【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱
本专利技术涉及单晶硅片
,具体为一种单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱。
技术介绍
单晶硅片为硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上。单晶硅片可用于制造半导体器件和太阳能电池等,单晶硅片用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成,但目前市场上现有的单晶硅片干燥用烘箱不方便供料且烘干不均匀,造成了烘干效率不高的问题,故提出一种单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱来解决上述问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱,具备方便供料且烘干均匀等优点,解决了目前市场上现有的单晶硅片干燥用烘箱不方便供料且烘干不均匀,造成了烘干效率不高的问题。(二)技术方案为实现上述方便供料且烘干均匀目的,本专利技术提供如下技术方案:一种单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱,包括烘箱本体,所述烘箱本体的底部固定安装 ...
【技术保护点】
1.一种单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱,包括烘箱本体(1),其特征在于:所述烘箱本体(1)的底部固定安装有固定脚(2),所述烘箱本体(1)的前表面固定安装有安装块(3),所述安装块(3)的内侧转动连接有转动盖板(4),所述烘箱本体(1)的内部固定安装有烘干器(5),所述烘箱本体(1)的前表面开设有连接槽(6),所述连接槽(6)的内部滑动连接有连接架(7),所述连接架(7)的顶部固定安装有连接底板(8),所述连接底板(8)的顶部固定安装有第一安装架(9),所述第一安装架(9)的内侧转动连接有转动块(10),所述第一安装架(9)的顶部固定安装有第二安装架(11),所述第二安装架( ...
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱,包括烘箱本体(1),其特征在于:所述烘箱本体(1)的底部固定安装有固定脚(2),所述烘箱本体(1)的前表面固定安装有安装块(3),所述安装块(3)的内侧转动连接有转动盖板(4),所述烘箱本体(1)的内部固定安装有烘干器(5),所述烘箱本体(1)的前表面开设有连接槽(6),所述连接槽(6)的内部滑动连接有连接架(7),所述连接架(7)的顶部固定安装有连接底板(8),所述连接底板(8)的顶部固定安装有第一安装架(9),所述第一安装架(9)的内侧转动连接有转动块(10),所述第一安装架(9)的顶部固定安装有第二安装架(11),所述第二安装架(11)的内侧固定安装有防护箱(12),所述防护箱(12)的内部固定安装有电机(13),所述防护箱(12)的底部固定安装有轴承座(14),所述电机(13)的输出轴处固定连接有与转动块(10)固定连接的转动轴(15),转动块(10)的底部固定安装有连接柱(16),所述连接柱(16)的外侧固定安装有储物网(17),所述储物网(17)的外侧开设有连接挂孔(18),所述连接柱(16)的外侧固定安装有连接挂钩(19),所述连接柱(16)的外侧固定安装有安装基板(20),所述安装基板(20)的内侧活动连接有活动杆(21),所述活动杆(21)的外侧滑动连接有滑动管(22),所述滑动管(22)的外侧固定安装有第三安装架(23),所述第三安装架(23)的底部固定安装有连接插块(24),所述安装基板(20)的顶部开设有连接插槽(25),所述滑动管(22)的顶部固定安装有控制杆(26),所述活动杆(21)的底端固定安装有收卷柱(27),所述储物网(17)的外侧缠绕有与收卷柱(27)固定连接的连接带(28),所述连接带(28)远离收卷柱(27)的一端固定安装有被连接带(28)穿过的压紧带夹(29),所述连接底板(...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈春成,戚建静,
申请(专利权)人:江苏晶品新能源科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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