【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体杂质检测领域，特别是涉及一种八氟丙烷杂质组分分析系统及方法。
技术介绍
1、目前，gb/t 31986-2015《电子工业用气体八氟丙烷》中规定了八氟丙烷(c3f8)纯度体积分数大于等于99.999％(或99.99％)，八氟丙烷中的杂质组分含量在0.1～5μmol/mol(或0.1～50μmol/mol)之间，因此，为了达到八氟丙烷的纯度要求，有必要研制一种检测μmol/mol级别杂质组分含量的系统或方法。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种八氟丙烷杂质组分分析系统及方法，可反吹掉主组分八氟丙烷，一次进样完成μmol/mol级别杂质组分含量的全分析。
2、为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：
3、一种八氟丙烷杂质组分分析系统，所述分析系统包括：第一十通切换阀、第一定量环、第二十通切换阀、第二定量环、六通切换阀、第三定量环、第一气体分离装置、脉冲放电氦离子化检测器、第二气体分离装置和第三气体分离装置；
4、第一十通切换阀的1号口为气体样品通入口，第一十通切换阀的10号口与第一定量环的一端连接，第一十通切换阀的3号口与第一定量环的另一端连接；第二十通切换阀的1号口与第一十通切换阀的2号口连接，第二十通切换阀的10号口与第二定量环的一端连接，第二十通切换阀的3号口与第二定量环的另一端连接；六通切换阀的1号口与第二十通切换阀的2号口连接，六通切换阀的6号口与第三定量环的一端连接，六通切换阀的3号口与第三定量环的另一端连接
5、第一十通切换阀的4号口为第一载气通入口，第一气体分离装置的一端与第一十通切换阀的9号口连接，第一气体分离装置的另一端与脉冲放电氦离子化检测器连接；所述脉冲放电氦离子化检测器用于检测第一气体分离装置从气体样品中分离出来的氢气、氧气、氩气、氮气、甲烷和一氧化碳杂质组分的含量；
6、第二十通切换阀的4号口为第二载气通入口，第二十通切换阀的7号口为第三载气通入口，第二气体分离装置的一端与第二十通切换阀的9号口连接，第二气体分离装置的另一端与脉冲放电氦离子化检测器连接；所述第二载气将第二气体分离装置最先分离出的氢氧氩氮甲烷一氧化碳合峰排空后，所述第三载气携带第二气体分离装置后分离出来的二氧化碳杂质组分进入脉冲放电氦离子化检测器进行含量检测；
7、六通切换阀的5号口为第四载气通入口，第三气体分离装置的一端与六通切换阀的4号口连接，第三气体分离装置的另一端与脉冲放电氦离子化检测器连接；所述第四载气将第三气体分离装置最先分离出的非氟碳类组分排空后，再携带第三气体分离装置后分离出来的氟碳类组分进入脉冲放电氦离子化检测器进行含量检测；所述氟碳类组分包括四氟化碳、六氟乙烷、六氟丙烯、七氟丙烷和八氟环丁烷。
8、一种八氟丙烷杂质组分分析方法，包括：
9、气体样品取样阶段：
10、将第一十通切换阀和第二十通切换阀的接口状态均设置为第一连接方式，六通切换阀的接口状态设置为第一连接状态；所述第一连接方式为十通切换阀的1号口与10号口连通，2号口与3号口连通，4号口与5号口连通，6号口与7号口连通，8号口与9号口连通；所述第一连接状态为六通切换阀的1号口与6号口连通，2号口与3号口连通，4号口与5号口连通；
11、从第一十通切换阀的1号口通入气体样品，使第一定量环、第二定量环和第三定量环均充有等量的气体样品；所述气体样品为含有杂质组分的八氟丙烷气体样品；
12、氢氧氩氮甲烷一氧化碳组分检测阶段：
13、将第一十通切换阀的接口状态切换为第二连接方式；所述第二连接方式为十通切换阀的1号口与2号口连通，3号口与4号口连通，5号口与6号口连通，7号口与8号口连通，9号口与10号口连通；
14、从第一十通切换阀的4号口通入第一载气，第一载气携带第一定量环中的气体样品进入第一气体分离装置，并通过第一气体分离装置分离出氢气、氧气、氩气、氮气、甲烷和一氧化碳杂质组分后，进入脉冲放电氦离子化检测器进行含量检测；
15、二氧化碳组分检测阶段：
16、将第二十通切换阀的接口状态切换为第二连接方式；
17、从第二十通切换阀的4号口通入第二载气，第二载气携带第二定量环中的气体样品进入第二气体分离装置，并在将第二气体分离装置最先分离出的氢氧氩氮甲烷一氧化碳合峰排空后，将第二十通切换阀的接口状态切换为第一连接方式；
18、从第二十通切换阀的7号口通入第三载气，第三载气携带第二气体分离装置后分离出来的二氧化碳杂质组分进入脉冲放电氦离子化检测器进行含量检测；
19、氟碳类组分检测阶段：
20、将六通切换阀的接口状态切换为第二连接状态；所述第二连接状态为六通切换阀的1号口与2号口连通，3号口与4号口连通，5号口与6号口连通；
