一种单晶硅片加工用的金刚线切片机制造技术

技术编号:35621434 阅读:21 留言:0更新日期:2022-11-16 15:57
本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片加工用的金刚线切片机,包括机体,所述调节装置包括固定连接于机体顶部的电机,所述电机的输出轴上固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆远离电机的一端活动连接有限位块,所述螺纹杆的外部活动连接有螺纹套,所述螺纹套的右侧固定连接有滑块,所述螺纹套的左侧固定连接有移动板,所述移动板的左侧固定连接有滑套,所述滑套的内部活动连接有滑杆。该单晶硅片加工用的金刚线切片机,通过启动电机带动螺纹杆转动,螺纹杆转动时带动螺纹套上下位移,螺纹套上下位移时带动移动板位移,移动板上下位移带动安装块位移,安装块位移带动连接板位移,从而移动板位移时带动切片装置上下位移,达到了便于调节切片的硅片尺寸的优点。硅片尺寸的优点。硅片尺寸的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片加工用的金刚线切片机


[0001]本技术涉及硅片加工
,具体为一种单晶硅片加工用的金刚线切片机。

技术介绍

[0002]硅片是硅材料存在的一种物理形式,在正常的应用中,硅片,是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件,用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力,科学技术的发展不断推动着半导体的发展,自动化和计算机等技术发展,使硅片这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度,然而硅片在加工时,不同的工艺节点都会使得硅片加工出现瑕疵。
[0003]硅片一般都是通过相应的硅碇进行切片而成,硅片的厚度和长度普遍不一致,形状也不相同,而现有的切片机无法对硅片的尺寸进行调节,只能对单一的硅片进行切片处理,实用性较低。

技术实现思路

[0004]技术目的:针对现有技术的不足,本技术提供了一种单晶硅片加工用的金刚线切片机。
[0005]技术方案:一种单晶硅片加工用的金刚线切片机,包括机体,所述机体的外部设有延伸至其内的调节装置;
[0006]所述调节装置包括固定连接于机体顶部的电机,所述电机的输出轴上固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆远离电机的一端活动连接有限位块,所述螺纹杆的外部活动连接有螺纹套,所述螺纹套的右侧固定连接有滑块,所述螺纹套的左侧固定连接有移动板,所述移动板的左侧固定连接有滑套,所述滑套的内部活动连接有滑杆。
[0007]进一步,所述螺纹杆远离电机的一端延伸至机体的内部,所述限位块与机体固定连接,所述滑块远离螺纹套的一端延伸至电机的内部,所述电机的内部开设有与滑块相适配的滑槽。
[0008]进一步,所述移动板的底部固定连接有安装块,所述安装块的底部固定连接有连接板,所述连接板的底部固定连接有切片装置。
[0009]进一步,所述机体的外部设有延伸至其内的清洗装置,所述清洗装置包括固定连接于机体顶部的水箱,所述水箱的出水端固定连接有连接管,所述连接管的左侧固定连接有水泵,所述水泵的左侧固定连接有软管,所述软管远离水泵的一端固定连接有喷水口。
[0010]进一步,所述软管远离水泵的一端延伸至机体内部,所述软管与连接板固定连接。
[0011]进一步,所述机体的内底壁上固定连接有固定台,所述固定台的顶部固定连接有放置台。
[0012]进一步,所述放置台的顶部设有夹持组件,所述夹持组件包括固定连接于放置台顶部的固定块,所述固定块的顶部固定连接有电动推杆,所述电动推杆的输出端上固定连
接有夹持板,所述放置台的顶部固定连接有限位板。
[0013]有益效果:
[0014]1、该单晶硅片加工用的金刚线切片机,通过启动电机带动螺纹杆转动,螺纹杆转动时带动螺纹套上下位移,螺纹套上下位移时带动移动板上下位移,移动板上下位移时带动安装块上下位移,安装块位移时带动连接板上下位移,从而移动板上下位移时带动切片装置上下位移,达到了便于调节切片的硅片尺寸的优点。
[0015]2、该单晶硅片加工用的金刚线切片机,使用者将单晶硅片放至放置台顶部后,通过夹持装置将其固定,切割装置对单晶硅片进行切割,防止单晶硅片在切割时位置产生偏移导致硅片的损坏。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构剖视图;
[0017]图2为本技术的图1所示A的放大结构示意图;
[0018]图3为本技术的图1所示B的放大结构示意图。
[0019]图中:1机体、2电机、3螺纹杆、4限位块、5螺纹套、6滑块、7移动板、8滑套、9滑杆、10安装块、11连接板、12切片装置、13水箱、14连接管、15水泵、16软管、17喷水口、18固定台、19放置台、20固定块、21电动推杆、22夹持板、23限位板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1

