一种IGBT键合机DBC吸附固定装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种IGBT键合机DBC吸附固定装置，包括两块固定板、DBC料板以及安置于DBC料板上的多块DBC基板，两块所述固定板之间水平设置有可竖直升降活动的DBC定位板，所述DBC定位板的下方相对平行设置有可竖直升降活动的吸盘组件，所述DBC料板活动设置于DBC定位板和吸盘组件之间的平面上；所述吸盘组件是由底板上表面设置有与DBC基板相对应的多个吸附单元构成，所述吸附单元通过气孔与底板内部的气路连通，且气路的出口通过支管和真空电磁阀外接真空抽吸设备，且真空电磁阀上设置有真空压力表，所述真空压力表与设备控制器电性连接。该装置，可实现对于待键合加工的DBC基板进行快速准确的定位，定位效率高，自动化程度高，从而加快了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种IGBT键合机DBC吸附固定装置
本专利技术属于DBC基板加工设备
，具体涉及一种IGBT键合机DBC吸附固定装置。
技术介绍
IGBT(InsulatedGateBipolarTransistor)，即绝缘栅双极型晶体管，是能源变换与传输的核心器件，在轨道交通、智能电网、航空航天、电动汽车与新能源装备等领域应用极广。为提高功率器件的散热性能，增加使用寿命和可靠性，体积更小、效率更高、可靠性更高的模块化封装形式已经成为高功率IGBT的主要封装形式。在IGBT模块的生产过程中的键合工序，需要通过键合打线，将DBC基板上的芯片之间和芯片与DBC基板之间连接起来，形成完整的电路结构。键合工艺对DBC的位置精度和DBC平整度有极高的要求，在键合的过程中需要将DBC基板可靠地固定在精确的位置，且在键合的过程中不能发生位置偏移。目前键合机采用的固定方式多是通过安装专门的治具，键合时人工将DBC基板放置在其中的方式来固定。这种固定方式一次只能固定一片DBC基板，且产品发生变化时，需要频繁更换治具，自动化程度低，生产效率低下，所以需要针对性的进行改进设计。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种IGBT键合机DBC吸附固定装置投入使用，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种IGBT键合机DBC吸附固定装置，包括两块平行设置的固定板、通过传送带在固定板之间输送的DBC料板以及安置于DBC料板上的多块DBC基板，两块所述固定板之间水平设置有可竖直升降活动的DBC定位板，所述DBC定位板的下方相对平行设置有可竖直升降活动的吸盘组件，所述DBC料板活动设置于DBC定位板和吸盘组件之间的平面上；所述吸盘组件是由底板上表面设置有与DBC基板相对应的多个吸附单元构成，所述吸附单元通过气孔与底板内部的气路连通，且气路的出口通过支管和真空电磁阀外接真空抽吸设备，且真空电磁阀上设置有真空压力表，所述真空压力表与设备控制器电性连接。优选的，所述吸附单元上开设有多条相互连通的沟槽，且气孔开设于沟槽的底部。优选的，所述DBC定位板是由平板内侧开设有与DBC基板一一对应的多个阶梯槽构成，当DBC定位板压持到DBC料板上时，阶梯槽压持到对应的DBC基板上端的边沿。优选的，两块所述固定板的相对侧和远离侧均对称固定设置有顶升气缸，且两组顶升气缸分别与DBC定位板和吸盘组件固定连接。优选的，所述DBC定位板的下端面上固定安装有套体，所述套体的内侧设置有弹簧，所述DBC定位板上插设有连接螺栓，且DBC定位板对应的顶升气缸的杆端固定安装有支撑底座，所述连接螺栓穿过套体和弹簧与支撑底座上的螺纹孔螺纹连接，且弹簧的下端压持于支撑底座的上端面。本专利技术的技术效果和优点：该IGBT键合机DBC吸附固定装置，1、通过平行设置在固定板上的传送带拖动DBC料板输送到DBC定位板和吸盘组件之间，通过顶升气缸先拉动DBC定位板对DBC料板上的DBC基板进行压持实现初步定位，再通过吸盘组件提升对DBC基板进行吸附定位，对于DBC基板的定位效果高，效率高，自动化程度高，省去人工定位操作，加快生产效率，省时省力。2、通过设置真空压力表实时监控吸盘组件内部气路的负压，避免产生过强负压造成DBC基板损伤，或者负压过低，吸附失败的情况，同时吸附单元上开设有多条相互连通的沟槽，且气孔开设于沟槽的底部。通过设置相互连通的沟槽，保证吸附单元有更大的负压面积，从而产生更大面积的吸附力，从而实现对DBC基板稳定的吸附定位，实用性更强。附图说明图1为本专利技术的结构示意图(去除DBC料板)；图2为本专利技术的俯视图；图3为本专利技术的侧视图；图4为吸盘组件的俯视图；图5为图4中A-A处的剖视图。图中：1、固定板；2、DBC料板；3、DBC基板；4、吸盘组件；41、底板；42、吸附单元；5、DBC定位板；51、平板；52、阶梯槽；6、气孔；7、气路；8、真空电磁阀；9、真空压力表；10、沟槽；11、支撑底座；12、顶升气缸；13、套体；14、弹簧；15、连接螺栓。