一种高纯金属靶材生产用搬运装置制造方法及图纸

技术编号:27244425 阅读:13 留言:0更新日期:2021-02-04 12:17
本实用新型专利技术公开了一种高纯金属靶材生产用搬运装置,包括底板,所述底板右侧固定连接有推杆,所述底板前后两侧均设有两个滚轮,两个所述滚轮为左右设置,所述滚轮靠近底板的一侧固定连接有第一转轴,所述第一转轴靠近底板的一端与底板活动连接,所述底板顶部靠近左侧处固定连接有两个滑杆,两个所述滑杆为左右设置,两个所述滑杆顶部设有若干个滑块,若干个所述滑块从上至下依次排列,通过抽气泵将吸盘与高纯金属靶材之间的空气排出,依靠外界压强使吸盘将高纯金属靶材吸起,从而将高纯金属靶材搬运至装置上,通过软垫防止高纯金属靶材在放置时发生碰撞受损,保护高纯金属靶材。保护高纯金属靶材。保护高纯金属靶材。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯金属靶材生产用搬运装置


[0001]本技术涉及高纯金属靶材生产
,具体为一种高纯金属靶材生产用搬运装置。

技术介绍

[0002]高纯金属靶材是是靶材的一种,靶材通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源,是高速荷能力子轰击的目标材料,多用于高能激光武器;
[0003]在高纯金属靶材的生产过程中,需要将生产好的高纯金属靶材搬运至存放处,现有的搬运方法为人工搬运,当高纯金属靶材为金属材质,其重量大,单次无法大量搬运,这样费时费力,导致生产效率降低,而且在搬运过程中,容易使高纯金属靶材之间或与其他物体发生碰撞,从而造成高纯金属靶材受损,导致不必要的浪费。