3,本实施例中的一种单晶硅片加工用的金刚线切片机,包括机体1,机体1的外部设有延伸至其内的调节装置,调节装置包括固定连接于机体1顶部的电机2,电机2的输出轴上固定连接有螺纹杆3,螺纹杆3远离电机2的一端活动连接有限位块4,螺纹杆3的外部活动连接有螺纹套5,螺纹套5的右侧固定连接有滑块6,螺纹套5的左侧固定连接有移动板7,移动板7的左侧固定连接有滑套8,滑套8的内部活动连接有滑杆9,螺纹杆3远离电机2的一端延伸至机体1的内部,限位块4与机体1固定连接,滑块6远离螺纹套5的一端延伸至电机2的内部,电机2的内部开设有与滑块6相适配的滑槽,移动板7的底部固定连接有安装块10,安装块10的底部固定连接有连接板11,连接板11的底部固定连接有切片装置12,启动电机2带动螺纹杆3转动,螺纹杆3转动时带动螺纹套5上下位移,螺纹套5上下位移时带动滑块6在机体1内部的滑槽中上下位移,限位块4的内部固定安装有与螺纹杆3相适配的轴承,保证螺纹杆3转动时位置不受偏移,螺纹套5上下位移时带动移动板7上下位移,移动板7上下位移时带动滑套8在滑杆9的外部上下滑动,滑杆9的底部活动连接有限位块,保证移动板7上下位移时的稳定性,移动板7上下位移时带动安装块10上下位移,安装块10与连接板11固定连接,连接板11与切片装置12固定连接,移动板7上下位移时带动切片装置12上下位移。
[0022]本实施例中,机体1的外部设有延伸至其内的清洗装置,清洗装置包括固定连接于
机体1顶部的水箱13,水箱13的出水端固定连接有连接管14,连接管14的左侧固定连接有水泵15,水泵15的左侧固定连接有软管16,软管16远离水泵15的一端固定连接有喷水口17,软管16远离水泵15的一端延伸至机体1内部,软管16与连接板11固定连接,打开水箱13,水箱13内部的水通过出水端流入连接管14内部,连接管14与水泵15固定连接,从而通过水泵15将连接管14内部的水导入至软管16内部,最后通过喷水口17将软管16内部的水喷出,喷水口17与连接板11固定连接,从而连接板11上下位移时带动喷水口17上下位移,便于对切割时产生的碎屑进行冲洗,防止碎屑过多导致切片装置12切片位置产生偏移。
[0023]本实施例中,机体1的内底壁上固定连接有固定台18,固定台18的顶部固定连接有放置台19,放置台19的顶部设有夹持组件,夹持组件包括固定连接于放置台19顶部的固定块20,固定块20的顶部固定连接有电动推杆21,电动推杆21的输出端上固定连接有夹持板22,放置台19的顶部固定连接有限位板23,将单晶硅片放至放置台19顶部后,通过夹持组件将其固定,方便切片装置12对其进行切片处理,防止在切片过程中单晶硅片位置产生挪动。
[0024]需要说明的是,该电动推杆21属于现有技术中公众所知本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片加工用的金刚线切片机,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)的外部设有延伸至其内的调节装置;所述调节装置包括固定连接于机体(1)顶部的电机(2),所述电机(2)的输出轴上固定连接有螺纹杆(3),所述螺纹杆(3)远离电机(2)的一端活动连接有限位块(4),所述螺纹杆(3)的外部活动连接有螺纹套(5),所述螺纹套(5)的右侧固定连接有滑块(6),所述螺纹套(5)的左侧固定连接有移动板(7),所述移动板(7)的左侧固定连接有滑套(8),所述滑套(8)的内部活动连接有滑杆(9)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片加工用的金刚线切片机,其特征在于:所述螺纹杆(3)远离电机(2)的一端延伸至机体(1)的内部,所述限位块(4)与机体(1)固定连接,所述滑块(6)远离螺纹套(5)的一端延伸至电机(2)的内部,所述电机(2)的内部开设有与滑块(6)相适配的滑槽。3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片加工用的金刚线切片机,其特征在于:所述移动板(7)的底部固定连接有安装块(10),所述安装块(10)的底部固定连接有连接板(11),所述连接板(11)的底部固定连接有切片装置(12)。4.根据权利要求1所述的一种单晶硅...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈春成戚建静徐芳
申请(专利权)人:江苏晶品新能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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