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术提供了如图1-5所示的一种IGBT键合机DBC吸附固定装置，包括两块平行设置的固定板1、通过传送带在固定板1之间输送的DBC料板2以及安置于DBC料板2上的多块DBC基板3，两块所述固定板1之间水平设置有可竖直升降活动的DBC定位板5，所述DBC定位板5的下方相对平行设置有可竖直升降活动的吸盘组件4，所述DBC料板2活动设置于DBC定位板5和吸盘组件4之间的平面上；所述吸盘组件4是由底板41上表面设置有与DBC基板3相对应的多个吸附单元42构成，所述吸附单元42通过气孔6与底板41内部的气路7连通，且气路7的出口通过支管和真空电磁阀8外接真空抽吸设备，且真空电磁阀8上设置有真空压力表9，所述真空压力表9与设备控制器电性连接。工作流程：载有多块DBC基板3的DBC料盘到达DBC定位板5和吸盘组件4之间时，DBC定位板5对应的抬升气缸活塞杆缩回，带动DBC定位板5下降，当DBC定位板5压持到DBC料板2上时，DBC定位板5上的阶梯槽52压持到对应的DBC基板3上端的边沿，对DBC基板3进行初步定位；然后吸盘组件4对应在对应顶升气缸12的带动下，向上运动，与DBC基板3下表面接触，将其从DBC料盘内托起，然后开启真空电磁阀8通过真空抽吸设备气路7中的空气，使得吸附单元42处产生负压吸力，将对应的DBC基板3进行吸附，之后可通过上方的IGBT键合机进行键合过程。键合完成后，DBC定位板5通过抬升气缸提升，使DBC定位板5与DBC料板2脱离，抬升气缸带动吸盘组件4下降，吸附单元42与DBC基板3脱离，释放真空，DBC基板3落回到料盘内，完成整个动作流程。所述吸附单元42上开设有多条相互连通的沟槽10，且气孔6开设于沟槽10的底部。通过设置相互连通的沟槽10，保证吸附单元42有更大的负压面积，从而产生更大面积的吸附力，从而实现对DBC基板3稳定的吸附定位。所述DBC定位板5是由平板51内侧开设有与DBC基板3一一对应的多个阶梯槽52构成，当DBC定位板5压持到DBC料板2上时，阶梯槽52压持到对应的DBC基板3上端的边沿。保证DBC定位板5对于DBC基板3压持限位的稳定性，初步实现对于DBC基板3的定位。对于DBC基板3的定位效果高，效率高，自动化程度高，省去人工定位操作，加快生产效率，并且设置真空压力表9实时监控吸盘组件4内部气路7的负压，避免产生过强负压造成DBC基板3损伤，或者负压过低，吸附失败的情况，实用性更强。两块所述固定板1的相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种IGBT键合机DBC吸附固定装置，包括两块平行设置的固定板(1)、通过传送带在固定板(1)之间输送的DBC料板(2)以及安置于上的多块DBC基板(3)，其特征在于：两块所述固定板(1)之间水平设置有可竖直DBC料板(2)升降活动的DBC定位板(5)，所述DBC定位板(5)的下方相对平行设置有可竖直升降活动的吸盘组件(4)，所述DBC料板(2)活动设置于DBC定位板(5)和吸盘组件(4)之间的平面上；/n所述吸盘组件(4)是由底板(41)上表面设置有与DBC基板(3)相对应的多个吸附单元(42)构成，所述吸附单元(42)通过气孔(6)与底板(41)内部的气路(7)连通，且气路(7)的出口通过支管和真空电磁阀(8)外接真空抽吸设备，且真空电磁阀(8)上设置有真空压力表(9)，所述真空压力表(9)与设备控制器电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种IGBT键合机DBC吸附固定装置，包括两块平行设置的固定板(1)、通过传送带在固定板(1)之间输送的DBC料板(2)以及安置于上的多块DBC基板(3)，其特征在于：两块所述固定板(1)之间水平设置有可竖直DBC料板(2)升降活动的DBC定位板(5)，所述DBC定位板(5)的下方相对平行设置有可竖直升降活动的吸盘组件(4)，所述DBC料板(2)活动设置于DBC定位板(5)和吸盘组件(4)之间的平面上；
所述吸盘组件(4)是由底板(41)上表面设置有与DBC基板(3)相对应的多个吸附单元(42)构成，所述吸附单元(42)通过气孔(6)与底板(41)内部的气路(7)连通，且气路(7)的出口通过支管和真空电磁阀(8)外接真空抽吸设备，且真空电磁阀(8)上设置有真空压力表(9)，所述真空压力表(9)与设备控制器电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种IGBT键合机DBC吸附固定装置，其特征在于：所述吸附单元(42)上开设有多条相互连通的沟槽(10)，且气孔(6)开设于沟槽(10)的底部。


3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王凯锋，袁磊，邱道权，
申请(专利权)人：合肥中恒微半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34