一种用于电子气体三氟甲烷中的杂质组分分析系统技术方案

本发明专利技术公开了一种用于电子气体三氟甲烷中的杂质组分分析系统，包括第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第一定量环、第二定量环、第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第一针型阀、第二针型阀、第一脉冲放电氦离子化检测器和第二脉冲放电氦离子化检测器，本发明专利技术，可以检测三氟甲烷中的CF4、CO2、R32、R143a、O2、Ar、N2、CO、R22、R12、R21组分，各组分之间分离度R≥1.5，定性定量准确，检测限可达ppb级别。检测限可达ppb级别。检测限可达ppb级别。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子气体三氟甲烷中的杂质组分分析系统


[0001]本专利技术涉及电子气体三氟甲烷中的杂质组分分析
，具体为一种用于电子气体三氟甲烷中的杂质组分分析系统。

技术介绍

[0002]三氟甲烷(CHF3)为无色、微味、不导电的气体，是卤代烷烃替代物，主要用于蚀刻气体。而三氟甲烷的纯度影响蚀刻效果，生产过程中需要检测三氟甲烷中的ppb级别杂质组分。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种用于电子气体三氟甲烷中的杂质组分分析系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于电子气体三氟甲烷中的杂质组分分析系统包括第一切换阀，所述第一切换阀的一号接口通过气路管道与样品进口连接，所述第一切换阀的二号接口通过气路管道与第二切换阀的一号接口连接，所述第一切换阀的三号接口通过气路管道与其十号接口连接，所述第一定量环设置在第一切换阀的三号接口和其十号接口连接的气路管道上，所述第一切换阀的四号接口通过气路管道与第二载气连接，所述第一切换阀的五号接口通过气路管道与其九号接口连接，第一色谱柱设置在第一切换阀的五号接口和其九号接口连接的气路管道上，所述第一切换阀的六号接口通过气路管道与第四色谱柱的进口连接，所述第一切换阀的七号接口通过气路管道与第一载气连接，所述第一切换阀的八号接口通过气路管道与第一针型阀连接，第二切换阀的一号接口通过气路管道与第一切换阀的二号接口连接，所述第二切换阀的二号接口通过气路管道与样品出口连接，所述第二切换阀的三号接口通过气路管道与其十号接口连接，第二定量环设置在第二切换阀的三号接口和其十号接口连接的气路管道上，所述第二切换阀的四号接口通过气路管道与第四载气连接，所述第二切换阀的五号接口通过气路管道与第三色谱柱的进口连接，所述第二切换阀的六号接口通过气路管道与其九号接口连接，第二色谱柱设置在第二切换阀的六号接口和其九号接口连接的气路管道上，所述第二切换阀的七号接口通过气路管道与第四色谱柱的出口连接，汇合成一个接口，再连接至第一脉冲放电氦离子化检测器，所述第二切换阀的八号接口通过气路管道与第三载气连接，第三切换阀的一号接口通过气路管道与第二针型阀连接，所述第三切换阀的二号接口通过气路管道与第三色谱柱的出口连接，所述第三切换阀的三号接口通过气路管道与第五色谱柱的进口连接，所述第五色谱柱的出口连接至第二脉冲放电氦离子化检测器，所述第三切换阀的四号接口通过气路管道与第五载气连接，所述第三切换阀的五号接口通过气路管道直接与其六号接口连接。
[0005]优选的，所述第一切换阀和第二切换阀采用十通切换阀，所述第三切换阀采用六通切换阀。
[0006]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0007]本专利技术，可以检测三氟甲烷中的CF4、CO2、R32、R143a、O2、Ar、N2、CO、R22、R12、R21组分，各组分之间分离度R≥1.5，定性定量准确，检测限可达ppb级别。
附图说明
[0008]图1是本专利技术的取样状态图；
[0009]图2是本专利技术的分析状态图；
[0010]图3是本专利技术的放空状态图。
[0011]图中：1-第一切换阀；2-第二切换阀；3-第三切换阀；4-第一定量环；5-第二定量环；6-样品进口；7-样品出口；8-第一色谱柱；9-第一针型阀；10-第一载气；11-第二载气；12-第二色谱柱；13-第三载气；14-第四载气；15-第三色谱柱；16-第二针型阀；17-短接气路管道；18-第四色谱柱；19-第一脉冲放电氦离子化检测器；20-第五色谱柱；21-第五载气；22-第二脉冲放电氦离子化检测器。
