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本发明涉及一种基板加热与固定装置，其包括：支撑板，内部设置有加热器件，用以支撑并加热基板，该支撑板厚度方向上设置有通气孔；真空层，设置于支撑板远离基板的一侧，其内部设置有一个腔体，该腔体与抽真空装置相连，支撑板的通气孔与该真空层的腔体连通；...
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