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本发明涉及单晶硅片技术领域，且公开了一种单晶硅片干燥用烘干均匀的烘箱，包括烘箱本体，所述烘箱本体的底部固定安装有固定脚，所述烘箱本体的前表面固定安装有安装块，所述安装块的内侧转动连接有转动盖板，所述烘箱本体的内部固定安装有烘干器，所述烘箱本...
该专利属于江苏晶品新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晶品新能源科技有限公司授权不得商用。

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