具体实施方式
[0012]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0013]请参阅图1-3，本专利技术提供一种技术方案：一种用于电子气体三氟甲烷中的杂质组分分析系统，包括第一切换阀1，第一切换阀1的一号接口通过气路管道与样品进口6连接，第一切换阀1的二号接口通过气路管道与第二切换阀2的一号接口连接，第一切换阀1的三号接口通过气路管道与其十号接口连接，第一定量环4设置在第一切换阀1的三号接口和其十号接口连接的气路管道上，第一切换阀1的四号接口通过气路管道与第二载气11连接，第一切换阀1的五号接口通过气路管道与其九号接口连接，第一色谱柱8设置在第一切换阀1的五号接口和其九号接口连接的气路管道上，第一切换阀1的六号接口通过气路管道与第四色谱柱18的进口连接，第二切换阀2的七号接口通过气路管道与第四色谱柱18的出口连接汇至成一个接口，再连接至第一脉冲放电氦离子化检测器19，第一切换阀1的七号接口通过气路管道与第一载气10连接，第一切换阀1的八号接口通过气路管道与第一针型阀9连接，第二切换阀2的一号接口通过气路管道与第一切换阀1的二号接口连接，第二切换阀2的二号接口通过气路管道与样品出口7连接，第二切换阀2的三号接口通过气路管道与其十号接口连接，第二定量环2设置在第二切换阀2的三号接口和其十号接口连接的气路管道上，第二切换阀2的四号接口通过气路管道与第四载气14连接，第二切换阀2的五号接口通过气路管道与第三色谱柱15的进口连接，第二切换阀2的六号接口通过气路管道与其九号接口连接，第二色谱柱12设置在第二切换阀2的六号接口和其九号接口连接的气路管道上，第二切换阀2的七号接口通过气路管道与第二色谱柱12的出口连接，第二切换阀2的八号接口通过气路管道与第三载气13连接，第三切换阀3的一号接口通过气路管道与第二针型阀16连接，第三切换阀3的二号接口通过气路管道与第三色谱柱15的出口连接，第三切换阀3的三号接口通过气路管道与第五色谱柱20的进口连接，第五色谱柱20的出口连接至第二脉冲放
电氦离子化检测器22，第三切换阀3的四号接口通过气路管道与第五载气21连接；第三切换阀3的五号接口通过气路管道直接与其六号接口连接。
[0014]具体的，第一切换阀1和第二切换阀2采用十通切换阀，第三切换阀3采用六通切换阀。
[0015]取样过程：样品依次经过第一切换阀1的一号接口、十号接口、第一定量环4、第一切换阀1的三号接口再从第一切换阀1的二号接口进入第二切换阀2的一号接口、十号接口、第二定量环5、第二切换阀2的三号接口，最后从第二切换阀2的二号接口放出；
[0016]分析过程：切换第一切换阀1，第二载气11携带第一定量环4中的样品经过第一色谱柱8，再通过第四色谱柱18经过第一脉冲放电氦离子化检测器检19测出氧气、氩气、氮气、一氧化碳，三氟甲烷中的重组分在第一切换阀1复位时，由第二载气11携带保留在第一色谱柱8中的重组分经过第一切换阀1的八号接口由第一针阀9放出。
[0017]切换第二切换阀2，第四载气14携带第二定量环5中的样品经过第二色谱柱12，进入第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电子气体三氟甲烷中的杂质组分分析系统，其特征在于包括第一切换阀，所述第一切换阀的一号接口通过气路管道与样品进口连接，所述第一切换阀的二号接口通过气路管道与第二切换阀的一号接口连接，所述第一切换阀的三号接口通过气路管道与其十号接口连接，所述第一定量环设置在第一切换阀的三号接口和其十号接口连接的气路管道上，所述第一切换阀的四号接口通过气路管道与第二载气连接，所述第一切换阀的五号接口通过气路管道与其九号接口连接，第一色谱柱设置在第一切换阀的五号接口和其九号接口连接的气路管道上，所述第一切换阀的六号接口通过气路管道与第四色谱柱的进口连接，所述第一切换阀的七号接口通过气路管道与第一载气连接，所述第一切换阀的八号接口通过气路管道与第一针型阀连接，第二切换阀的一号接口通过气路管道与第一切换阀的二号接口连接，所述第二切换阀的二号接口通过气路管道与样品出口连接，所述第二切换阀的三号接口通过气路管道与其十号接口连接，第二定量环设置在第二切换阀的三号接口和其十号接口连接的气路管道上，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：李朝清，王祥科，李建浩，
申请(专利权)人：朗析仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：