一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备制造技术

本实用新型专利技术属于化学气相沉积技术领域，涉及一种热丝化学气相沉积设备。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括：镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置，所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接，所述镀膜腔室中设有热丝加热系统；所述热丝加热系统的下方设有水冷系统；所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧；所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品，两侧交替进行，连续镀膜。本实用新型专利技术的设备，能够精确控制热丝加热单元和水冷单元，实现温场均匀，从而实现制备薄膜的均匀性，优化电流和水流量，节约能源；能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温，降低薄膜应力，提高产品质量和使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备
本技术属于化学气相沉积
，涉及一种热丝化学气相沉积设备。
技术介绍
目前硼掺杂金刚石薄膜污水处理电极，金刚石涂层刀具等成为工业应用领域的新产品，金刚石薄膜污水处理电极可降解工业废水，难处理有机废水等，在环境保护领域有较大的应用前景。金刚石涂层刀具在航空领域材料加工，微电子器件加工等也有广泛的应用。热丝化学气相沉积方法可以大面积制备金刚石薄膜，然而每次制备需要更换热丝，制备效率低，材料成本和时间成本高昂；另外热丝温场不均匀导致薄膜质量均匀性差；没有相应的降温工艺导致薄膜应力过高，稳定性差，严重阻碍着其应用。为了提高薄膜的制备效率，以及提高薄质量，需要研发新的真空设备以及工艺。
技术实现思路
本技术的目的是解决现有的沉积设备在温度控制方面存在的缺陷，提供一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备及方法，通过对热丝在二维方向上的温度调整控制，实现热丝温场的均匀化，提高薄膜质量。本技术解决其技术问题采用的第一个技术方案是：一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括：镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括：镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置，所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接，所述镀膜腔室中设有热丝加热系统；所述热丝加热系统的下方设有水冷系统；其特征在于：所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧；所述送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品，两侧交替进行，连续镀膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括：镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置，所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接，所述镀膜腔室中设有热丝加热系统；所述热丝加热系统的下方设有水冷系统；其特征在于：所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧；所述送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品，两侧交替进行，连续镀膜。


2.根据权利要求1所述的连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，其特征在于：所述的热丝加热系统由多个热丝单元组成，每个热丝单元包括一根热丝，所述热丝连接独立电源。


3.根据权利要求2所述的连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，其特征在于：所述的热丝单元均匀排布在热丝架上，所述热丝架上设有若干导电环，每组导电环分别连接独立电源的正负极；所述热丝的两端绕过正负极的导电环，通过弹簧拉紧。


4.根据权利要求2所述的连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，其特征在于：所述的水冷系统包括水冷盘，所述水冷盘由若干平行设置的水冷单元组成；所述水冷单元的水流方向与所述热丝的电流方向垂直。


5.根据权利要求4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宜豹，柴旭，盖志刚，姜辛，陈志刚，郭风祥，张妹，王韶琰，孙小玲，胡鼎，刘寿生，
申请(专利权)人：山东省科学院海洋仪器仪表研究所，
类型：新型
国别省市：山东;37