具有弯曲切割形状的阵列波导光栅芯片制造技术

本实用新型专利技术提供一种具有弯曲切割形状的阵列波导光栅（英文名称为：ａｒｒａｙｅｄ　ｗａｖｅｇｕｉｄｅ　ｇｒａｔｉｎｇ，简称ＡＷＧ）芯片，其特征在于：它具有弯曲形状的边界轮廓线。阵列波导光栅芯片为弯曲型ＡＷＧ芯片，则同样大小的硅片可能产出更多的ＡＷＧ芯片，大大降低成本。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光通讯器件。
技术介绍
阵列波导光栅(英文名Arrayed waveguide grating,简称AWG)是基于平面光波导集 成技术的重要光器件。AWG除了基本的复用/解复用功能外，与其它器件组合可以实现多功 能的模块，如光交叉连接、多波长同时监测等，该器件以其优越性能具有非常广泛的用途。 近年来，由于IP数据业务的不断增长和各种宽带接入业务的涌现带来了对带宽的无限需求, 密集波分复用(DWDM)技术在这种需求下得到了蓬勃发展。平面光波导(planar light wave circuit, PLC)技术以其成本低、便于批量生产、稳定性好、易于集成等诸多特点，被认 为是DWDM光通信系统产业的明日之星。目前光波导的制作主要在LiNb03、玻璃、InP、 Si等 衬底材料上完成，其中硅基Si02光波导集成技术由于具有成熟的半导体工艺技术基础，与 光纤耦合效率好，成本低廉等优势，受到广泛重视。平面光波导集成器件的一个重要应用 是阵列波导光栅(AWG)。AWG型复用/解复用器是一种平面波导器件，是在单个芯片上制作的阵列波导光栅。AWG 型DTOM器件的特点是信道间隔小、插入损本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有弯曲切割形状的阵列波导光栅芯片，其特征在于：它具有弯曲形状的边界轮廓线。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马卫东，吴凡，刘文，
申请(专利权)人：武汉光迅科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：83[中国|武汉]