具有划片槽结构的主芯片制造技术

本实用新型专利技术涉及一种具有划片槽结构的主芯片，包括基板，所述基板上设置有若干矩阵排列的芯片组件，所述相邻的芯片组件间具有划片道，所述芯片组件的四周的划片道中均设置有若干保护槽。本实用新型专利技术在划片道的上半部形成保护性沟槽，由于沟槽是刻蚀形成的，所以能在有效控制划片形状的前提下还能起到一定的阻挡效果，在划片时不会机械损伤主芯片，主芯片的边缘不会有缺陷，对主芯片起到保护作用。

【技术实现步骤摘要】
具有划片槽结构的主芯片
：本技术涉及芯片加工
，尤其涉及一种具有划片槽结构的主芯片。
技术介绍
：在芯片的加工过程中，为了后续的划片操作，在晶圆的生产过程中会加入划片道的结构，如图1所示，由于划片道和基板都为硅材料，划片过程中和划片后很容易产生，划片产生的缺陷和芯片器件之间没有阻隔，缺陷处产生的电荷容易向芯片的器件区域移动，损坏芯片中的器件。
技术实现思路
：本技术的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种具有划片槽结构的主芯片，能有效避免划片时产生缺陷。本技术是通过如下技术方案实现的：一种具有划片槽结构的主芯片，包括基板，所述基板上设置有若干矩阵排列的芯片组件，所述相邻的芯片组件间具有划片道，所述芯片组件的四周的划片道中均设置有若干保护槽。在上述技术方案中，所述保护槽为整齐排列的条状沟槽。在上述技术方案中，所述保护槽相互交叉呈网状。在上述技术方案中，所示保护槽为蚀刻槽，所述保护槽的表面具有蚀刻层。在上述技术方案中，所述划片道上设置有10～20条保护槽。在上述技术方案中，所述保护槽的深度为1～60本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有划片槽结构的主芯片，包括基板(100)，所述基板(100)上设置有若干矩阵排列的芯片组件(200)，所述相邻的芯片组件(200)间具有划片道(300)，其特征在于：所述芯片组件(200)的划片道(300)中均设置有若干保护槽(310)。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有划片槽结构的主芯片，包括基板(100)，所述基板(100)上设置有若干矩阵排列的芯片组件(200)，所述相邻的芯片组件(200)间具有划片道(300)，其特征在于：所述芯片组件(200)的划片道(300)中均设置有若干保护槽(310)。


2.根据权利要求1所述的具有划片槽结构的主芯片，其特征在于：所述保护槽(310)为整齐排列的条状沟槽。


3.根据权利要求1所述的具有划片槽结构的主芯片，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙效中，李江华，汤为，
申请(专利权)人：常州旺童半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32