一种硅片片篮制造技术

实用新型专利技术提供了一种硅片片篮，包括架体，所述架体包括两个侧边架，两个所述侧边架之间通过固定件连接，每个所述侧边架顶部横向设有第一侧板，所述第一侧板上设置有多个隔板，相邻的两个隔板间隔设置，形成用于插入硅片的插槽，两个所述第一侧板上的隔板相对设置，所述侧边架顶部外侧安装有与相应抓取工具配合固定的挂板。实用新型专利技术所述的一种硅片片篮可减少热处理加工硅片时由于不规则形变对硅片造成的损伤，并且可将盛放不同规格硅片的片篮适配在同一型号的机架上。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片片篮
技术属于硅片加工领域，尤其是涉及一种硅片片篮。
技术介绍
随着半导体科学技术的飞速的发展，硅片的广泛应用涉及到现代社会的各行各业。因此，硅片的生产加工量不断攀升，随之形成大规模流水生产。通常待加工硅片放置于周转装置中，通过生产线由机械手操作，进行每道工序的流水加工作业。现有的周转装置主要是采用框式结构的硅片盒来放置硅片。这种硅片盒根据不同硅片的径向尺寸设计出对应尺寸的盒子，以便加工使用。然而，随着大规模加工生产的需求，以及不同规格尺寸硅片的出现，传统结构的硅片盒，已不能满足需要。
技术实现思路
有鉴于此，技术旨在克服上述现有技术中存在的缺陷，提出一种硅片片篮。为达到上述目的，技术的技术方案是这样实现的：一种硅片片篮，包括架体，所述架体包括两个侧边架，两个所述侧边架之间通过固定件连接，每个所述侧边架顶部横向设有第一侧板，所述第一侧板上设置有多个隔板，相邻的两个隔板间隔设置，形成用于插入硅片的插槽，两个所述第一侧板上的隔板相对设置，所述侧边架顶部外侧安装有与相应抓取工具配合固定的挂板；所述第一侧板上设置有用于与相应抓取工具对应的限位组件，所述抓取组件包括多个间隔设置的限位板，所述限位板设置于所述挂板的下部。进一步的，位于同侧的多个所述隔板的底部固定安装有用于支撑硅片的第二侧板。进一步的，所述隔板底部向所述片篮本体内部延伸形成安装板，所述第二侧板固定于所述安装板底部。进一步的，所述第二侧板上靠近所述插槽的一侧横向开有凹槽。进一步的，所述第一侧板顶部水平固定有挂板，所述挂板上远离所述片篮本体的一侧开有开口。进一步的，所述第一侧板上还固定有导流板，所述导流板与多个所述限位板对应设置，与所述限位板垂直。进一步的，位于同侧的多个所述隔板之间横向连接有固定板。进一步的，所述插槽外侧连通外部形成用于排水的排水口。相对于现有技术，技术具有以下优势：(1)限位板设置有多个，且间隔设置，满足对夹取片篮机构及加工硅片机架的适配的同时，在受热时保持片篮外部的形变与内部隔板的形变程度接近，防止不规则形变的发生，保护硅片不因片篮形变挤压受损；(2)所述挂板上开有开口，所述第二侧板上开有凹槽，均可在受热时保持片篮外部的形变与内部隔板的形变程度接近，防止不规则形变的发生，保护硅片不因片篮形变挤压受损；(3)导流板在片篮甩干时将积水到处片篮。(4)所述限位组件根据片篮的型号与机架进行适配，分局限位组件长度、宽度的不同可使多种型号的片篮设置在同一型号的机架上。所述硅片片篮为注塑件。附图说明构成技术的一部分的附图用来提供对技术的进一步理解，技术的示意性实施例及其说明用于解释技术，并不构成对技术的不当限定。在附图中：图1为技术实施例所述的一种硅片片篮示意图；图2为技术实施例所述的一种硅片片篮侧视示意图；图3为技术实施例所述的一种硅片片篮剖面示意图。附图标记说明：1-片篮本体；11-隔板；111-安装板；112-固定板；12-第一侧板；13-挂板；131-开口；14-插槽；15-第二侧板；2-限位板；3-凹槽；4-导流板；5-排水口；6-侧边架；7-固定件。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明技术。如图1至图3所示，一种硅片片篮，包括架体，所述架体包括两个侧边架6，两个所述侧边架6之间通过固定件7连接，每个所述侧边架6顶部横向设有第一侧板12，所述第一侧板12上设置有多个隔板11，相邻的两个隔板11间隔设置，形成用于插入硅片的插槽14，两个所述第一侧板12上的隔板11相对设置，所述侧边架6顶部外侧安装有与相应抓取工具配合固定的挂板13；所述第一侧板12上设置有用于与相应抓取工具对应的限位组件，所述抓取组件包括多个间隔设置的限位板2，所述限位板2设置于所述挂板13的下部。