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本实用新型属于化学气相沉积技术领域，涉及一种热丝化学气相沉积设备。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括：镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置，所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接，所述镀膜腔室中设有热丝加热系统；所述热丝加热系统的...
该专利属于山东省科学院海洋仪器仪表研究所所有，仅供学习研究参考，未经过山东省科学院海洋仪器仪表研究所授权不得商用。

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