21、从六通切换阀的5号口通入第四载气，第四载气携带第三定量环中的气体样品进入第三气体分离装置，并在将第三气体分离装置最先分离出的非氟碳类组分排空后，将六通切换阀的接口状态切换为第一连接状态；
22、第四载气携带第三气体分离装置后分离出来的氟碳类组分进入脉冲放电氦离子化检测器进行含量检测；所述氟碳类组分包括四氟化碳、六氟乙烷、六氟丙烯、七氟丙烷和八氟环丁烷。
23、根据本专利技术提供的具体实施例，本专利技术公开了以下技术效果：
24、本专利技术公开一种八氟丙烷杂质组分分析系统及方法，首先将第一定量环、第二定量环和第三定量环都充有气体样品，然后利用第一载气、第一十通切换阀、第一气体分离装置和脉冲放电氦离子化检测器检测氢气、氧气、氩气、氮气、甲烷和一氧化碳杂质组分的含量，利用第二载气将第二气体分离装置最先分离出的氢氧氩氮甲烷一氧化碳合峰排空后，第三载气携带第二气体分离装置后分离出来的二氧化碳杂质组分进入脉冲放电氦离子化检测器进行含量检测，第四载气将第三气体分离装置最先分离出的非氟碳类组分排空后，再携带第三气体分离装置后分离出来的氟碳类组分进入脉冲放电氦离子化检测器进行含量检测。本专利技术可反吹掉主组分八氟丙烷，一次进样完成μmol/mol级别杂质组分含量的全分析。
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1.一种八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述分析系统包括：第一十通切换阀、第一定量环、第二十通切换阀、第二定量环、六通切换阀、第三定量环、第一气体分离装置、脉冲放电氦离子化检测器、第二气体分离装置和第三气体分离装置；
2.根据权利要求1所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述第一气体分离装置包括：第一高分子色谱柱和分子筛色谱柱；
3.根据权利要求1所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述第二气体分离装置包括：第二高分子色谱柱和第三高分子色谱柱；
4.根据权利要求1所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述第三气体分离装置包括：第一毛细管色谱柱、第二毛细管色谱柱和第一四通切换阀；
5.根据权利要求4所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述分析系统还包括：第二四通切换阀和第一平面三通；
6.根据权利要求5所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述分析系统还包括：第一针型阀、第二针型阀、第三针型阀和第四针型阀；
7.根据权利要求1所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述计量装置为流量计或压力传感器。
9.根据权利要求4所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述分析系统还包括：载气装置、第二减压阀、第二平面三通、第三平面三通、第四平面三通和平面四通；
10.一种八氟丙烷杂质组分分析方法，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述分析系统包括：第一十通切换阀、第一定量环、第二十通切换阀、第二定量环、六通切换阀、第三定量环、第一气体分离装置、脉冲放电氦离子化检测器、第二气体分离装置和第三气体分离装置；
2.根据权利要求1所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述第一气体分离装置包括：第一高分子色谱柱和分子筛色谱柱；
3.根据权利要求1所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述第二气体分离装置包括：第二高分子色谱柱和第三高分子色谱柱；
4.根据权利要求1所述的八氟丙烷杂质组分分析系统，其特征在于，所述第三气体分离装置包括：第一毛细管色谱柱、第二毛细管色谱柱和第一四通切换阀；
5.根据权利要求4所述的八氟丙烷杂质...
【专利技术属性】
技术研发人员：李朝清，王富德，李建浩，
申请(专利权)人：朗析仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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