由于不同型号的硅片需要盛放在不同规格的片篮中，而用于加工硅片的机架型号是不变的，所述限位组件根据片篮的型号与机架进行适配，分局限位组件长度、宽度的不同可使多种型号的片篮设置在同一型号的机架上。所述硅片片篮为注塑件。进一步的，位于同侧的多个所述隔板11的底部固定安装有用于支撑硅片的第二侧板15。所述安装板111向内延伸并与篮本体连接，使得所述片篮底部的第二侧板15向中间移动，从而增大片篮与硅片片的接触偏激，对硅片底部进行支撑。进一步的，所述隔板11底部向所述片篮本体1内部延伸形成安装板111，所述第二侧板15固定于所述安装板111底部，所述第二侧板15对多个所述安装板111进行进一步限位固定。进一步的，所述第二侧板15上靠近所述插槽14的一侧横向开有凹槽3。硅片在加工过程中需要进行热处理，受热温度大于100度，由于片篮为注塑件，因此会发生形变，片篮内部的多个挡板之间为不连续结构，如果顶部的所述挂板13为一个连续的整体，受很容易导致整个片篮发生不规则形变，从而导致硅片受到挤压破损，因此在第二侧板15板上开设凹槽3，减小第二侧板15的厚度从而增加受热时的形变程度，使其与挡板的形变程度尽可能接近，从而减小不规则形变的产生。进一步的，所述第一侧板12顶部水平固定有挂板13，所述挂板13上远离所述片篮本体1的一侧开有开口131。因此在挂板13上增加开口131使挂板13与挡板的形变程度尽可能接近，从而减小不规则形变的产生。进一步的，所述第一侧板12上还固定有导流板4，所述导流板4与多个所述限位板2对应设置，与所述限位板2垂直。所述挂板13与所述隔板11连接的位置以及所述限位板2与侧板连接的位置由于存在弯折的直角，因此很容易存水，片篮甩干时存本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片片篮，其特征在于：包括架体(1)，所述架体(1)包括两个侧边架(6)，两个所述侧边架(6)之间通过固定件(7)连接，每个所述侧边架(6)顶部设有第一侧板(12)，所述第一侧板(12)上设置有多个隔板(11)，相邻的两个隔板(11)间隔设置，形成用于插入硅片的插槽(14)，两个所述第一侧板(12)上的隔板(11)相对设置，所述侧边架(6)顶部外侧安装有与相应抓取工具配合固定的挂板(13)；/n所述第一侧板(12)上设置有用于与相应抓取工具对应的限位组件，所述限位组件包括多个间隔设置的限位板(2)，所述限位板(2)设置于所述挂板(13)的下部。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片片篮，其特征在于：包括架体(1)，所述架体(1)包括两个侧边架(6)，两个所述侧边架(6)之间通过固定件(7)连接，每个所述侧边架(6)顶部设有第一侧板(12)，所述第一侧板(12)上设置有多个隔板(11)，相邻的两个隔板(11)间隔设置，形成用于插入硅片的插槽(14)，两个所述第一侧板(12)上的隔板(11)相对设置，所述侧边架(6)顶部外侧安装有与相应抓取工具配合固定的挂板(13)；
所述第一侧板(12)上设置有用于与相应抓取工具对应的限位组件，所述限位组件包括多个间隔设置的限位板(2)，所述限位板(2)设置于所述挂板(13)的下部。


2.根据权利要求1所述的一种硅片片篮，其特征在于：位于同侧的多个所述隔板(11)的底部固定安装有用于支撑硅片的第二侧板(15)。


3.根据权利要求2所述的一种硅片片篮，其特征在于：所述隔板(11)底部向所述架体(1)内部延伸形成安装板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓碧鑫，刘茂，江笠，徐小占，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，天津中环领先材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32