薄膜形成方法技术

本发明专利技术提供一种薄膜形成方法，是将液体材料作为液滴喷出而在基板（２０）上形成薄膜的薄膜形成方法，向比薄膜形成区域（Ａ）更宽的液体材料配置区域（Ｂ）喷出所述液体材料，通过使所述液体材料干燥，将所述薄膜的端部的隆起部分（Ｈ１）配置在所述薄膜形成区域（Ａ）外。根据本发明专利技术，可以更为可靠地并且更为简单地将给定的薄膜形成区域的薄膜的膜厚均匀化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
作为以往的，一般来说使用旋转涂覆法或苯胺印刷法等。与之相对，近年来，使用了在减少墨液使用量或减少工序数方面十分有效的液滴喷出法的正在广泛应用。此种使用了液滴喷出法的中，将墨液(液体材料)作为液滴而喷出配置多个，通过将该被配置的墨液干燥而除去墨液中的溶剂，就形成了薄膜。但是，在使用了此种液滴喷出法的中，在使通过被喷出多个而配置的墨液干燥时，在薄膜的端部的墨液和薄膜的中央部的墨液中干燥速度不同。更具体来说，薄膜的端部的墨液与薄膜的中央部的墨液相比，以更快的速度干燥。由此，在墨液的干燥工序中，墨液中的固形部分向干燥速度快的端部流动，结果就形成了端部隆起的薄膜。此种端部隆起了的薄膜由于膜厚不均匀，因此在全面上就不具有均匀的功能性。由此，例如在为了实现高质量化，利用使用了液滴喷出法的形成特别要求膜厚的均匀性的液晶显示装置的取向膜或覆盖涂膜的情况下，就会产生取向膜或覆盖涂覆材料的膜厚无法被均匀化，不能获得取向膜或覆盖涂覆材料的所需的功能性的问题。为了解决此种问题，考虑通过应用特开2001-170546号公报(专利文献1)中记载的技术，通过在基板上设置温度梯度来控制薄膜的端部和中央部的干燥速度，使薄膜的端部和中央部的干燥速度相同，来抑制薄膜端部的隆起。专利文献1特开2001-170546号公报但是，在像取向膜那样形成量级的膜厚的薄膜的情况下，在使基板具有温度梯度的时刻，墨液已经蒸发掉。在墨液的调平作用发生之前，墨液已经干燥·固化。另外，基板具有温度梯度的结果会将向基板上喷出配置的墨液的相同膜表面的温度分布不均匀化。由此，在作为墨液使用了聚合物墨液或染料墨液的情况下，由于墨液内的粒子的运动状态发生变化，因此就有可能在将墨液干燥后产生膜不均。
技术实现思路
本专利技术是鉴于所述问题而完成的，其目的在于，更为可靠地并且简单地将给定的薄膜形成区域中的薄膜的膜厚均匀化。为了达成所述目的，本专利技术的是将液体材料作为液滴喷出而在基板上形成薄膜的，其特征是，向比薄膜形成区域更宽的液体材料配置区域喷出所述液体材料，通过使所述液体材料干燥，将所述薄膜的端部的隆起部分配置在所述薄膜形成区域外。根据具有此种特征的本专利技术的，由于薄膜的端部的隆起部分被配置在薄膜形成区域外，因此在薄膜形成区域上，就形成均匀的膜厚的薄膜。由此，在薄膜形成区域中，就能够使薄膜发挥所需的功能性。像这样，根据本专利技术的，由于可以不用使基板具有温度梯度，就可以在薄膜形成区域上形成均匀的膜厚的薄膜，因此就能够更为可靠地并且简单地将薄膜形成区域的薄膜的膜厚均匀化。另外，本专利技术的可以采用如下的构成，即，具有掌握所述薄膜的端部的隆起部分的宽度的掌握工序、基于在所述掌握工序中被掌握的所述薄膜的端部的隆起部分的宽度来决定所述液体材料配置区域的液体材料配置区域决定工序。通过采用此种构成，就可以基于被预先掌握的薄膜的端部的隆起部分的宽度来决定液体材料配置区域。由此，由于可以将隆起部分可靠地配置在薄膜形成区域的外部，因此就可以更为可靠地将薄膜形成区域的薄膜的膜厚均匀化。另外，在本专利技术的中，可以采用如下的构成，即，在所述基板为液晶显示装置用基板并且所述薄膜为取向膜的情况下，将所述薄膜的端部的隆起部分配置在包围所述薄膜形成区域的遮光膜上。通过采用此种构成，不用在薄膜形成区域外设置新的配置隆起部分的区域，就可以在薄膜形成区域上形成均匀的膜厚的取向膜。另外，在本专利技术的中，也可以采用如下的构成，即，所述基板为液晶显示装置用的基板，并且所述薄膜为覆盖涂膜。通过采用此种构成，就可以在薄膜形成区域上形成均匀的膜厚的覆盖涂膜。另外，在本专利技术的中，可以采用所述薄膜形成区域为显示区域的构成。