一种石英晶体谐振器真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，涉及真空镀膜技术领域。本实用新型专利技术包括支撑架和箱体，支撑架的左侧上方固定连接有箱体，箱体的内部上下两侧壁之间转动连接有轴杆，轴杆的侧壁上均连接有支撑板，支撑板的下表面开设有第一安装槽，第一安装槽内连接有加热机构，支撑板的上表面开设有第二安装槽，第二安装槽内连接有夹紧机构，真空泵上固定连接有真空管，真空管的另一端固定连接在箱体的右侧壁上。本实用新型专利技术通过将支撑板均匀固定连接在轴杆上，使得支撑板上的石英晶体谐振器在镀膜时，磁控靶能够扫射的面积更广，进而使得石英晶体谐振器的缝隙中也能够进行镀膜，使得石英晶体谐振器表面的镀膜更加完整。

【技术实现步骤摘要】
一种石英晶体谐振器真空镀膜装置
本技术属于真空镀膜
，特别是涉及一种石英晶体谐振器真空镀膜装置。
技术介绍
在石英晶体谐振器的制造过程中，需要对石英晶体谐振器的电极等部件进行银层镀膜，以防止石英晶体谐振器及其零部件氧化，导致石英晶体谐振器使用寿命缩减。现有的石英晶体谐振器镀膜技术主要通过真空镀膜设备进行镀膜加工，但是在现有设备的镀膜过程中，由于石英晶体谐振器并非平面，导致石英晶体谐振器进行真空镀膜时候，石英晶体谐振器之间的间隙处很难镀膜，造成镀膜程度不完整。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，通过将支撑板均匀固定连接在轴杆上，使得支撑板上的石英晶体谐振器在镀膜时，磁控靶能够扫射的面积更广，进而使得石英晶体谐振器的缝隙中也能够进行镀膜，使得石英晶体谐振器表面的镀膜更加完整，解决了现有的问题。为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：本技术为一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，包括支撑架和箱体，所述支撑架的左侧上方固定连接有箱体，所述箱体的内部上下两侧壁之间转动连接有轴杆，所述轴杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，包括支撑架（1）和箱体（2），其特征在于：所述支撑架（1）的左侧上方固定连接有箱体（2），所述箱体（2）的内部上下两侧壁之间转动连接有轴杆（3），所述轴杆（3）的侧壁上均匀固定连接有支撑板（4）；/n所述支撑板（4）的下表面开设有第一安装槽（401），所述第一安装槽（401）内固定连接有加热机构（8）；/n所述支撑板（4）的上表面开设有第二安装槽（402），所述第二安装槽（402）内固定连接有夹紧机构（9）；/n所述箱体（2）的内部左侧壁上固定连接有安装竖板（5），所述安装竖板（5）的右侧面上均匀固定连接有磁控靶（501）；/n所述支撑架（1）的上表面右侧固...

【技术特征摘要】
1.一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，包括支撑架（1）和箱体（2），其特征在于：所述支撑架（1）的左侧上方固定连接有箱体（2），所述箱体（2）的内部上下两侧壁之间转动连接有轴杆（3），所述轴杆（3）的侧壁上均匀固定连接有支撑板（4）；
所述支撑板（4）的下表面开设有第一安装槽（401），所述第一安装槽（401）内固定连接有加热机构（8）；
所述支撑板（4）的上表面开设有第二安装槽（402），所述第二安装槽（402）内固定连接有夹紧机构（9）；
所述箱体（2）的内部左侧壁上固定连接有安装竖板（5），所述安装竖板（5）的右侧面上均匀固定连接有磁控靶（501）；
所述支撑架（1）的上表面右侧固定连接有真空泵（7），所述真空泵（7）上固定连接有真空管（701），所述真空管（701）的另一端固定连接在箱体（2）的右侧壁上。


2.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置，其特征在于，所述支撑架（1）的下方对应箱体（2）的位置处固定连接有防护箱（6），所述轴杆（3）的下端贯穿箱体（2）的下侧壁和支撑架（1）并固定连接有第一齿轮（601），所述防护箱（6）的内部右侧固定连接有电机（602），所述电机（602）的输出端固定连接有第二齿轮（60...

【专利技术属性】
技术研发人员：屈明明，王波，袁林花，温从众，
申请(专利权)人：马鞍山恒明电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34