技术实现思路

[0004]本技术解决的技术问题在于克服现有技术的费时费力、产品易受损等缺陷,提供一种高纯金属靶材生产用搬运装置。所述一种高纯金属靶材生产用搬运装置具有省时省力、产品不易受损等特点。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种高纯金属靶材生产用搬运装置,包括底板,所述底板右侧固定连接有推杆,所述底板前后两侧均设有两个滚轮,两个所述滚轮为左右设置,所述滚轮靠近底板的一侧固定连接有第一转轴,所述第一转轴靠近底板的一端与底板活动连接,所述底板顶部靠近左侧处固定连接有两个滑杆,两个所述滑杆为左右设置,两个所述滑杆顶部设有若干个滑块,若干个所述滑块从上至下依次排列,若干个所述滑块上均开设有两个与滑杆相匹配的滑孔,两个所述滑孔为左右设置,两个所述滑杆顶端分别贯穿相邻的滑孔,若干个所述滑块右侧均固定连接有活动板,所述底板顶部靠近右侧处固定连接有L形板,所述L形板内腔设有螺纹杆,所述L形板顶部固定连接有第一轴承,所述螺纹杆顶端贯穿第一轴承,并固定连接有手轮,所述螺纹杆下方设有活动块,所述活动块上开设有螺纹孔,所述底板顶部固定连接有第二轴承,所述螺纹杆底端贯穿螺纹孔,并插接在第二轴承内腔,所述活动块前侧固定连接有U形板,所述U形板内腔设有固定块,所述固定块顶部和底部均固定连接有第二转轴,所述第二转轴远离固定块的一端与U形板活动连接,所述固定块前侧固定连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆前端固定连接有箱体,所述箱体内腔底部固定连接有抽气泵,所述抽气泵进风口处固定连接有吸气管,所述抽气泵顶部出风管贯穿箱体顶部。
[0006]优选的,所述箱体底部设有圆盘,所述圆盘为中空设置,所述吸气管底端贯穿箱体底部和圆盘顶部,所述圆盘底部设有若干个吸盘,若干个所述吸盘顶端贯穿圆盘底部。
[0007]优选的,所述圆盘横截面为圆形,且若干个所述吸盘呈环形阵列状均匀排列。
[0008]优选的,若干个所述滑块靠近左侧处开设有空腔,所述空腔内设有挡板,所述空腔
左右两侧均开设有开孔,位于左侧的所述滑杆左侧均匀开设有若干个插孔,所述滑块左侧设有插销,所述插销右端依次贯穿挡板和开孔,并插接在插孔内腔,所述插销外侧套设有弹簧,所述弹簧位于挡板左侧,所述弹簧左右两侧分别与空腔左侧和挡板左侧固定连接。
[0009]优选的,所述底板顶部与活动板顶部和底部均固定连接有软垫。
[0010]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0011]1、通过抽气泵将吸盘与高纯金属靶材之间的空气排出,依靠外界压强使吸盘将高纯金属靶材吸起,从而将高纯金属靶材搬运至装置上,通过软垫防止高纯金属靶材在放置时发生碰撞受损,保护高纯金属靶材;
[0012]2、通过两个滑杆可以在已经放置好的高纯金属靶材上方添加活动板,通过插销与插孔来固定活动板,防止活动板移动,使装置可以同时搬运大量的产品,省时省力,提高了生产效率。
附图说明
[0013]图1为本技术结构示意图。
[0014]图2为本技术右视剖视图。
[0015]图3为圆盘仰视图。
[0016]图4为图1中A处放大图。
[0017]图5为图2中B处放大图。
[0018]图中标号:1、插销;2、滑块;3、活动板;4、滑杆;5、固定块;6、底板;7、滚轮;8、第二转轴;9、手轮;10、推杆;11、第一轴承;12、L形板;13、螺纹杆;14、活动块;15、第一转轴;16、电动伸缩杆;17、箱体;18、抽气泵;19、吸气管;20、圆盘;21、弹簧;22、吸盘;23、U形板;24、第二轴承;25、挡板。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1-5,本技术提供一种技术方案:一种高纯金属靶材生产用搬运装置,包括底板6,底板6右侧固定连接有推杆10,底板6前后两侧均设有两个滚轮7,两个滚轮7为左右设置,滚轮7靠近底板6的一侧固定连接有第一转轴15,第一转轴15靠近底板6的一端与底板6活动连接,底板6顶部靠近左侧处固定连接有两个滑杆4,两个滑杆4为左右设置,两个滑杆4顶部设有若干个滑块2,若干个滑块2从上至下依次排列,若干个滑块2上均开设有两个与滑杆4相匹配的滑孔,两个滑孔为左右设置,两个滑杆4顶端分别贯穿相邻的滑孔,若干个滑块2右侧均固定连接有活动板3,若干个滑块2靠近左侧处开设有空腔,空腔内设有挡板25,空腔左右两侧均开设有开孔,位于左侧的滑杆4左侧均匀开设有若干个插孔,滑块2左侧设有插销1,插销1右端依次贯穿挡板25和开孔,并插接在插孔内腔,插销1外侧套设有弹簧21,弹簧21位于挡板25左侧,弹簧21左右两侧分别与空腔左侧和挡板25左侧固定连接,通过固定滑块2来固定活动板3,底板6顶部与活动板3顶部和底部均固定连接有软垫,防止高
纯金属靶材放置时发生碰撞导致其受损,底板6顶部靠近右侧处固定连接有L形板12,L形板12内腔设有螺纹杆13,L形板12顶部固定连接有第一轴承11,螺纹杆13顶端贯穿第一轴承11,并固定连接有手轮9,螺纹杆13下方设有活动块14,活动块14上开设有螺纹孔,底板6顶部固定连接有第二轴承24,螺纹杆13底端贯穿螺纹孔,并插接在第二轴承24内腔,活动块14前侧固定连接有U形板23,U形板23内腔设有固定块5,固定块5顶部和底部均固定连接有第二转轴8,第二转轴8远离固定块5的一端与U形板23活动连接,固定块5前侧固定连接有电动伸缩杆16,电动伸缩杆16前端固定连接有箱体17,箱体17内腔底部固定连接有抽气泵18,抽气泵18进风口处固定连接有吸气管19,抽气泵18顶部出风管贯穿箱体17顶部,箱体17底部设有圆盘20,圆盘20为中空设置,吸气管19底端贯穿箱体17底部和圆盘20顶部,圆盘20底部设有若干个吸盘22,若干个吸盘22顶端贯穿圆盘20底部,通过抽气泵18将吸盘22与高纯金属靶材之间的空气排出,从而产生吸力将高纯金属靶材吸起并搬运,圆盘20横截面为本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯金属靶材生产用搬运装置,包括底板(6),其特征在于:所述底板(6)右侧固定连接有推杆(10),所述底板(6)前后两侧均设有两个滚轮(7),两个所述滚轮(7)为左右设置,所述滚轮(7)靠近底板(6)的一侧固定连接有第一转轴(15),所述第一转轴(15)靠近底板(6)的一端与底板(6)活动连接,所述底板(6)顶部靠近左侧处固定连接有两个滑杆(4),两个所述滑杆(4)为左右设置,两个所述滑杆(4)顶部设有若干个滑块(2),若干个所述滑块(2)从上至下依次排列,若干个所述滑块(2)上均开设有两个与滑杆(4)相匹配的滑孔,两个所述滑孔为左右设置,两个所述滑杆(4)顶端分别贯穿相邻的滑孔,若干个所述滑块(2)右侧均固定连接有活动板(3),所述底板(6)顶部靠近右侧处固定连接有L形板(12),所述L形板(12)内腔设有螺纹杆(13),所述L形板(12)顶部固定连接有第一轴承(11),所述螺纹杆(13)顶端贯穿第一轴承(11),并固定连接有手轮(9),所述螺纹杆(13)下方设有活动块(14),所述活动块(14)上开设有螺纹孔,所述底板(6)顶部固定连接有第二轴承(24),所述螺纹杆(13)底端贯穿螺纹孔,并插接在第二轴承(24)内腔,所述活动块(14)前侧固定连接有U形板(23),所述U形板(23)内腔设有固定块(5),所述固定块(5)顶部和底部均固定连接有第二转轴(8),所述第二转轴(8)远离固定块(5)的一端与U形板(23)活动连接,所述固定块(5...

【专利技术属性】
技术研发人员:胥小勇
申请(专利权)人:福建瓦能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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