基板加热与固定装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基板加热与固定装置，其包括：支撑板，内部设置有加热器件，用以支撑并加热基板，该支撑板厚度方向上设置有通气孔；真空层，设置于支撑板远离基板的一侧，其内部设置有一个腔体，该腔体与抽真空装置相连，支撑板的通气孔与该真空层的腔体连通；隔热层，设置于真空层远离支撑板的一侧，防止支撑板产生的热量扩散。由于支撑板内部设置有加热器件，可以将基板在喷墨前预热，墨水喷涂到已预热的基板上后，墨水中的溶剂就会蒸发掉一部分，再利用其它方法将墨水干燥所需的时间就会比现有技术缩短，从而提高制造彩色滤光片的速度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基板加热与固定装置，特别是用喷墨法制作彩色滤光片用的基板加热与固定装置。
技术介绍
彩色滤光片主要具有三个方面的用途，第一是应用于影像感应器方面，譬如为电荷耦合单元；第二是应用于线型感应器，譬如为晶体快门；再有是应用于显示器上，譬如为交错式、超级交错式薄膜晶体管的液晶显示器。随着这些产品需求的成长，彩色滤光片的需求也随之增加。目前，现有技术的彩色滤光片制备方法主要有颜料分散方法(Pigment-dispersed Method)以及喷墨方法(Ink Jet Method)。颜料分散方法是将彩色光阻(Color Resist)以旋转涂布的方式涂布于基板上，经由曝光显影的方式制备成色块(Color Area)。彩色光阻是将彩色颜料均匀分散于其中的光阻，具有照光反应与热硬化的特性。红、绿、蓝(R、G、B)三色彩色光阻必需经过三道涂布、曝光、显影制程，最后形成彩色滤光片。颜料分散方法由于制程复杂以及设备成本高的缺点，已逐渐被喷墨方法取代。喷墨方法是使用一喷墨装置将RGB彩色墨水同时喷射于一基板上的黑矩阵内，彩色墨水被脱水后在该基板上形成着色的RGB颜色层图案。使用喷墨方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板加热与固定装置，包括支撑板，其特征在于：该支撑板内部设置有加热器件，用以支撑并加热基板，该支撑板厚度方向上设置有通气孔；真空层，设置于支撑板远离基板的一侧，其内部设置有一个腔体，该腔体与抽真空装置相连，支撑板的通气孔与该真空层的腔体连通；隔热层，设置于真空层远离支撑板的一侧，防止支撑板产生的热量向隔热层远离真空层的一侧扩散。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑振兴，胡兴亿，
申请(专利权)人：虹创科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]