通过采用此种构成，形成于显示区域上的薄膜的膜厚就被均匀化。由此，由于在显示区域整体上薄膜发挥所需的功能性，因此就能够进一步提高显示区域的显示性能。附图说明图1是表示了本专利技术的一个实施方式的中所使用的薄膜形成装置10的概略构成的立体图。图2是用于说明利用压电方式的液状材料的喷出原理的图。图3是用于说明本专利技术的一个实施方式的的说明图。图4是用于说明本专利技术的一个实施方式的的说明图。图5是用于说明本专利技术的一个实施方式的的说明图。图6示意性地表示无源矩阵型的液晶显示装置的剖面构造的一个例子。图7是用于说明无源矩阵型的液晶显示装置的制造方法的说明图。图8是用于说明无源矩阵型的液晶显示装置的制造方法的说明图。图9是表示在开关元件中使用了TFT的有源矩阵型的液晶显示装置的一个例子的图。图10是表示使用大型基板制成液晶显示装置用的基板的所谓多面提取的例子的示意图。图11是有源矩阵型的液晶显示装置的剖面构成图。图12是表示具备液晶显示装置的电子机器的例子的图。图中20-基板，200、580-液晶显示装置，215-遮光膜，A-薄膜形成区域，A1-显示区域，208、210、719a、719b-取向膜，208-覆盖涂膜，B-配置区域(液体材料配置区域)，D-隆起宽度(隆起部分的宽度)，H-薄膜，H1-隆起部分，L1-液体材料。具体实施例方式下面将参照附图，对本专利技术的的一个实施方式进行说明。而且，以下的附图中，为了将各构件及各层设为可以识认的大小，对各构件及各层的比例尺进行了适当的变更。图1是表示了本实施方式的中所使用的薄膜形成装置10的概略构成的立体图。该图1中，薄膜形成装置10具备基座112、设于基座112上并支撑基板20的基板台架22、夹隔在基座112和基板台架22之间并可以移动地支撑基板台架22的第1移动装置114、可以向被基板台架22支撑的基板20喷出液体材料的液体喷头21、将液体喷头21可以移动地支撑的第2移动装置116、控制液体喷头21的液滴的喷出动作的控制装置23。另外，薄膜形成装置10具有设于基座112上的作为重量测定装置的电子天平(未图示)、加帽组件25、清洁组件24。另外，包括第1移动装置114及第2移动装置116的薄膜形成装置10的动作由控制装置23控制。第1移动装置114被设于基座112之上，沿着Y方向被定位。第2移动装置116被使用支柱16A、16A竖立安装在基座112上，被安装在基座112的后部12A上。第2移动装置116的X方向(第2方向)是与第1移动装置114的Y方向(第1方向)正交的方向。这里，Y方向是沿着基座112的前部12B和后部12A的方向。与之相对，X方向是沿着基座112的左右方向的方向，各自为水平方向。另外，Z方向是与X方向及Y方向垂直的方向。第1移动装置114例如由线性马达构成，具备导轨140、140和被可以沿着该导轨140移动地设置的滑块142。该线性马达形式的第1移动装置114的滑块142可以沿着导轨140在Y方向上移动而定位。另外，滑块142具备绕Z轴(θZ)旋转用的马达144。该马达144例如为直接驱动马达，马达144的转子被固定于基板台架22上。这样，通过对马达144通电，转子和基板台架22就可以沿着θZ方向旋转而使基板台架22分度(旋转分度)。即，第1移动装置114可以将基板台架22沿Y方向(第1方向)及θZ方向移动。基板台架22是将基板20保持、定位于给定的位置的构件。另外，基板台架22具有未图示的吸附保持装置，通过吸附保持装置进行动作，穿过基板台架22本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜形成方法，是将液体材料作为液滴喷出而在基板上形成薄膜的薄膜形成方法，其特征是，向比薄膜形成区域更宽的液体材料配置区域喷出所述液体材料，通过使所述液体材料干燥，将所述薄膜的端部的隆起部分配置在所述薄膜形成区域外。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：春日治，蛭间敬，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]