一种八氟丙烷杂质组分分析系统及方法技术方案

本发明专利技术公开一种八氟丙烷杂质组分分析系统及方法，属于气体杂质检测领域。首先将第一定量环、第二定量环和第三定量环都充有气体样品，然后利用第一载气、第一十通切换阀、第一气体分离装置和脉冲放电氦离子化检测器检测氢气、氧气、氩气、氮气、甲烷和一氧化碳杂质组分的含量，利用第二载气将第二气体分离装置最先分离出的氢氧氩氮甲烷一氧化碳合峰排空后，第三载气携带后分离出来的二氧化碳杂质组分进行含量检测，第四载气将第三气体分离装置最先分离出的非氟碳类组分排空后，再对后分离出来的氟碳类组分进行含量检测。本发明专利技术可反吹掉主组分八氟丙烷，一次进样完成μmol/mol级别杂质组分含量的全分析。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体杂质检测领域，特别是涉及一种八氟丙烷杂质组分分析系统及方法。

技术介绍

1、目前，gb/t 31986-2015《电子工业用气体八氟丙烷》中规定了八氟丙烷(c3f8)纯度体积分数大于等于99.999％(或99.99％)，八氟丙烷中的杂质组分含量在0.1～5μmol/mol(或0.1～50μmol/mol)之间，因此，为了达到八氟丙烷的纯度要求，有必要研制一种检测μmol/mol级别杂质组分含量的系统或方法。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种八氟丙烷杂质组分分析系统及方法，可反吹掉主组分八氟丙烷，一次进样完成μmol/mol级别杂质组分含量的全分析。

2、为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：

3、一种八氟丙烷杂质组分分析系统，所述分析系统包括：第一十通切换阀、第一定量环、第二十通切换阀、第二定量环、六通切换阀、第三定量环、第一气体分离装置、脉冲放电氦离子化检测器、第二气体分离装置和第三气体分离装置；

4、第一十通切换阀的1号口为气体样品通入本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述分析系统包括：第一十通切换阀、第一定量环、第二十通切换阀、第二定量环、六通切换阀、第三定量环、第一气体分离装置、脉冲放电氦离子化检测器、第二气体分离装置和第三气体分离装置；

2.根据权利要求1所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述第一气体分离装置包括：第一高分子色谱柱和分子筛色谱柱；

3.根据权利要求1所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述第二气体分离装置包括：第二高分子色谱柱和第三高分子色谱柱；

4.根据权利要求1所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述第三气体分离装置包括...

【技术特征摘要】

1.一种八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述分析系统包括：第一十通切换阀、第一定量环、第二十通切换阀、第二定量环、六通切换阀、第三定量环、第一气体分离装置、脉冲放电氦离子化检测器、第二气体分离装置和第三气体分离装置；

2.根据权利要求1所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述第一气体分离装置包括：第一高分子色谱柱和分子筛色谱柱；

3.根据权利要求1所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述第二气体分离装置包括：第二高分子色谱柱和第三高分子色谱柱；

4.根据权利要求1所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述第三气体分离装置包括：第一毛细管色谱柱、第二毛细管色谱柱和第一四通切换阀；

5.根据权利要求4所述的八氟丙烷杂质...

【专利技术属性】
技术研发人员：李朝清，王富德，李建浩，
申请(专利权)人：朗析仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：