者停止时，水平托料架上的吹气孔吹气给晶圆托盘一定的压力，晶圆托盘稳定的与下侧壁压紧。避免急停或者启动时晶圆托盘和晶圆存料盒碰撞，彼此损伤。损伤。损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆柔性存料载具移动结构


[0001]本技术属于硅晶圆加工领域，具体涉及一种晶圆柔性存料载具移动结构

技术介绍

[0002]晶圆存料盒内存放多个晶圆托盘，在加工过程中，晶圆存料盒需要在存料盒步进电机的驱动下一层层的移动直到每个水平托料槽依次到达夹持位的高度。其中夹持位：晶圆夹持机构移动到晶圆存料盒附近开始取料时，等待被夹持的晶圆托盘在晶圆存料盒中所在的位置。存料盒步进电机在启动和停止时比较突然，晶圆存料盒和晶圆托盘之间会发生碰撞，可能会改变晶圆托盘的位置，影响后续的转运精度。长时间后，也会损伤晶圆存料盒或者晶圆托盘。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种晶圆柔性存料载具移动结构。
[0004]本技术的目的是以下述方式实现的：一种晶圆柔性存料载具移动结构，包括容纳晶圆托盘的晶圆存料盒以及设置在机架上带动晶圆存料盒上下移动的存料盒滚珠丝杆机构，晶圆存料盒内部位于晶圆托盘插入方向的两侧壁设置有与晶圆托盘对应的水平托料槽，晶圆存料盒内沿着上下位置平行设置至少两层水平托料槽，水平托料槽的上壁设置出口方向向下的吹气孔。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆柔性存料载具移动结构，包括容纳晶圆托盘的晶圆存料盒以及设置在机架上带动晶圆存料盒上下移动的存料盒滚珠丝杆机构，晶圆存料盒内部位于晶圆托盘插入方向的两侧壁设置有与晶圆托盘对应的水平托料槽，晶圆存料盒内沿着上下位置平行设置至少两层水平托料槽，其特征在于：所述水平托料槽的上壁设置出口方向向下的吹气孔。2.根据权利要求1所述一种晶圆柔性存料载具移动结构，其特征在于：所述吹气孔的方向垂直设置，水平托料槽上壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：巩铁建，陶为银，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：