下载一种硅片片篮的技术资料

文档序号:27044252

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实用新型提供了一种硅片片篮,包括架体,所述架体包括两个侧边架,两个所述侧边架之间通过固定件连接,每个所述侧边架顶部横向设有第一侧板,所述第一侧板上设置有多个隔板,相邻的两个隔板间隔设置,形成用于插入硅片的插槽,两个所述第一侧板上的隔板相对设...
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